本文關(guān)鍵詞：硅MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)采集與分析系統(tǒng)的研發(fā)　出處：《西南科技大學(xué)》2017年碩士論文　論文類(lèi)型：學(xué)位論文

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【摘要】：硅MEMS加速度計(jì)因高性能,低功耗等優(yōu)點(diǎn)成為當(dāng)今國(guó)內(nèi)外研究的熱點(diǎn)。硅MEMS加速度計(jì)的廣泛使用也帶來(lái)了其各項(xiàng)性能評(píng)價(jià)的問(wèn)題。本文結(jié)合某研究所制定的硅MEMS加速度計(jì)設(shè)計(jì)出了一套高精度的采集測(cè)量系統(tǒng)。論文介紹了加速度計(jì)測(cè)試系統(tǒng)的整體設(shè)計(jì)方案,同時(shí)介紹了硬件的選擇、軟件模塊的設(shè)計(jì)和流程圖設(shè)計(jì)。數(shù)據(jù)采集軟件系統(tǒng)主要由MFC(微軟基礎(chǔ)類(lèi)庫(kù))和ACCESS數(shù)據(jù)庫(kù)設(shè)計(jì)完成,本文對(duì)加速度計(jì)的多項(xiàng)性能指標(biāo)進(jìn)行了研究,其中包括1g穩(wěn)定性,偏值,偏值穩(wěn)定性和重復(fù)性,標(biāo)度因數(shù),標(biāo)度因數(shù)重復(fù)性和穩(wěn)定性,偏值溫度靈敏度,標(biāo)度因數(shù)溫度靈敏度,偏值溫度不對(duì)稱(chēng)性等。同時(shí)說(shuō)明了加速度計(jì)的性能指標(biāo)改進(jìn)后詳細(xì)的測(cè)試方法。利用高精度數(shù)據(jù)采集卡完成待測(cè)加速度計(jì)的各項(xiàng)指標(biāo)數(shù)據(jù)采集,在數(shù)據(jù)分析中,利用斜率優(yōu)化算法,最小二乘法和移動(dòng)平均法等將采集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行優(yōu)化,加速度計(jì)部分指標(biāo)測(cè)試精度得到了改善。通過(guò)分析與實(shí)驗(yàn),利用該測(cè)量系統(tǒng)可以測(cè)量出給出的待測(cè)硅MEMS加速度計(jì)的各項(xiàng)指標(biāo)。通過(guò)計(jì)算可知,100 g加速度計(jì)的標(biāo)度因數(shù)為21.5 mv/g,標(biāo)度因數(shù)穩(wěn)定性為1211 ppm,比傳統(tǒng)的兩點(diǎn)法提高了80%,標(biāo)度因數(shù)重復(fù)性為1365 ppm,比傳統(tǒng)方法提高了85%,標(biāo)度因數(shù)溫度靈敏度為3832.75 ppm/0C,偏值為0.165766 g,偏值穩(wěn)定性為6.608970 mg,穩(wěn)定性比傳統(tǒng)方法提高了一個(gè)量級(jí),偏值重復(fù)性為2.086562 mg,偏值溫度靈敏度為105 Cg0?/,不對(duì)稱(chēng)性為11.8 mg,1 g穩(wěn)定性為6.76mg。
【學(xué)位授予單位】：西南科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2017
【分類(lèi)號(hào)】：TP274.2;TH824.4

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