本文關(guān)鍵詞：基于微相關(guān)導(dǎo)引的SPM低漂移掃描方法研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

《中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)》 2015年

基于微相關(guān)導(dǎo)引的SPM低漂移掃描方法研究

張連生  

【摘要】：掃描探針顯微鏡能實現(xiàn)樣品表面形貌原子的成像以及納米級的測量,在精密機械、材料科學(xué)、納米技術(shù)和生物化學(xué)等基礎(chǔ)領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。然而在掃描過程中由溫度變化等原因引起的漂移嚴(yán)重影響了掃描到的圖像質(zhì)量以及測量的精度。目前校正漂移的方法大都局限于對某一區(qū)域進行連續(xù)跟蹤掃描,或者使用后處理的方法對采集到的圖像進行漂移校正,限制了掃描探針顯微鏡實時獲取低漂移圖像的能力。為此,本論文提出了微相關(guān)導(dǎo)引掃描的方法,可以在掃描探針顯微鏡掃描的過程中進行實時的三維方向的漂移計算和補償。 本論文圍繞所提出的微相關(guān)導(dǎo)引掃描方法,對其工作原理進行了理論研究,并使用MATLAB軟件對工作過程進行了仿真驗證和分析。使用LabVIEW虛擬儀器和MATLAB圖像處理的混合編程實現(xiàn)了該方法在基于AFM的實驗平臺中的應(yīng)用,并對使用該方法掃描得到的圖像進行了對比和分析。論文的主要研究內(nèi)容和創(chuàng)新點如下： (1)本論文對微相關(guān)導(dǎo)引掃描方法的工作原理進行了理論研究。該方法在掃描整個目標(biāo)區(qū)域時,使用逐條窄帶掃描的方式。相鄰的兩條窄帶的掃描區(qū)域部分重復(fù),并且慢軸掃描方向相反。對于橫向漂移,每條窄帶被人為分成若干個微塊,每掃描完當(dāng)前窄帶的一個微塊區(qū)域,使用與上條窄帶中重疊區(qū)域的圖像進行數(shù)字相關(guān)計算得到該微塊的漂移量,并實時的補償,實現(xiàn)對下一個微塊的導(dǎo)引掃描。掃描完每條窄帶后,使用每個微塊的漂移校正圖像中的橫向漂移影響。豎向漂移對每條窄帶的影響可以視為是線性的,使用擬合背景參考平面的方式進行校正。 (2)本論文使用MATLAB軟件對微相關(guān)導(dǎo)引掃描方法的可行性進行了仿真分析。在獲取像素點的坐標(biāo)時,加入隨掃描時間變化的坐標(biāo)偏移量來模擬掃描過程中漂移的影響。使用相關(guān)計算,可以準(zhǔn)確的得到掃描過程中的人為設(shè)置的漂移量,誤差與初始設(shè)置的漂移不超過0.5個像素點。通過得到的漂移量對掃描的圖像進行漂移校正,恢復(fù)得到了和原始圖像一樣的圖像,證明了該方法的可行性。通過仿真分析了窄帶之間的重疊率和預(yù)設(shè)漂移速度對最終恢復(fù)的圖像質(zhì)量的影響,對于較大的漂移速度,需要使用較大的重疊率,而較大的重疊率會減小掃描區(qū)域的面積。 (3)本論文在商用原子力顯微鏡的基礎(chǔ)上搭建了實驗平臺,并通過LabVIEW和MATLAB混合編程的方式進行控制。LabVIEW程序連接NI的PCI-6024E板卡實現(xiàn)了對原子力顯微鏡橫向x-y平面的驅(qū)動以及對垂直方向z軸高度數(shù)據(jù)的采集。LabVIEW程序內(nèi)部嵌入的MATLAB代碼可以方便靈活的對采集的高度數(shù)據(jù)進行整合得到圖像。該控制方法實現(xiàn)了對原子力顯微鏡的基本控制,為微相關(guān)導(dǎo)航掃描方法在原子力顯微鏡的應(yīng)用打下了基礎(chǔ)。 (4)本論文還對電壓驅(qū)動帶來的壓電陶瓷遲滯和漂移補償帶來的漏掃描的問題進行了研究。建立了壓電陶瓷管的正弦遲滯模型,并使用圖像校正的方法消除掉大部分的遲滯的影響。未消除的較小的殘余遲滯,和漂移一起在掃描過程中使用相關(guān)計算的方法得到,并進行校正。針對漏掃描問題,提出了“虛偏移”的思想,即在實際掃描過程中,每次掃描稍大區(qū)域的一整條窄帶,根據(jù)漂移量的大小來選擇微塊在掃描的窄帶中的位置,并通過進行相關(guān)計算得到漂移量,來導(dǎo)引下一個微塊在窄帶中的位置。每條窄帶累積的漂移在窄帶掃描完成后校正。通過這種方式,既可以保證掃描的圖像中沒有蠕變的影響,而且那些原本被漏掃描的區(qū)域也包含在整個窄帶中,進行漂移校正后可以得到完整的沒有畸變的圖像。 (5)本論文在原子力顯微鏡中實現(xiàn)了微相關(guān)導(dǎo)引掃描方法并掃描得到了圖像。使用藍(lán)光光盤樣品,掃描了15條160×1000的窄帶,并組合成了一幅720x1000的圖像。使用多項式和一階正弦函數(shù)來擬合總漂移量趨勢中漂移和殘余遲滯的影響,得到了第一條窄帶的漂移速度,并用來校正整個圖像中第一條窄帶的漂移畸變。與傳統(tǒng)光柵式掃描方法得到的圖像對比,該方法掃描得到的圖像表現(xiàn)出了更小的漂移和遲滯影響,基于圖像的測量誤差小于1.5%。 基于以上研究,本論文提出和實現(xiàn)的微相關(guān)導(dǎo)引掃描方法可以很好的解決掃描探針顯微鏡掃描過程中的三維方向的漂移問題。由于實現(xiàn)了掃描過程中的漂移計算和補償,該方法可以在納米的精度下掃描大范圍的圖像,對于擴展掃描探針顯微鏡掃描的應(yīng)用具有一定的理論價值和實用意義。

【關(guān)鍵詞】：
【學(xué)位授予單位】：中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
【學(xué)位級別】：博士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TP391.41
【目錄】：

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