多弧離子鍍法制備TiAlNC涂層的微觀結構
本文選題:TiAlNC 切入點:涂層 出處:《材料熱處理學報》2017年02期
【摘要】:在碳化鎢硬質合金WC-6%Co基體上采用多弧離子鍍技術制備Ti Al NC涂層,采用掃描電鏡和透射電鏡觀察涂層的微觀組織結構,采用X射線衍射儀和X射線能譜分析儀分別確定涂層的物相及其化學成分。實驗結果表明:涂層表面粗糙但均勻連續(xù),且表面出現(xiàn)孔隙和少量的微裂紋;涂層與基體結合較好,無分層現(xiàn)象出現(xiàn),其沉積速率約4.5μm/h。涂層的平均化學組成為Ti(20±9 at%),Al(16±5 at%),N(39±5 at%)和C(25±10 at%),涂層由納米晶Ti N和非晶(Ti,Al)(N,C)兩物相組成。
[Abstract]:Ti-Al NC coating was prepared by multi-arc ion plating on WC-6%Co substrate of tungsten carbide. The microstructure of the coating was observed by scanning electron microscope and transmission electron microscope.The phase and chemical composition of the coating were determined by X-ray diffractometer and X-ray spectrometer respectively.The experimental results show that the surface of the coating is rough, uniform and continuous, and there are pores and a few micro-cracks on the surface, and the coating binds well to the substrate without delamination, and the deposition rate is about 4.5 渭 m / h.The average chemical composition of the coating is Ti(20 鹵9 at. the coating is composed of nanocrystalline tin and amorphous TiTiAlN, and the average chemical composition of the coating is as follows: Ti(20 鹵9atc, 16 鹵5atc and 39 鹵5at. the coating is composed of nanocrystalline tin and amorphous TiTiAlC3.
【作者單位】: 常州大學機械工程學院;
【基金】:常州大學科研啟動資助項目 江蘇省自然科學基金項目(BK20150260)
【分類號】:TG174.4
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,本文編號:1683001
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