微機(jī)電(MEMS)陀螺儀是一種用于測(cè)量角速率或姿態(tài)角的慣性傳感器。微機(jī)電陀螺具有體積小、成本低、重量輕及功耗小等優(yōu)點(diǎn),在民用汽車業(yè)、工業(yè)控制、消費(fèi)電子,在軍用無(wú)人機(jī)、導(dǎo)彈、火控等領(lǐng)域均有著廣泛且重要的應(yīng)用。武器系統(tǒng)向著小型化、便攜式、智能化方向飛速發(fā)展,就要求MEMS陀螺能夠在小體積、低功耗的基礎(chǔ)上,實(shí)現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定的測(cè)量。受到制造工藝誤差、材料分散性、封裝可靠性等問(wèn)題的限制,MEMS陀螺達(dá)到一定的測(cè)量精度之后,如需進(jìn)一步提升其測(cè)量精度及穩(wěn)定性,技術(shù)難度及成本控制受到極大的挑戰(zhàn)。近年來(lái)MEMS陀螺數(shù)字化測(cè)控技術(shù)得到了較快的發(fā)展,其具有高穩(wěn)定、高精度、可重構(gòu)的特點(diǎn),體現(xiàn)出了極大的技術(shù)發(fā)展優(yōu)勢(shì)�；贛EMS陀螺數(shù)字化測(cè)控技術(shù),通過(guò)研究智能化的自校準(zhǔn)算法,可突破既定工藝技術(shù)的制約,實(shí)現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定的智能化MEMS陀螺,極大的拓寬MEMS陀螺應(yīng)用場(chǎng)景。具有重大的科研與應(yīng)用價(jià)值。本論文通過(guò)基于MEMS陀螺加工工藝和接口電路誤差的零偏誤差模型,提出了基于模態(tài)反轉(zhuǎn)與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)學(xué)習(xí)的零偏自校準(zhǔn)方法,通過(guò)基于多目標(biāo)參數(shù)優(yōu)化的MEMS陀螺測(cè)控系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法,突破了 MEMS陀螺零偏自校準(zhǔn)測(cè)控系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù),...

【文章頁(yè)數(shù)】：130 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：博士

【部分圖文】：

圖１．１微機(jī)電陀螺發(fā)展概況??為了提高ＭＥＭＳ陀螺的精度，目前的研究主要集中在ＭＥＭＳ陀螺表芯結(jié)構(gòu)的創(chuàng)新??

ｉｃａｌ??Ｇｙｒｏｓｃｏｐｅｓ?；?Ｇｙｒｏｓｃｏｐｅｓ?！??Ｉ?Ｉ??ｉ?ｉ??１Ｅ＋１?－?＼??Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ?ｏｆ?Ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄ?！??Ｉｍｐｒｏｖｅｍｅｎｔ?ｇｙｒｏｓｃｏｐｅｓ??ｌ?Ｉ??１Ｅ〇?Ｉｎｅｒｔｉａｌ?Ｇｒａｄｅ＼?＾Ｏ．ＯＩｄｅｇ....

圖１．２智能ＭＥＭＳ器件結(jié)構(gòu)與功能１１５１??該實(shí)驗(yàn)室指出具有誤差抑制能力的零偏在線自校準(zhǔn)方法是智能ＭＥＭＳ系統(tǒng)中最重??

ｔｅｄ?ｐｒｅｐｒｏｃｅｓｓｏｒ?＾?Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ?Ｕｎｉｔ?丨－…〉??ＦＵＮＣＴＩＯＮＳ?ＦＯＵＣＴＩＯＮＳ??？?Ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ?ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎｓ??？?Ｔｏ?ａｍｐｌｉｆｙ?？?Ｓｅｌｆ－ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ??？?Ｔｏ?ｒｅｄｕｃｅ?ｎｏｉｓｅ....

圖１．４?２００４年加州大學(xué)丨ｒｖｉｎｅ分�？蚣苁剑停牛停油勇荩保保福�??

?ＭＥＭＳ陀螺零偏在線自校準(zhǔn)方法研究???ＭＥＭＳ陀螺的研宄熱點(diǎn)。??１．２．１．１正交模態(tài)ＭＥＭＳ陀螺發(fā)展現(xiàn)狀??１９９３年Ｄｒａｐｅｒ?qū)嶒?yàn)室在第一代ＭＥＭＳ陀螺框架式結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，為解決共模信號(hào)??抑制的問(wèn)題，在后續(xù)研宄中，采用體硅溶片加工工藝，改進(jìn)得到了調(diào)頻音叉式ＭＥＭＳ?....

圖１．３?１９９３年Ｄｒａｐｅｒ?qū)嶒?yàn)室音叉式ＭＥＭＳ陀螺１１７１??

?ＭＥＭＳ陀螺零偏在線自校準(zhǔn)方法研究???ＭＥＭＳ陀螺的研宄熱點(diǎn)。??１．２．１．１正交模態(tài)ＭＥＭＳ陀螺發(fā)展現(xiàn)狀??１９９３年Ｄｒａｐｅｒ?qū)嶒?yàn)室在第一代ＭＥＭＳ陀螺框架式結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，為解決共模信號(hào)??抑制的問(wèn)題，在后續(xù)研宄中，采用體硅溶片加工工藝，改進(jìn)得到了調(diào)頻音叉式ＭＥＭＳ?....

本文編號(hào)：3964592