發(fā)布時間：2021-10-10 15:52

　　納米器件具有靈敏度高、選擇性強(qiáng)、功耗低等特點(diǎn),在電子信息、生物醫(yī)療、環(huán)境能源等領(lǐng)域具有廣闊應(yīng)用前景。納米尺度結(jié)構(gòu)是納米器件的基礎(chǔ),是實(shí)現(xiàn)納米器件高性能的關(guān)鍵。目前,納米尺度結(jié)構(gòu)的制造過程普遍需要借助昂貴的聚焦離子束、電子束曝光、納米壓印等設(shè)備和多層套刻、結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移等復(fù)雜工藝步驟,其工藝流程復(fù)雜、效率低、成本高,阻礙了納米器件的廣泛應(yīng)用。本文基于電流體動力理論和多物理場復(fù)合作用,研究了電場-流體復(fù)合約束的同軸電流體射流機(jī)理,提出了同軸聚焦電流體噴射納米打印方法,針對典型壓電功能材料,實(shí)現(xiàn)了納米尺度線形結(jié)構(gòu)的高性能和高效率打印制造。研究內(nèi)容主要包括如下五部分:（1）研究了同軸電流體射流的聚焦作用機(jī)理,建立了同軸電流體錐-射流模式形成過程的數(shù)值仿真模型,探明了納米尺度射流的形成機(jī)制。通過分析電流體射流四階對稱方程,建立了同軸電流體射流直徑標(biāo)度率關(guān)系式,探究了同軸聚焦約束機(jī)制�；谌嗔鞫辔锢韴鰪�(fù)合,建立了電場力疊加流體動量的數(shù)學(xué)方程,仿真分析了電場作用下溶液中電荷的產(chǎn)生和運(yùn)動行為,探明了同軸錐-射流模式形成及演變規(guī)律,揭示了關(guān)鍵工藝參數(shù)對同軸射流的作用機(jī)理,獲得了穩(wěn)定同軸電流體射流形成的最佳參... 

【文章來源】：大連理工大學(xué)遼寧省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：152 頁

【學(xué)位級別】：博士

【部分圖文】：

圖１．２納米發(fā)電機(jī)與醫(yī)用自供電設(shè)備??Ｆｉｇ．?１．２?Ｎａｎｏｇｅｎｅｒａｔｏｒ?ａｎｄ?ｍｅｄｉｃａｌ?ｓｅｌｆ－ｐｏｗｅｒ?ｓｕｐｐｌｙ?ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ＾２８１??

圖１．３柔性電子器件與納米發(fā)光量子點(diǎn)Ｉ％??Ｆｉｇ．?１．３?Ｆｌｅｘｉｂｌｅ?ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ?ｄｅｖｉｃｅｓ?ａｎｄ?ｎａｎｏ?ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ?ｑｕａｎｔｕｍ?ｄｏｔｓＰ（｜ｌ??

圖１．６電噴霧原理和不同模式示意圖??Ｆｉｇ．?１．６?Ｓｃｈｅｍａｔｉｃ?ｄｉａｇｒａｍ?ｏｆ?ｅｌｅｃｔｒｏｓｐｒａｙ?ｐｒｉｎｃｉｐｌｅ?ａｎｄ?ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ?ｍｏｄｅｓ＊６４１??

【參考文獻(xiàn)】：
碩士論文
[1]微/納機(jī)電諧振器特性研究[D]. 梁秋芳.浙江大學(xué) 2007



本文編號：3428683