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微納結(jié)構(gòu)成像原理和方法研究

發(fā)布時間:2017-11-21 14:16

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【摘要】:微納結(jié)構(gòu)是指人為設(shè)計的、具有微米或納米尺度特征尺寸、按照特定方式排布的功能結(jié)構(gòu)。隨著第三代光學成像技術(shù)向集成化、輕量化、超大口徑發(fā)展,傳統(tǒng)折反式光學系統(tǒng)面臨著諸多瓶頸,而微納結(jié)構(gòu)光學元件具有重量輕、設(shè)計自由度高、結(jié)構(gòu)靈活等特點,在成像領(lǐng)域展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢。本文系統(tǒng)研究了平面衍射透鏡和超表面兩種微納結(jié)構(gòu)的成像原理、寬帶調(diào)控機理、設(shè)計方法和成像實驗,為下一代光學成像技術(shù)提供了全新的技術(shù)途徑。主要研究工作包括:1)基于平面衍射透鏡的輕量化成像原理方法研究,針對衍射透鏡色散嚴重的問題,分析并建立了寬波段消色差模型;開展了基于平面衍射透鏡的口徑5米空間天文望遠鏡光學設(shè)計,采用離軸反射式結(jié)構(gòu)避免了同軸系統(tǒng)的擋光效應(yīng),利用多重位相衍射原理實現(xiàn)了連續(xù)光譜成像帶寬,帶寬覆蓋可見光和紅外全部譜段;2)提出了兩種基于超表面的寬帶位相和偏振調(diào)控原理,利用超表面色散調(diào)控實現(xiàn)了4倍頻程寬帶位相和偏振轉(zhuǎn)換,通過超薄空間變化和頻譜設(shè)計的自旋軌道作用,實現(xiàn)了電磁特征的虛擬位相整形;基于上述原理設(shè)計了透射和反射式光天線陣列超表面新型成像器件,實現(xiàn)了可見光光學漩渦聚焦和紅外成像,其中反射式超表面能量利用效率超過90%;3)搭建了顯微鏡三維光場測試平臺,解決了超表面成像面臨的中間場成像測試難題;研究獲得了精度20nm非規(guī)則納米結(jié)構(gòu)和大矢高32臺階微納結(jié)構(gòu)制備工藝;完成了平面衍射透鏡寬波段成像實驗,在可見光范圍內(nèi)獲得衍射極限像質(zhì),驗證了寬帶消色差原理。本文重點完成了微納結(jié)構(gòu)成像原理及相關(guān)設(shè)計方法和實驗工作。所取得的成果包括:平面衍射透鏡寬波段成像原理和設(shè)計方法、超表面寬帶位相和偏振調(diào)控機理、超表面成像器件設(shè)計、高精度微納結(jié)構(gòu)制備和成像實驗驗證。本文研究成果為后續(xù)微納結(jié)構(gòu)成像研究和相關(guān)應(yīng)用提供了理論指導及實驗基礎(chǔ)。
【學位授予單位】:中國科學院研究生院(光電技術(shù)研究所)
【學位級別】:博士
【學位授予年份】:2015
【分類號】:O439

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本文編號:1211202

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