金屬與金屬氧化物在氣敏、光催化與太陽能電池等方面有著極為重要的應(yīng)用,通過磁控濺射法制備的金屬氧化物薄膜,具有純度高、致密性好、可控性強(qiáng)、與基底附著性好等優(yōu)點(diǎn),因此磁控濺射技術(shù)被廣泛應(yīng)用于工業(yè)化生產(chǎn)制備大面積、高質(zhì)量的薄膜。我們通過磁控濺射法制備了氧化銅納米線陣列薄膜,并研究了其氣敏性質(zhì);除此之外,我們還通過磁控濺射法制備了TiO₂/WO₃復(fù)合薄膜,研究了兩者之間的電荷傳輸性質(zhì):基于磁控濺射法,我們主要開展了以下三個方面的工作:（1）采用磁控濺射法在摻氟二氧化錫導(dǎo)電玻璃（FTO）襯底上濺射金屬銅薄膜,所制備的Cu薄膜通過在管式爐中退火氧化生長,可得到CuO納米線陣列薄膜。用X射線衍射儀（XRD）、掃描電子顯微鏡（SEM）、高分辨透射電子顯微鏡（HRTEM）對其形貌和結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征,并研究了這種通過磁控濺射法得到的CuO納米線陣列薄膜對CO和H₂S的氣敏性質(zhì),研究結(jié)果表明:CuO納米線陣列薄膜在250℃時對CO氣體具有最強(qiáng)的氣敏響應(yīng),并且當(dāng)CO濃度增大時其氣敏響應(yīng)明顯增強(qiáng);而對于H₂S氣體,在常溫下Cu... 

【文章來源】：河南大學(xué)河南省

【文章頁數(shù)】：64 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

一步水熱合成法制備的TiO2/WO3復(fù)合材料

此種薄膜在紅外與近紅外區(qū)域提高了光電響應(yīng)，有望在染料敏化太陽能電池中得到應(yīng)用。圖1-3為Hiroshi等人[39]采用磁控濺射法與溶膠-凝膠法制備的雙層復(fù)合薄膜，此種薄膜在紫外光照下具有很好的親水性，且磁控濺射法制備的薄膜親水性質(zhì)要優(yōu)于溶膠-凝膠法制備薄膜。三氧化鎢薄膜廣泛應(yīng)用于電致變色、光致變色，氣致變色、熱致變色等多種領(lǐng)域，當(dāng)前，對電致變色、光致變色性能的研究比較多并取得了顯著的成果，如：智能窗，可圖 1-3 磁控濺射法（a）與溶膠-凝膠法 (b) 制備的 TiO2/WO3雙層復(fù)合結(jié)構(gòu)圖 1-2 溶膠凝膠法制備的三維 WO3/TiO2復(fù)合薄膜

Lu等人[38]采用溶膠-凝膠法制備的三維多孔WO3/TiO2復(fù)合薄膜外區(qū)域提高了光電響應(yīng)，有望在染料敏化太陽能電池中得到應(yīng)Hiroshi等人[39]采用磁控濺射法與溶膠-凝膠法制備的雙層復(fù)合薄 1-3 磁控濺射法（a）與溶膠-凝膠法 (b) 制備的 TiO2/WO3雙層復(fù)合結(jié)圖 1-2 溶膠凝膠法制備的三維 WO3/TiO2復(fù)合薄膜

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]ZnO納米線陣列的電沉積法制備及表征（英文）[J]. 王丹麗,阮永豐,張靈翠,楊紅波.  物理化學(xué)學(xué)報. 2010(12)
[2]由鈦酸鹽納米帶水熱制備銳鈦礦型TiO2納米帶[J]. 劉揚(yáng),嵇天浩,周吉,李麗,孫家躍.  高等學(xué)�；瘜W(xué)學(xué)報. 2010(07)
[3]氧化鋅納米線陣列的制備及發(fā)光特性研究[J]. 張斌,周少敏,劉兵,鞏合春,杜祖亮,張興堂.  中國科學(xué)（E輯:技術(shù)科學(xué)）. 2009(02)
[4]單根ZnO納米線的室溫氣敏特性[J]. 鄭凱波,李靜雷,沈浩颋,孫大林,陳國榮.  物理化學(xué)學(xué)報. 2008(06)
[5]可見光響應(yīng)型S,F共摻雜TiO2納米管的制備[J]. 陳秀琴,蘇雅玲,張興旺,雷樂成.  科學(xué)通報. 2008(11)
[6]磁控濺射300nm銅膜的電學(xué)性能研究[J]. 雒向東,吳學(xué)勇,趙海闊.  微電子學(xué). 2007(06)
[7]熱氧化法制備ZnO薄膜及其特性研究[J]. 趙杰,胡禮中,王兆陽,王志俊,趙宇,梁秀萍.  電子元件與材料. 2005(03)
[8]直流磁控濺射ZnO薄膜的結(jié)構(gòu)和室溫PL譜[J]. 葉志鎮(zhèn),陳漢鴻,劉榕,張昊翔,趙炳輝.  半導(dǎo)體學(xué)報. 2001(08)
[9]納米非晶氮化硅鍵態(tài)結(jié)構(gòu)的X射線徑向分布函數(shù)研究[J]. 蔡樹芝,牟季美,張立德,程本培.  物理學(xué)報. 1992(10)
[10]熱氧化制備的鈀氧化物電極的組成與pH敏感性能[J]. 吳寶璋,吳輝煌.  高等學(xué)�；瘜W(xué)學(xué)報. 1990(05)



本文編號：3305714