本文關(guān)鍵詞：大口徑光學(xué)元件表面疵病檢測(cè)　出處：《西南科技大學(xué)》2017年碩士論文　論文類型：學(xué)位論文

  更多相關(guān)文章： 疵病 散射成像 圖像拼接 圖像配準(zhǔn) 自動(dòng)聚焦

【摘要】：針對(duì)現(xiàn)有大口徑光學(xué)元件表面疵病檢測(cè)系統(tǒng)中疵病分辨率低、拼接速度慢、拼接精度低、不能微觀測(cè)量主要問(wèn)題,展開(kāi)了系統(tǒng)研究。設(shè)計(jì)了一套基于光散射成像的大口徑疵病檢測(cè)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),該系統(tǒng)從宏觀上和微觀上對(duì)疵病進(jìn)行數(shù)字化檢測(cè)。主要研究成果如下:(1)在圖像采集系統(tǒng)中,設(shè)計(jì)了大視場(chǎng)與小視場(chǎng)配合的圖像采集方案。在大視場(chǎng)下利用CCD和精密三維運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)采集待測(cè)光學(xué)元件的子孔徑圖像,并借助圖像拼接技術(shù)獲取全尺寸圖像。小視場(chǎng)通過(guò)顯微鏡定位和自動(dòng)聚焦完成微觀清晰疵病圖像采集。該方案既可以保證宏觀上高清晰疵病圖像的獲取,又可以在微觀上對(duì)疵病進(jìn)行后續(xù)分析。(2)在圖像拼接中,提出了一種快速高精度的圖像配準(zhǔn)算法。該算法首先利用自適應(yīng)閾值提取重疊區(qū)域疵病目標(biāo)信息;其次利用Canny邊緣提取算法和Graham算法求取疵病目標(biāo)最小外接矩形,根據(jù)最小外接矩形最短邊與水平軸夾角關(guān)系獲取配準(zhǔn)角度;最后,通過(guò)疵病目標(biāo)形心差值得出配準(zhǔn)平移關(guān)系,從而完成整個(gè)配準(zhǔn)過(guò)程。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該算法相比目前典型的配準(zhǔn)算法在精度上和速度上都有了較大提高。(3)在自動(dòng)聚焦過(guò)程中,為了克服微觀疵病紋理稀疏對(duì)聚焦結(jié)果帶來(lái)的影響,設(shè)計(jì)了一種基于區(qū)域灰度的聚焦評(píng)價(jià)函數(shù)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該算法在一定程度上能夠有效克服紋理稀疏對(duì)聚焦結(jié)果帶來(lái)影響,具有較高的適用性和可靠性。
[Abstract]:......
【學(xué)位授予單位】：西南科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2017
【分類號(hào)】：TP391.41

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