發(fā)布時間：2018-03-30 10:23

  本文選題：大氣壓脈沖輝光放電　切入點：脈沖調(diào)制射頻輝光放電　出處：《東華大學(xué)》2017年碩士論文

【摘要】：大氣壓輝光放電近年來一直是等離子體研究熱點之一。在之前的研究中,對大氣壓輝光放電的幾種重要的形式即大氣壓脈沖輝光放電,大氣壓介質(zhì)阻擋輝光放電以及大氣壓射頻輝光放電等都做了大量的研究,這些放電形式都有著各自的特點,而脈沖調(diào)制射頻輝光放電實現(xiàn)了放電強度和放電穩(wěn)定性的有效調(diào)控,但也表現(xiàn)出新的問題,即放電的維持電壓偏高,起輝不易等問題。本論文將在脈沖調(diào)制射頻輝光放電中射頻放電段之間引入脈沖放電,通過改變大氣壓脈沖放電與射頻放電段之間的時間間隔和脈沖放電強度,研究脈沖放電對射頻放電段起輝階段的影響。首先,通過比較大氣壓脈沖調(diào)制射頻輝光放電中引入脈沖放電后,與單純的脈沖調(diào)制射頻輝光放電的射頻放電段的起輝階段的電學(xué)特性和光學(xué)特性后,發(fā)現(xiàn)引入脈沖放電后射頻放電段的起輝時間變短,且起輝電壓和維持電壓也相應(yīng)降低。然后,分別通過改變脈沖放電與射頻放電段時間間隔和脈沖放電放電強度來探究這兩個因素對射頻放電段的規(guī)律性影響。在脈沖放電強度不變的條件下的脈沖放電與射頻放電段時間間隔為2μs,5μs和8μs這三種情況,以及在脈沖放電與射頻放電段時間間隔維持在5μs時,脈沖放電電流強度峰峰值為0.86A,1.22A和2.24A的三種情況下分別進行具體研究,通過研究發(fā)現(xiàn),在脈沖放電強度的電流峰峰值為1.22A的情況下,隨著時間間隔的減小,射頻放電的起輝時間也在逐漸減少,最多可以減少0.8μs;而在脈沖放電與射頻放電段時間間隔為5μs不變的情況下,隨著脈沖放電電流強度的增加(電流強度峰峰值的大小不超過2.24A),射頻放電段的起輝時間減少,起輝電壓及維持電壓也相對減小,但當(dāng)脈沖放電電流峰峰值達到2.24A以后,發(fā)現(xiàn)射頻放電段起輝時間反而變長。
[Abstract]:Atmospheric pressure glow discharge has been one of the hotspots of plasma research in recent years. In previous studies, atmospheric pressure pulse glow discharge is one of the most important forms of atmospheric pressure glow discharge. Atmospheric dielectric barrier glow discharge and atmospheric pressure radio frequency glow discharge have done a lot of research. These discharge forms have their own characteristics, and pulse modulation radio frequency glow discharge can effectively regulate the discharge intensity and discharge stability. But there are some new problems, such as the high voltage of maintaining the discharge, the difficulty of starting the discharge, etc. In this paper, the pulse discharge will be introduced between the RF discharge segments of the pulse modulated RF glow discharge, and the pulse discharge will be introduced into the pulse modulation radio-frequency glow discharge. By changing the time interval between atmospheric pressure pulse discharge and radio frequency discharge section and the pulse discharge intensity, the influence of pulse discharge on the initiation stage of radio frequency discharge section is studied. By comparing the electrical and optical characteristics of the radiofrequency discharge with pulse modulation at atmospheric pressure at the beginning stage of the radiofrequency discharge, the pulse discharge is introduced into the radio-frequency glow discharge and the radio-frequency discharge segment of the radio-frequency glow discharge with the simple pulse modulation is compared. It is found that the initiation time of RF discharge becomes shorter and the starting voltage and maintenance voltage decrease accordingly after the pulse discharge is introduced. The effects of these two factors on the regularity of RF discharge were investigated by changing the time interval between pulse discharge and radio frequency discharge and the intensity of pulse discharge. Pulse discharge and emitter under the condition of constant pulse discharge intensity. The frequency discharge interval is 2 渭 s 5 渭 s and 8 渭 s. When the time interval between pulse discharge and radio frequency discharge is maintained at 5 渭 s, the peak value of pulse discharge current intensity is 0.86An 1.22A and 2.24A, respectively. When the peak current peak of pulse discharge intensity is 1.22A, with the decrease of time interval, the starting time of RF discharge decreases gradually. When the time interval between pulse discharge and radio frequency discharge is 5 渭 s, the starting time of RF discharge decreases with the increase of pulse discharge current intensity (the peak value of current intensity is not more than 2.24Ag). However, when the peak value of pulse discharge current reaches 2.24A, it is found that the starting time of RF discharge section becomes longer.
【學(xué)位授予單位】：東華大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2017
【分類號】：O53;O461.21

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本文編號：1685509