陰極弧沉積含氮二氧化鈦薄膜對成骨細(xì)胞生物活性影響的實(shí)驗(yàn)研究
【圖文】:
圖 1 純鈦組(A)、二氧化鈦組(B)、含氮二氧化鈦組(C)樣品表面形貌掃描電鏡結(jié)果(Bar=20μm由掃面電鏡結(jié)果(圖 1)可知,純鈦組樣品表面略有些小溝,可能與樣品碳化硅拋光有關(guān),體上較為光滑;二氧化鈦組及含氮二氧化鈦組樣品表面形貌相似,有少量點(diǎn)狀凹陷;說明采極弧等離子體沉積技術(shù)未明顯改變鈦基體的表面形貌。、樣品表面元素分析
圖 2 二氧化鈦組及含氮二氧化鈦薄膜組 XPS 全譜圖(A);含氮二氧化鈦薄膜表面 Ti2p、N1s、O1s 的高分辨譜(B);N 元素高分辨曲線擬合圖(C)圖 2 顯示了二氧化鈦及二氧化鈦薄膜表面的元素組成 X 射線光電子能譜的結(jié)果。由圖 2可知,兩組樣品表面元素組成基本一致,主要的特征峰有 Ti3p、C1s、Ti2p 及 O1s,其結(jié)合能分別為 37eV、285eV、459eV 及 531eV。樣品表面的 C1s 主要是由于丙酮、乙醇等有機(jī)溶劑清洗及吸附空氣 CO2所致。仔細(xì)觀察二氧化鈦薄膜 XPS 全譜圖,可以發(fā)現(xiàn)在結(jié)合能大約 400 eV 處有個(gè)弱峰,即為 N1s 的特征峰。說明陰極弧沉積技術(shù)成功制備了含氮的二氧化鈦薄膜。圖 2B 為含氮二氧化鈦薄膜表面 Ti2p、N1s、O1s 的高分辨譜。其中 Ti2p 能級的高分辨掃描圖,在 459.15 和464.9eV 有兩個(gè)擬合峰,其分別對應(yīng)于 Ti2p1/2 及 Ti2p3/2 軌道同 O1s 軌道形成 Ti-O 化學(xué)鍵的結(jié)合能。圖 2B 中 O1s 能級的高分辨圖中只有一個(gè)特征峰,其結(jié)合能為 530.6eV,其對應(yīng)于 O1s 軌道與 Ti2p 軌道形成的 Ti-O 鍵的結(jié)合能。由 XPS 結(jié)果中 Ti 及 O 的軌道結(jié)合能可以確定,含氮二氧化鈦薄膜表面 Ti2p 及 O1s 的化合態(tài)分別為 Ti4+及 O2-,從而可以進(jìn)一步確定二氧化鈦的存在。圖 2C 為對 N1s 能級進(jìn)行 Gaussian 擬合,分別于 396.82、400.32、402.18eV 三處出現(xiàn)特征峰位。
【學(xué)位授予單位】:蘇州大學(xué)
【學(xué)位級別】:博士
【學(xué)位授予年份】:2014
【分類號】:R318.1
【共引文獻(xiàn)】
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本文編號:2578022
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