隨著現(xiàn)代先進(jìn)光學(xué)技術(shù)的發(fā)展,光學(xué)元件的需求量日益遞增,各種超精密光學(xué)元件被廣泛應(yīng)用于不同種類的光電系統(tǒng)中,同時對相關(guān)光學(xué)元件的加工面形精度、口徑范圍、面型復(fù)雜程度也提出了更高的要求。目前的光學(xué)研拋加工技術(shù)如計算機(jī)控制光學(xué)表面成型技術(shù)、應(yīng)力盤拋光技術(shù)、氣囊拋光技術(shù)、磁流變拋光技術(shù)、離子束拋光技術(shù)等已成為現(xiàn)代先進(jìn)光學(xué)研制技術(shù)中主流的光學(xué)加工方法,而這些研拋技術(shù)在加工效率、加工成本、以及拋光頭對工件口徑和面形的加工適用性等方面都存在或多或少的缺陷。盡管工業(yè)機(jī)器人加工方式價格低,其自由度高,加工口徑范圍廣,但因其剛度偏低,研拋壓力及其去除函數(shù)的穩(wěn)定性不易控制,故而往往被應(yīng)用于對加工精度要求不高的模具等拋光當(dāng)中,難以對精度要求較高的光學(xué)元件實(shí)現(xiàn)自動研拋加工。為此,本文在深入研究了機(jī)器人柔性研拋加工的材料去除機(jī)理的基礎(chǔ)上,設(shè)計了一款研拋壓力主動可控、材料去除效率高,研拋效果好的工業(yè)機(jī)器人柔性研拋加工工具,具備研拋壓力精度高,響應(yīng)快,去除函數(shù)穩(wěn)定性較強(qiáng)的特點(diǎn)。并通過開展研拋加工工藝實(shí)驗,為該機(jī)器人柔性研拋加工技術(shù)投入到實(shí)際的光學(xué)加工領(lǐng)域奠定了技術(shù)基礎(chǔ)。本文主要的研究內(nèi)容如下:(1)通過對機(jī)器人柔性研...

【文章頁數(shù)】：68 頁

【學(xué)位級別】：碩士

圖1-1大型天文望遠(yuǎn)鏡

圖1-2CCOS加工設(shè)備

圖1-3SLP設(shè)備

圖1-4氣囊拋光

本文編號：3886226