【摘要】：半導(dǎo)體芯片制造產(chǎn)業(yè)是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)群的基礎(chǔ)和核心,它是一個技術(shù)尖端及高附加值的產(chǎn)業(yè),對推動國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展有重大的戰(zhàn)略意義。建立在半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)步基礎(chǔ)上的全球信息化、網(wǎng)絡(luò)化和知識經(jīng)濟(jì)的飛速發(fā)展,使其成為衡量國家經(jīng)濟(jì)發(fā)展和科技進(jìn)步的重要標(biāo)志,使各國都把它視為國家發(fā)展的骨干產(chǎn)業(yè)。而隨著晶圓直徑的越來越大,加工工藝也越來越復(fù)雜,越來越多的采用自動組合裝置進(jìn)行大直徑晶圓的加工。但是由于組合設(shè)備中加工模塊之間沒有緩沖空間,使得半導(dǎo)體芯片制造系統(tǒng)生產(chǎn)調(diào)度的控制非常復(fù)雜。先進(jìn)的調(diào)度控制方法對于提高半導(dǎo)體芯片制造系統(tǒng)效率、降低成本、提高質(zhì)量可做出重大貢獻(xiàn)。為了對帶駐留時間約束的單臂組合設(shè)備的調(diào)度問題做進(jìn)一步研究來獲得更優(yōu)的生產(chǎn)策略,本文將深入研究它。 在大部分的研究中,組合設(shè)備的調(diào)度是基于earliest調(diào)度策略的。但是,這些研究是沒有考慮活動時間波動的。然而,在實際的生產(chǎn)系統(tǒng)中,加工模塊的加工活動和機(jī)械手的活動都是隨機(jī)波動的。因此考慮活動時間波動時非常必要的。為了盡可能多的消除活動時間波動對系統(tǒng)的影響,機(jī)械手的等待時間可以用來抵消活動的波動。這樣就非常有必要分析基于earliest調(diào)度策略時,機(jī)械手的等待時間是怎么分布的。因此本文研究了組合設(shè)備從初始狀態(tài)進(jìn)入到穩(wěn)態(tài)的過程即暫態(tài)過程。通過暫態(tài)過程分析我們可以得到系統(tǒng)的等待時間分布規(guī)律。從而判定基于earliest調(diào)度策略調(diào)度系統(tǒng)是否適合帶駐留時間約束和活動時間波動的單臂組合設(shè)備。這就促使我們分析帶駐留時間約束和活動時間波動的單臂組合設(shè)備的暫態(tài)過程。 本文首先基于Petri網(wǎng)模型描述了帶駐留時間約束的單臂組合設(shè)備的暫態(tài)以及穩(wěn)態(tài)時的系統(tǒng)的動態(tài)運(yùn)行過程。之后分析了系統(tǒng)的時間方面的一些性質(zhì)�；谶@些性質(zhì),提出了兩種調(diào)度策略,即基于earliest調(diào)度策略和基于控制機(jī)械手等待時間的調(diào)度策略。對于調(diào)度系統(tǒng)基于earliest調(diào)度策略,系統(tǒng)運(yùn)行至穩(wěn)態(tài)后,我們給出了機(jī)械手的等待時間的分布情況,并用解析表達(dá)式給出。之后,給出了基于控制機(jī)械手等待時間的調(diào)度策略時機(jī)械手的等待時間分配方法。并月.發(fā)現(xiàn),基于此調(diào)度方法,機(jī)械手的等待時間分配更加靈活。最后,通過對比,當(dāng)考慮系統(tǒng)的活動時間波動時發(fā)現(xiàn),基于控制機(jī)械手等待時間的調(diào)度策略比基于earliest調(diào)度策略更能降低系統(tǒng)活動時間波動對系統(tǒng)的影響。 為了驗證本文所得出的結(jié)論,基于Petri模型,使用eM-Plant仿真軟件對系統(tǒng)進(jìn)行仿真。通過實例驗證了本文得出結(jié)論的正確性。
【學(xué)位授予單位】：廣東工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2013
【分類號】：N945.1

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號：2795560