本文關(guān)鍵詞： 高溫退火處理 表面改性 氧化鈦　出處：《材料導(dǎo)報(bào)》2014年16期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：采用非平衡磁控濺射設(shè)備在熱解碳表面沉積氧化鈦薄膜,并置于超高真空環(huán)境中進(jìn)行高溫退火處理。利用X射線衍射評(píng)價(jià)薄膜的晶體結(jié)構(gòu);使用臺(tái)階儀分析退火前后薄膜表面曲率變化;采用納米劃痕法評(píng)價(jià)薄膜與基體之間的結(jié)合力。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,高溫退火處理不會(huì)改變氧化鈦薄膜的相結(jié)構(gòu),僅使薄膜晶粒尺寸長(zhǎng)大,結(jié)晶更完整;臺(tái)階儀掃描結(jié)果顯示經(jīng)過(guò)高溫處理后薄膜表面發(fā)生的變形減小,顯示出薄膜內(nèi)應(yīng)力減小;納米劃痕測(cè)試分析得出,高溫退火處理可以提高薄膜與基體之間的膜基結(jié)合力。
[Abstract]:Titanium oxide thin films were deposited on the surface of pyrolytic carbon by unbalanced magnetron sputtering equipment and annealed at high temperature in ultra-high vacuum environment. The crystal structure of the films was evaluated by X-ray diffraction. The surface curvature of the films before and after annealing was analyzed by step analyzer, and the adhesion between the films and the substrate was evaluated by nano-scratch method. The experimental results showed that the phase structure of titanium oxide films could not be changed by high temperature annealing. Only the grain size of the film is grown and the crystal is more complete. The results of the step scanner show that the deformation on the surface of the film after high temperature treatment decreases and the stress inside the film decreases. High temperature annealing can improve the adhesion between the film and the substrate.
【作者單位】： 西南交通大學(xué)材料先進(jìn)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;重慶工業(yè)職業(yè)技術(shù)學(xué)院科技處;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(81270701)
【分類號(hào)】：R318.08

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1524341