研究了氣壓對(duì)雙射頻氬氧混合等離子體電子溫度和電子密度的影響。在13.56MHz低頻功率和94.92MHz高頻功率固定為60W和氬氧氣體比為1:9的情況下,利用發(fā)射光譜法分析了氣壓不同時(shí)氬氧混合等離子體的放電光譜中的特征譜線的變化規(guī)律。使用一維質(zhì)點(diǎn)網(wǎng)格法(PIC-MC)靜電模型計(jì)算了電子溫度和電子密度。結(jié)果表明:電子溫度隨著氣壓的增加先降低后升高,與實(shí)驗(yàn)結(jié)果趨勢(shì)相吻合;電子密度隨著氣壓的增加先增大后減小。

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【文章目錄】：
1 引言
2 實(shí)驗(yàn)裝置和模型介紹
    2.1 實(shí)驗(yàn)裝置
    2.2 光譜儀系統(tǒng)
    2.3 發(fā)射光譜法計(jì)算電子溫度
    2.4 數(shù)值模型簡(jiǎn)介
3 結(jié)果與分析
4 結(jié)論



本文編號(hào)：3941583