【摘要】：在中國,太陽能熱水器在太陽能光熱應用領域,得到很廣泛的普及,太陽能熱水器真空管依靠太陽能選擇性吸收膜層將太陽能轉(zhuǎn)化為熱能,是太陽能熱水器的主要功能組件。太陽能行業(yè)在生產(chǎn)太陽能集熱器時,均大量采用AlN薄膜做吸收層和減反層。真空管減反層要求AlN薄膜足夠的純且厚度均勻,金屬含量接近零為最好,所以反應磁控濺射AlN薄膜成為制備真空管吸收膜層一項關鍵技術。本文首先從太陽選擇性吸收表面膜層,太陽選擇性吸收表面膜層制備方法,反應濺射制備AlN薄膜現(xiàn)狀等方面進行了論述,提出了在生產(chǎn)中太陽選擇性吸收膜層制備過程中需要控制的主要工藝參數(shù)。通過實驗的方法,對影響成膜均勻性的設備因素及影響反應濺射AlN膜層電壓穩(wěn)定性的工藝因素,逐一實驗,找出規(guī)律,確定工藝參數(shù),通過全自動反饋控制應用,真正實現(xiàn)了鍍制AlN膜層時工作電壓穩(wěn)定性,并在大規(guī)模生產(chǎn)中得到推廣,在真空管的顏色和光學性能方面都得到提高,提升了真空管膜層的品質(zhì)。采用B點濺射代替D點濺射,實現(xiàn)了反應濺射AlN膜層的電壓穩(wěn)定,縮短了三靶鍍膜機的工藝時間,提高34.2%工藝效率和20%生產(chǎn)效率,通過對靶芯兩端磁鐵長度和磁場強度的優(yōu)化,提高95%的靶材利用率,取得很好規(guī)模經(jīng)濟效益,并在大規(guī)模生產(chǎn)中得到了很好的推廣。利用分光光度計、德國Optosol檢測儀(簡稱快速測量儀)等設備測得:生產(chǎn)的產(chǎn)品吸收94.3%左右,發(fā)射比0.064,高于吸收≥94%,發(fā)射比0.08的指標;觀察可看到真空管上、中、下顏色一致;通過場發(fā)射掃描電子顯微鏡觀察,樣品的表面是凸起的浮雕狀,這種表面形狀是提高吸收率的原因之一,能譜顯示表面成分一致;側(cè)面形貌觀察到在真空管的不同位置的試樣,厚度均勻一致,玻璃管的上、中、下樣品的厚度都在265nm左右,滿足了生產(chǎn)要求。
【圖文】：

在美國圖森(Tucson)會議上 Tab0r、Gier 和 Dunkle 分別提出了層)[3,4]，高效率的太陽集熱器，應當充分吸收太陽的能量，而自身稱具有這種特性的太陽選擇性吸收膜層表面為黑鏡，有高的在光學上，，小于 λc，這個表面的反射比應當?shù)�，而大�?λc 應長，位于 2~3μm，這取決于運行溫度的高低[5]。具有黑鏡特性的材料不多，需要專門的技術處理才能具有太有如下幾種，化學法、電鍍法、陽極氧化法和無機著色法、等。研究成果，組成光譜選擇性表面的材料，可以分為以下六種吸收表面僅包括其中 2~3 種機理就能滿足生產(chǎn)和應用。

CSZ-850Z三靶鍍膜機
【學位授予單位】：齊魯工業(yè)大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2018
【分類號】：TK515

【參考文獻】

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本文編號：2611149