本文選題：微波等離子體 + 化學(xué)氣相沉積(CVD)��； 參考：《人工晶體學(xué)報(bào)》2017年10期

【摘要】：本文介紹了制備單晶金剛石的主要方法并對其進(jìn)行了對比,從籽晶選擇、預(yù)處理和生長工藝幾個(gè)方面綜述了微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備金剛石單晶的研究進(jìn)展,并簡單介紹了目前國內(nèi)外在單晶金剛石制備上的進(jìn)展,最后對CVD金剛石單晶在電子領(lǐng)域的應(yīng)用進(jìn)行了展望。
[Abstract]:In this paper, the main methods of preparing single crystal diamond are introduced and compared. The research progress of preparing diamond single crystal by microwave plasma chemical vapor deposition is reviewed from the aspects of seed selection, pretreatment and growth process. The progress in the preparation of single crystal diamond at home and abroad is briefly introduced. Finally, the application of CVD diamond single crystal in electronic field is prospected.
【作者單位】： 河北省激光研究所;河北普萊斯曼金剛石科技有限公司;
【分類號】：TQ163

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本文編號：2004606