本文關(guān)鍵詞：基于變量分離理論的光刻成像快速計(jì)算方法研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

2015年5月16日上午9點(diǎn)，NOM組2010級博士研究生董正瓊、周新江、朱金龍三位同學(xué)在武漢國家數(shù)字裝備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室機(jī)械先進(jìn)制造大樓C303會議室進(jìn)行了博士學(xué)位論文答辯。答辯委員會主席為華中科技大學(xué)機(jī)械學(xué)院康宜華教授、答辯委員包括華中科技大學(xué)機(jī)械學(xué)院史鐵林教授、熊蔡華教授、湯 自榮教授、吳志剛教授和劉世元教授，答辯秘書為江浩副教授。

董正瓊同學(xué)的學(xué)位論文題目為“光學(xué)散射測量中的測量條件配置優(yōu)化方法研究”，該論文研究了光學(xué)散射測量的若干基礎(chǔ)理論問題，對典型納米結(jié)構(gòu)的測量過程展開靈敏度特性分析，并根據(jù)不同的納米結(jié)構(gòu)測量需求分別提出了基于局部靈敏度法、基于全局靈敏度法、以及基于線性相關(guān)分析法這三種測量條件配置優(yōu)化方法，為解決測量條件配置的優(yōu)化問題提供更為有效的新途徑，為批量化納米制造中納米結(jié)構(gòu)幾何參數(shù)的快速、精確測量提供理論指導(dǎo)，并促進(jìn)光學(xué)散射測量技術(shù)在納米制造領(lǐng)域中的應(yīng)用。

周新江同學(xué)的學(xué)位論文題目為“基于變量分離理論的光刻成像快速計(jì)算方法研究”，該論文以浸沒式光刻機(jī)成像系統(tǒng)為研究對象，使成像模型可以快速計(jì)算工藝參數(shù)改變后對成像的影響，進(jìn)而可以滿足光學(xué)臨近校正技術(shù)中掩模逆向優(yōu)化計(jì)算速度的要求。標(biāo)量成像模型主要研究處理包含離焦、波像差、曝光劑量等工藝參數(shù)下光刻成像快速計(jì)算；矢量成像模型主要研究基于部分相干光源多入射角參數(shù)下厚掩模近場快速計(jì)算模型、基于多入射角參數(shù)下厚掩模模型的矢量成像建模及其快速算法、基于矢量成像模型的光刻膠多層薄膜介質(zhì)成像模型及其快速算法等研究工作。為深入認(rèn)識和理解光刻工藝過程提供理論基礎(chǔ)，，為光學(xué)臨近效應(yīng)校正技術(shù)的應(yīng)用作出指導(dǎo)，為進(jìn)一步提高光學(xué)光刻分辨力提供新方法。

朱金龍同學(xué)的學(xué)位論文題目為“納米結(jié)構(gòu)光學(xué)散射測量中的形貌重構(gòu)方法研究”，該論文以基于光學(xué)散射儀的納米結(jié)構(gòu)測量逆問題為出發(fā)點(diǎn)，提出納米結(jié)構(gòu)光學(xué)散射測量中的形貌重構(gòu)方法研究，具體的研究內(nèi)容包括：提出了一種基于支持向量機(jī)的納米結(jié)構(gòu)幾何形貌識別方法；分別提出了基于數(shù)據(jù)約化思想和基于魯棒統(tǒng)計(jì)原理的非線性優(yōu)化算法與庫匹配方法，在業(yè)界首次突破了正態(tài)統(tǒng)計(jì)假設(shè)框架，實(shí)現(xiàn)了更高準(zhǔn)確度的典型納米結(jié)構(gòu)幾何形貌參數(shù)提取結(jié)果；在傳統(tǒng)的基于正態(tài)統(tǒng)計(jì)與協(xié)方差矩陣有關(guān)理論的測量參數(shù)不確定度估計(jì)方法基礎(chǔ)上，利用所提出的數(shù)據(jù)約化方法對其進(jìn)行了修正，獲得了更為魯棒可靠的不確定度估計(jì)結(jié)果。以上研究內(nèi)容為批量化納米制造中納米結(jié)構(gòu)幾何參數(shù)的精確魯棒提取提供了理論指導(dǎo)，并進(jìn)一步促進(jìn)了光學(xué)散射測量方法在納米制造表征中的運(yùn)用。

三位同學(xué)通過PPT的方式依次向答辯委員會陳述了研究內(nèi)容，并對答辯委員會提出的各種問題一一進(jìn)行了解答。隨后答辯委員會通過內(nèi)部會議對答辯結(jié)果進(jìn)行了討論，一致認(rèn)為三位同學(xué)都已掌握本學(xué)科堅(jiān)實(shí)寬廣的基礎(chǔ)理論和系統(tǒng)深入的專門知識，具有獨(dú)立從事科學(xué)研究工作的能力，且在答辯中陳述清楚，回答問題正確，一致通過了其工學(xué)博士學(xué)位論文答辯，建議分別授予董正瓊、周新江、朱金龍三位同學(xué)工學(xué)博士學(xué)位。

在此祝賀三位同學(xué)圓滿完成博士學(xué)業(yè)，衷心希望他們畢業(yè)以后工作順利、事業(yè)有成。

  本文關(guān)鍵詞：基于變量分離理論的光刻成像快速計(jì)算方法研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。