本文關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體制造，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

《復(fù)旦大學(xué)》 2011年

半導(dǎo)體制造廠電壓驟降問題及治理

黃磊  

【摘要】：現(xiàn)代化的半導(dǎo)體制程設(shè)備對電力品質(zhì)問題非常敏感,當(dāng)電力系統(tǒng)遭受到電力品質(zhì)問題時會導(dǎo)致生產(chǎn)停止、芯片報廢、產(chǎn)能損失等。在影響制程設(shè)備的電力品質(zhì)的諸多因素中,由電壓驟降引起的用戶設(shè)備停機(jī)及導(dǎo)致生產(chǎn)損失占整個電力品質(zhì)問題的90%以上,所以電壓驟降已上升為影響半導(dǎo)體制造廠最為重要的電力品質(zhì)問題。 目前半導(dǎo)體行業(yè)大量使用不間斷電源作為抗電壓驟降的武器,但它的工作效率比較低并且維護(hù)和運行成本非常高,其使用儲能器件電池平均每個季度都要要進(jìn)行一次性能測試,每隔3~4年要更換一次蓄電池,處理廢電池帶來很多環(huán)保問題。對于研究更有效、節(jié)能、環(huán)保的電壓驟降治理方案勢在必行。 結(jié)合公司目前實際情況電壓驟降治理需要滿足治理效果好、運行效率高、維護(hù)費用少、符合環(huán)保要求等要求,主要研究成果及結(jié)論如下： 1.研究電壓驟降的定義、產(chǎn)生原因、特征量的理論計算及電壓驟降的檢測方法,分析電壓驟降對半導(dǎo)體制程的影響。 2.分析公司目前配電系統(tǒng)電壓驟降治理方案存在的缺陷并提出新的驟降治理的方向。統(tǒng)計分析了SM半導(dǎo)體公司電壓驟降事件及其對生產(chǎn)的巨大影響,根據(jù)電壓驟降的分布概率及嚴(yán)重程度來進(jìn)行重點驟降治理。 3.對動態(tài)電壓補(bǔ)償器進(jìn)行分析與比較,結(jié)合公司電力配電系統(tǒng)狀況對幾種不同類型的動態(tài)電壓補(bǔ)償器進(jìn)行分析與選取。深入研究動態(tài)電壓補(bǔ)償器的功能與原理,對設(shè)備電源回路及內(nèi)部儲能電路進(jìn)行改造使之與原有電力系統(tǒng)完美的匹配,達(dá)到電壓驟降治理的全覆蓋。 4.完成電壓驟降治理效果驗證,通過模擬電壓驟降及真實驟降事件的考驗,驗證本文所設(shè)計的治理方案完全滿足要求。

【關(guān)鍵詞】：
【學(xué)位授予單位】：復(fù)旦大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2011
【分類號】：TN305;TM714.2
【目錄】：

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