【摘要】：以CH4為碳源,氬氣為輔助氣體,利用射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(RF-PECVD)的方法在種植體連接螺絲上制備了類金剛石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜。采用拉曼光譜儀(Raman)、X射線光電子能譜儀(XPS)、掃描電子顯微鏡(SEM)、摩擦磨損試驗機(jī)、納米壓痕儀等儀器對薄膜的結(jié)構(gòu)、成分、形貌、機(jī)械及摩擦學(xué)特性進(jìn)行表征。結(jié)果表明,所制備薄膜致密、平滑,均勻性較好。納米壓痕測試及生理鹽水環(huán)境中的摩擦磨損試驗顯示,DLC薄膜具有較高的硬度和良好的生物潤滑性,可作為種植體連接螺絲表面的承載減摩涂層。
[Abstract]:Diamond like carbon (Diamond-like) films were prepared by radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (RF-PECVD) with CH4 as carbon source and argon as auxiliary gas. The structure, composition, morphology, mechanical and tribological properties of the films were characterized by (Raman) X-ray photoelectron spectroscopy (Raman) X-ray photoelectron spectroscopy (XPS),) scanning electron microscope (XPS), (SEM), friction and wear tester and nano-indentation instrument. The results showed that the films were compact, smooth and uniform. Nano indentation test and friction and wear test in normal saline environment showed that the DLC film had high hardness and good biolubricity and could be used as an antifriction coating on the surface of implant joint screw.
【作者單位】： 東北大學(xué);
【基金】：遼寧省自然科學(xué)基金(201202058) 中央高校基本科研業(yè)務(wù)費(fèi)專項資金(N130403004)
【分類號】：TB43;R318.08

【參考文獻(xiàn)】

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1 程宇航,吳一平,陳建國,喬學(xué)亮;類金剛石(DLC)膜的制備技術(shù)概況[J];材料導(dǎo)報;1996年02期

2 魯占靈;張兵臨;姚寧;楊仕娥;樊志琴;;非晶碳膜中sp~2和sp~3相的檢測方法[J];材料導(dǎo)報;2006年06期

3 汪大林,徐君伍,于家斗;鈦在口腔修復(fù)醫(yī)學(xué)中的應(yīng)用[J];稀有金屬材料與工程;1993年03期

4 張新平,于思榮,夏連杰,何鎮(zhèn)明;鈦及鈦合金在牙科領(lǐng)域中的研究現(xiàn)狀[J];稀有金屬材料與工程;2002年04期

5 李紅軒,徐洮,陳建敏,周惠娣,劉惠文;直流射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積類金剛石碳薄膜的結(jié)構(gòu)及摩擦學(xué)性能研究[J];摩擦學(xué)學(xué)報;2004年01期

【共引文獻(xiàn)】

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1 于大洋;馬勝歌;張以忱;徐路;;非平衡磁控濺射結(jié)合電弧離子鍍制備摻雜DLC硬質(zhì)膜性能研究[J];中國表面工程;2006年06期

2 楊旭;譚建國;李德利;周建鋒;陳立;;齒科鑄造用純鈦制作義齒支架的臨床效果評價[J];北京大學(xué)學(xué)報(醫(yī)學(xué)版);2010年01期

3 楊莉;付亞波;陳強(qiáng);;射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積類金剛石薄膜的結(jié)構(gòu)及摩擦學(xué)性能研究[J];包裝工程;2008年10期

4 周勇;類金剛石薄膜結(jié)構(gòu)的研究[J];長春師范學(xué)院學(xué)報;1997年05期

5 李兆峰;黃偉九;劉明;;人體用金屬植入材料的研究進(jìn)展[J];重慶工學(xué)院學(xué)報;2006年05期

6 仝毅,周馨我;微波透波材料的研究進(jìn)展[J];材料導(dǎo)報;1997年03期

7 張化宇;謝小強(qiáng);施元;李山丹;劉義為;;磁頭表面超薄DLC保護(hù)層厚度測量研究[J];材料工程;2006年S1期

8 周亞光;等離子體法制備類金剛石膜的研究[J];材料科學(xué)與工藝;1997年01期

9 張新平,于思榮,夏連杰,何鎮(zhèn)明;鈦及鈦合金在牙科領(lǐng)域中的研究現(xiàn)狀[J];稀有金屬材料與工程;2002年04期

10 張新平,于思榮,李蕊,劉耀輝,何鎮(zhèn)明;基于模糊推理的Ti-Fe-Mo-Mn-Nb-Zr系鈦合金性能預(yù)測及成分優(yōu)化[J];稀有金屬材料與工程;2003年09期

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1 楊莉;付亞波;陳強(qiáng);;類金剛石薄膜的微觀結(jié)構(gòu)及摩擦學(xué)性能研究[A];第七屆全國表面工程學(xué)術(shù)會議暨第二屆表面工程青年學(xué)術(shù)論壇論文集（一）[C];2008年

2 楊莉;陳強(qiáng);;射頻功率和沉積時間對類金剛石薄膜結(jié)構(gòu)及摩擦學(xué)性能的影響[A];第七屆全國表面工程學(xué)術(shù)會議暨第二屆表面工程青年學(xué)術(shù)論壇論文集（二）[C];2008年

3 李伯瓊;李志強(qiáng);陸興;;孔隙結(jié)構(gòu)對多孔鈦耐蝕性能的影響[A];第七屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集（第5分冊）[C];2010年

4 景建龍;俞青;徐鳳林;丁晨;黃罡;;齒科鈦金屬激光焊接工藝研究[A];全國第六屆口腔修復(fù)工藝學(xué)學(xué)術(shù)會議論文匯編[C];2007年

5 逄顯娟;石雷;王鵬;張廣安;張俊彥;劉維民;;磁控濺射沉積Ti、AI摻雜的類金剛石碳薄膜的摩擦學(xué)性能[A];第八屆全國摩擦學(xué)大會論文集[C];2007年

6 張俊彥;王成兵;;超潤滑類金剛石薄膜的制備[A];第八屆全國摩擦學(xué)大會論文集[C];2007年

7 楊莉;陳強(qiáng);;PECVD法沉積類金剛石膜的研究[A];2008年全國荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會議暨中國電工技術(shù)學(xué)會第十二屆電子束離子束學(xué)術(shù)年會、中國電子學(xué)會焊接專業(yè)委員會第九屆全國電子束焊接學(xué)術(shù)交流會、粒子加速器學(xué)會第十一屆全國離子源學(xué)術(shù)交流會、中國機(jī)械工程學(xué)會焊接分會2008年全國高能束加工技術(shù)研討會、北京電機(jī)工程學(xué)會第十屆粒子加速器學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2008年

8 張以忱;于大洋;馬勝歌;巴德純;;類金剛石摻雜Ti／N薄膜的制備與性能研究[A];真空冶金與表面工程——第八屆真空冶金與表面工程學(xué)術(shù)會議論文集[C];2007年

9 孫瑤;黃星燁;王箭;汪洪;;不同鍍膜方式制備非晶碳膜的結(jié)構(gòu)與性能比較[A];2013全國玻璃科學(xué)技術(shù)年會論文集[C];2013年

10 王軍軍;蒲吉斌;張廣安;王立平;;超厚類金剛石涂層的可控制備及其性能[A];第十一屆全國摩擦學(xué)大會論文集[C];2013年

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1 胡欣;齒科修復(fù)用鈦—鋯—鈮—錫合金研制及臨床應(yīng)用研究[D];天津醫(yī)科大學(xué);2011年

2 劉鐵龍;新型雙向鎖定式鈦纜內(nèi)固定系統(tǒng)的研制及測試[D];第二軍醫(yī)大學(xué);2006年

3 李莉莉;不同樁系統(tǒng)結(jié)合不同粘固劑修復(fù)薄弱殘根應(yīng)力分布的研究[D];第四軍醫(yī)大學(xué);2006年

4 高寧;口腔修復(fù)材料—鎳鉻鈹合金中鈹對齦下微生物影響的研究[D];四川大學(xué);2005年

5 吳勁鋒;制粒環(huán)模磨損失效機(jī)理研究及優(yōu)化設(shè)計[D];蘭州理工大學(xué);2008年

6 徐麗娟;牙科用鈦合金組織與性能的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2007年

7 劉愛輝;鈦合金熔體與陶瓷鑄型界面反應(yīng)規(guī)律及微觀機(jī)理研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2007年

8 劉玉紅;可塑性纖維增強(qiáng)樹脂基復(fù)合材料根管樁的研制和相關(guān)性能研究[D];第四軍醫(yī)大學(xué);2008年

9 劉小波;鈦基金屬氧化物復(fù)合材料性能的研究[D];吉林大學(xué);2009年

10 郭文淵;亞穩(wěn)β型Ti-Nb-Ta-Zr-O合金的顯微組織與性能[D];上海交通大學(xué);2008年

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1 門洪志;TiAl基合金SPS燒結(jié)微觀組織特征及高溫氧化性能研究[D];長春工業(yè)大學(xué);2010年

2 梁建鶴;陽極氧化法制備TiO_2納米管陣列及其性質(zhì)研究[D];福建師范大學(xué);2010年

3 江源勝;鋅離子摻雜及電解液濃度變化對電化學(xué)沉積鈣磷鹽涂層的影響[D];浙江大學(xué);2011年

4 吳飛虎;鈦合金A-TIG焊活性劑的研制[D];蘭州理工大學(xué);2011年

5 黃勇;醫(yī)用鈦表面HA/ZrO_2過渡涂層的制備及其生物相容性評價[D];電子科技大學(xué);2011年

6 劉婷;4種烤瓷冠基底合金浸提液對人牙齦成纖維細(xì)胞細(xì)胞周期及Bcl-2和Bax表達(dá)的影響[D];遼寧醫(yī)學(xué)院;2011年

7 李艷;鋁箔包覆Ti-Al-V合金薄板滲鋁動力學(xué)與組織結(jié)構(gòu)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

8 楊雪;Ti-25Nb-2Zr鈦合金表面微弧氧化膜的制備[D];天津大學(xué);2010年

9 馬明;鈀摻雜非晶碳膜/二氧化硅/硅異質(zhì)結(jié)的制備及其光電特性的研究[D];中國石油大學(xué);2011年

10 夏方園;無氫類金剛石薄膜的損耗特性研究[D];西安工業(yè)大學(xué);2012年

【二級參考文獻(xiàn)】

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1 于思榮;生物醫(yī)學(xué)鈦合金的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢[J];材料科學(xué)與工程;2000年02期

2 汪大林,徐君伍,于家斗;鈦在口腔修復(fù)醫(yī)學(xué)中的應(yīng)用[J];稀有金屬材料與工程;1993年03期

3 郭力軍，許念坎，劉正堂，張貴鋒，，鄭修麟;極板負(fù)偏壓對類金剛石薄膜性質(zhì)的影響[J];材料研究學(xué)報;1994年01期

4 莫黨,李芳,陳第虎,郭揚(yáng)銘,魏愛香;功能碳薄膜化學(xué)鍵成分的橢偏光譜研究[J];功能材料;2003年05期

5 胡獻(xiàn)國;牙體材料的摩擦學(xué)研究進(jìn)展[J];功能材料;1999年04期

6 閆玉華,李志剛,陳曉明,李世普;鈦合金牙根種植體表面燒結(jié)復(fù)合涂層的研究[J];硅酸鹽學(xué)報;1997年05期

7 程宇航,吳一平,陳建國,喬學(xué)亮,謝長生,孫育斌;類金剛石膜結(jié)構(gòu)的紅外分析[J];硅酸鹽學(xué)報;1998年04期

8 張玉梅,郭天文,李佐臣;牙科用Ti-Zr合金的研制及性能特點[J];華西口腔醫(yī)學(xué)雜志;1999年04期

9 于思榮;金屬系牙科材料的應(yīng)用現(xiàn)狀及部分元素的毒副作用[J];金屬功能材料;2000年01期

10 李劉合,夏立芳,張海泉,張彥華,周志敏;類金剛石碳膜的摩擦學(xué)特性及其研究進(jìn)展[J];摩擦學(xué)學(xué)報;2001年01期

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3 蔣書文,尹光福,鄭昌瓊,張利,孟永剛;類金剛石碳膜/Ti6Al4V鈦合金梯度材料的生物摩擦學(xué)性能研究[J];航天醫(yī)學(xué)與醫(yī)學(xué)工程;2001年04期

4 龍東平;譚建平;;人工器官中的摩擦學(xué)問題[J];機(jī)械科學(xué)與技術(shù);2008年02期

5 黃孝龍;朱華;葛世榮;;生理鹽水對豬股骨生物摩擦學(xué)行為的影響[J];潤滑與密封;2008年10期

6 黃孝龍;葛世榮;吳虎成;;血漿潤滑條件下豬股骨的生物摩擦學(xué)研究[J];潤滑與密封;2008年12期

7 潘育松;熊黨生;;聚乙烯醇水凝膠的生物摩擦學(xué)研究進(jìn)展[J];摩擦學(xué)學(xué)報;2006年02期

8 ;[J];;年期

9 ;[J];;年期

10 ;[J];;年期

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2 陳東輝;典型生物摩擦學(xué)結(jié)構(gòu)及仿生[D];吉林大學(xué);2007年

本文編號：2198526