為了研究納米絨毛的生成過程及內(nèi)在的物理機(jī)制,采用磁控濺射鍍膜的方式在鎢片上鍍有鉬涂層（Mo-W）。借助微觀結(jié)構(gòu)觀察的手段分析了鎢、鉬塊材以及鎢-鉬（Mo-W）樣品在773K、1073K氦等離子體作用條件下的表面形貌演變過程。結(jié)果表明:鎢、鉬以及鎢-鉬（Mo-W）樣品在氦等離子體作用下表面形貌演變規(guī)律基本一致;納米絨毛及其珊瑚狀前驅(qū)體是在尺寸相對較大的錐狀結(jié)構(gòu)上演化而來的。 

【文章來源】：核聚變與等離子體物理. 2020,40(02)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【部分圖文】：

氦等離子體照射前后Mo-W樣品XRD圖

由圖4a知，納米絨毛結(jié)構(gòu)下分布著規(guī)則的錐狀結(jié)構(gòu)，錐狀結(jié)構(gòu)尺寸約為40nm明顯大于納米絨毛的直徑。錐狀結(jié)構(gòu)彼此緊鄰，分界清晰，且其與納米絨毛之間不存在界限。另外，還可發(fā)現(xiàn)在納米絨毛和錐狀結(jié)構(gòu)中分布著直徑不超過10nm且大小不均的氦泡。圖4b為圖4a中矩形區(qū)域的高倍放大圖，在納米絨毛區(qū)域以及納米絨毛與錐狀結(jié)構(gòu)的連接區(qū)域都分布著大量的氦泡，但在錐狀結(jié)構(gòu)核心區(qū)域，即圖4b中虛線以下區(qū)域，氦泡密度驟減。圖3 35nm Mo-W樣品表面的SEM圖

圖2 W、Mo樣品等離子體照射后的表面形貌SEM對比圖將圖4a中納米絨毛及錐狀結(jié)構(gòu)的兩個區(qū)域1和2進(jìn)行TEM能譜分析，分析結(jié)果如圖5所示�？梢园l(fā)現(xiàn)，在納米絨毛頂端部位和納米絨毛的下層與錐狀結(jié)構(gòu)連接處，W、Mo兩種元素原子個數(shù)比例分別約為2.0:1和3.5:1。即從納米絨毛尖端往下，Mo原子比例呈現(xiàn)降低的趨勢，并且W原子的比例要始終高于Mo原子。


本文編號：3245831