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基于靜電懸浮的扭秤式重力梯度儀關(guān)鍵技術(shù)研究

發(fā)布時(shí)間:2018-02-03 19:41

  本文關(guān)鍵詞: 重力梯度儀 水平扭秤 靜電懸浮 出處:《清華大學(xué)》2016年博士論文 論文類型:學(xué)位論文


【摘要】:重力梯度測(cè)量在大地測(cè)量、地質(zhì)勘探、輔助導(dǎo)航等諸多領(lǐng)域都有著極其重要的應(yīng)用。為了研究高精度的重力梯度測(cè)量技術(shù),設(shè)計(jì)了一種基于靜電懸浮的扭秤式重力梯度儀方案,利用靜電懸浮克服扭秤的重力,實(shí)現(xiàn)扭轉(zhuǎn)軸沿水平方向的水平扭秤,可以檢測(cè)重力垂直梯度Гzz產(chǎn)生的作用力矩。改變扭秤的方位,通過(guò)多個(gè)力矩平衡方程的解算,可以測(cè)量出包括重力垂直梯度Гzz在內(nèi)的全部梯度張量。完成了靜電懸浮相關(guān)的電路設(shè)計(jì),包括差動(dòng)電容檢測(cè)電路和高壓放大電路。差動(dòng)電容檢測(cè)電路的靈敏度為324.6 mV/pF,分辨率為0.47 fF,-3dB帶寬約為26.8kHz,針對(duì)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)中的電極結(jié)構(gòu),其相應(yīng)的位移檢測(cè)分辨率為1.6 nm。高壓放大電路的輸出范圍為0~850V,直流放大倍數(shù)約為100倍,交流輸出的峰峰值為30V時(shí),電路的失真頻率為1.9 kHz,帶寬滿足實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的需求。為了研究水平扭秤的基本特性,搭建了基于平板電極靜電懸浮的水平扭秤系統(tǒng)。通過(guò)調(diào)節(jié)8個(gè)支承電極的調(diào)控電壓,在z、x?、y?等三個(gè)自由度上實(shí)現(xiàn)了對(duì)扭秤的靜電反饋控制,其懸浮質(zhì)量可以達(dá)到10 g。在零位附近,系統(tǒng)在三個(gè)自由度上的運(yùn)動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)解耦,單個(gè)自由度的閉環(huán)頻率特性近似為二階系統(tǒng)。測(cè)試了水平扭秤閉環(huán)力矩檢測(cè)的靈敏度,力矩檢測(cè)靈敏度約為1.30×105 V/Nm。分析了平板電極結(jié)構(gòu)中,扭秤閉環(huán)力矩檢測(cè)的制約因素,并對(duì)水平扭秤的懸浮支承和扭轉(zhuǎn)檢測(cè)之間的耦合問(wèn)題進(jìn)行了討論。為了克服水平扭秤中懸浮支承與扭轉(zhuǎn)檢測(cè)之間的耦合問(wèn)題,提出了基于圓筒電極的懸浮控制方案,并對(duì)基于圓筒電極靜電懸浮的扭秤式重力梯度儀進(jìn)行了具體的設(shè)計(jì)。分析了圓筒電極的電容分布與靜電力受力情況,建立了圓筒電極的靜電懸浮控制模型。系統(tǒng)的重力梯度分辨率取決于扭轉(zhuǎn)電極的力矩檢測(cè)靈敏度。利用豎直扭秤對(duì)高靈敏度的閉環(huán)力矩檢測(cè)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,其靈敏度可以達(dá)到6.97×109 V/Nm。在該靈敏度條件下,當(dāng)檢測(cè)信號(hào)的分辨率為0.1 mV時(shí),相應(yīng)的重力梯度分辨率可達(dá)1.9 E,有望實(shí)現(xiàn)高精度的重力梯度測(cè)量。
[Abstract]:Gravity gradient surveying is very important in many fields such as geodesy, geological exploration, auxiliary navigation and so on. A kind of gravity gradiometer based on electrostatic suspension is designed in this paper. Using electrostatic suspension to overcome the gravity of torsion scale, the horizontal torsion scale along the horizontal direction of torsion axis is realized. The torque produced by vertical gravity gradient can be detected, and the direction of torsion balance can be changed, and the solution of multiple moment balance equations can be obtained. All gradient Zhang Liang including gravity vertical gradient can be measured. The circuit design related to electrostatic levitation has been completed. The sensitivity of the differential capacitance detection circuit is 324.6 MV / PF and the resolution is 0.47fF. The bandwidth of -3dB is about 26.8kHz. For the electrode structure of the experimental system, the corresponding displacement detection resolution is 1.6 nm. The output range of the high-voltage amplifier circuit is 0 ~ 850V. When the DC magnification is about 100 times and the peak value of AC output is 30V, the distortion frequency of the circuit is 1.9 kHz, and the bandwidth meets the requirements of the experimental system. A horizontal torsion scale system based on electrostatic suspension of flat electrode is built. ,y? The electrostatic feedback control of the torsion scale is realized on three degrees of freedom, and the suspension mass can reach 10 g. In the vicinity of zero position, the motion of the system on the three degrees of freedom can be decoupled. The closed-loop frequency characteristic of a single degree of freedom is approximately a second-order system, and the sensitivity of the closed-loop torque detection of the horizontal torsion scale is tested. The sensitivity of torque detection is about 1.30 脳 105V / Nm. The restrictive factors of torsion scale closed-loop torque detection in plate electrode structure are analyzed. In order to overcome the coupling problem between suspension support and torsion detection in horizontal torsion scale, the coupling problem between suspension support and torsion detection is discussed. The suspension control scheme based on cylinder electrode is put forward, and the torsion scale gravity gradiometer based on electrostatic suspension of cylinder electrode is designed in detail. The capacitance distribution and static electric force of cylinder electrode are analyzed. The electrostatic suspension control model of cylinder electrode is established. The gravity gradient resolution of the system depends on the torque detection sensitivity of the torsion electrode. The high sensitivity closed-loop torque detection is verified by using vertical torsion scale. The sensitivity can reach 6.97 脳 109V / Nm. Under this condition, when the resolution of the detection signal is 0.1 MV, the corresponding gravity gradient resolution can reach 1.9 E. It is expected that high precision gravity gradient measurement will be realized.
【學(xué)位授予單位】:清華大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:博士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號(hào)】:O314

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本文編號(hào):1488200

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