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基于擺動(dòng)進(jìn)給的超精密金剛石車(chē)削加工誤差分析與補(bǔ)償

發(fā)布時(shí)間:2018-06-29 11:35

  本文選題:擺動(dòng)進(jìn)給 + 超精密金剛石車(chē)削 ; 參考:《哈爾濱工業(yè)大學(xué)》2017年博士論文


【摘要】:隨著科學(xué)技術(shù)發(fā)展,金剛石車(chē)削技術(shù)已經(jīng)成為一種具有高可重復(fù)性的加工技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)多種材料的超精密加工,因此其被廣泛應(yīng)用于眾多行業(yè)的精密零部件的生產(chǎn)制造。本文從鋁制金屬反射鏡的擺動(dòng)進(jìn)給超精密金剛石車(chē)削加工方法入手,通過(guò)快速伺服刀架的設(shè)計(jì)與優(yōu)化、系統(tǒng)性能測(cè)試,建立包含伺服刀架的機(jī)床整體運(yùn)動(dòng)誤差模型,獲得影響加工精度的主要誤差項(xiàng),進(jìn)而提出相應(yīng)的誤差補(bǔ)償方法,為提高擺動(dòng)進(jìn)給超精密金剛石車(chē)削加工精度提供理論指導(dǎo)。首先,在分析R-θ結(jié)構(gòu)機(jī)床原理的基礎(chǔ)上,對(duì)擺動(dòng)進(jìn)給超精密金剛石車(chē)削機(jī)床(Swing Feed Ultra-precision Diamond Turning machine,SF-UDTM)的運(yùn)動(dòng)原理和加工成形方法進(jìn)行分析;結(jié)合機(jī)床的實(shí)際配置,確定擺動(dòng)進(jìn)給超精密金剛石車(chē)削機(jī)床的球面實(shí)際加工范圍,明確目標(biāo)球面幾何參數(shù)與擺軸轉(zhuǎn)角、擺軸與主軸軸線夾角等機(jī)床調(diào)整參數(shù)的對(duì)應(yīng)關(guān)系;基于三點(diǎn)法確定拋物面的最接近比較球面,提出非球面的三維空間非球面度矢量的計(jì)算方法和基于擺動(dòng)進(jìn)給方式徑向非球面度的加工方法,進(jìn)而得出非球面加工過(guò)程中刀具伺服系統(tǒng)的進(jìn)給規(guī)律。隨后,對(duì)擺動(dòng)進(jìn)給超精密金剛石車(chē)削機(jī)床和常見(jiàn)T型結(jié)構(gòu)布局超精密金剛石車(chē)削機(jī)床的非球面加工方法進(jìn)行對(duì)比分析,說(shuō)明擺動(dòng)進(jìn)給非球面加工的特點(diǎn)。最后對(duì)擺動(dòng)進(jìn)給加工過(guò)程中的切削幾何參數(shù)進(jìn)行計(jì)算,得出刀具前刀面與切削速度間夾角、前刀面與工件切削點(diǎn)徑向夾角等幾何參數(shù)的變換規(guī)律,進(jìn)而對(duì)擺動(dòng)進(jìn)給過(guò)程中產(chǎn)生的斜角切削力進(jìn)行推導(dǎo)計(jì)算,得到在刀具伺服系統(tǒng)設(shè)計(jì)方面的性能指標(biāo)。其次,基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),完成了用于擺動(dòng)進(jìn)給超精密金剛石車(chē)削機(jī)床的快速刀具伺服系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和制造,并通過(guò)力學(xué)建模和有限元分析對(duì)機(jī)構(gòu)整體及單個(gè)柔性鉸鏈進(jìn)行分析;采用動(dòng)力學(xué)方法對(duì)FTS系統(tǒng)進(jìn)行分析,得出刀具伺服機(jī)構(gòu)整體性能與系統(tǒng)參數(shù)的對(duì)應(yīng)關(guān)系;采用多種測(cè)量方法對(duì)系統(tǒng)寄生誤差、靜態(tài)剛度、動(dòng)態(tài)切削剛度、固有頻率、重復(fù)定位精度、分辨率、最大行程等刀具伺服機(jī)構(gòu)主要性能參數(shù)進(jìn)行測(cè)試,獲得不同性能參數(shù)下刀具伺服系統(tǒng)性能的變化規(guī)律,為后面進(jìn)行快速刀具伺服進(jìn)給機(jī)構(gòu)誤差補(bǔ)償?shù)於ɑA(chǔ)。再次,根據(jù)多體系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)學(xué)理論及機(jī)床實(shí)際結(jié)構(gòu)配置,建立擺動(dòng)進(jìn)給超精密金剛石車(chē)削機(jī)床的空間幾何誤差模型;基于概率統(tǒng)計(jì)基本理論和正交實(shí)驗(yàn)法,建立了機(jī)床的空間誤差回歸分析模型和誤差敏感度分析模型;通過(guò)Isight軟件對(duì)影響加工精度的主要誤差項(xiàng)進(jìn)行辨識(shí),分析不同誤差項(xiàng)之間的交互作用關(guān)系,得到各個(gè)誤差項(xiàng)對(duì)空間誤差的影響規(guī)律。最后,為了提高擺動(dòng)進(jìn)給超精密金剛石車(chē)削加工精度,提出了擺動(dòng)進(jìn)給超精密金剛石車(chē)削機(jī)床的靜態(tài)位置誤差校正補(bǔ)償法和工件面型誤差在位補(bǔ)償法。首先針對(duì)擺動(dòng)進(jìn)給超精密車(chē)削機(jī)床結(jié)構(gòu)易調(diào)整的特點(diǎn),根據(jù)靜態(tài)位置誤差校正工藝流程對(duì)分析得到的主要誤差項(xiàng)進(jìn)行校正;隨后基于直徑200mm平面工件的車(chē)削加工,在上一步的基礎(chǔ)上進(jìn)一步校正機(jī)床的擺軸軸線與主軸軸線間的平行度誤差,從而對(duì)擺軸氣浮座的零點(diǎn)位置進(jìn)行標(biāo)定,再次減小機(jī)床的靜態(tài)位置誤差;在采用靜態(tài)位置誤差補(bǔ)償前后,平面工件的加工表面面形PV值在180mm測(cè)量范圍內(nèi)由0.5μm降至0.24μm。在100mm口徑凹球面加工中,機(jī)床進(jìn)行靜態(tài)位置誤差校正前后的球面加工面型PV值從8.89μm減小到0.63μm;進(jìn)一步通過(guò)對(duì)工件面型進(jìn)行在位測(cè)量與誤差補(bǔ)償,加工面型誤差PV值減小到0.45μm。在拋物面加工過(guò)程中采用4D動(dòng)態(tài)剪切干涉儀進(jìn)行在位測(cè)量,并對(duì)工件面形誤差進(jìn)行在位補(bǔ)償,工件面形誤差PV值由2.7μm降至1.45μm。
[Abstract]:......
【學(xué)位授予單位】:哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:博士
【學(xué)位授予年份】:2017
【分類(lèi)號(hào)】:TG51;TH74

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本文編號(hào):2081984

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