終端光學(xué)組件內(nèi)顆粒污染物運(yùn)動(dòng)仿真與潔凈實(shí)驗(yàn)
【學(xué)位單位】:哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位年份】:2017
【中圖分類】:TL632.1
【部分圖文】:
圖 1-1 終端光學(xué)組件結(jié)構(gòu)圖借鑒于美國(guó)的國(guó)家點(diǎn)火裝置(National Ignition Facility,NIF),傳統(tǒng)的保方法是不夠的[12],在裝配中也存在著一定的雜質(zhì)污染。由于污染物微粒會(huì)加重對(duì)光學(xué)元件表面的損傷,降低了光學(xué)元件的壽命[13]。出于降低激程中的散射損耗,以及降低光學(xué)元件在激光照射下的損傷的考慮,保持清潔是至關(guān)重要的。高能激光會(huì)對(duì)光學(xué)元件表面造成損傷[14],伴隨著表面損傷的增長(zhǎng),會(huì)發(fā)熱和等離子體產(chǎn)生,以及隨后的熔融材料的飛濺[15]。在激光的燒蝕下,粒以近乎垂直于表面的方向,并以一定的動(dòng)量射離光學(xué)元件表面。且等生可能導(dǎo)致破損碎片的加速[16]。由于在終端光學(xué)組件中有大量的大口徑件,有的相鄰的光學(xué)元件間的距離很近,受損的光學(xué)元件飛濺出的具有的雜質(zhì)粒子可能會(huì)對(duì)相鄰的光學(xué)元件造成損傷,大大降低了光學(xué)元件的。所以,如何維持終端光學(xué)組件內(nèi)的潔凈,阻斷終端光學(xué)組件內(nèi)由激光損件產(chǎn)生的高速污染物微粒在光學(xué)元件間相互污染的途徑,以保持光學(xué)組
a) 常壓下 b) 真空下圖 1-2 在激光作用下逃逸光學(xué)元件表面的微粒的連續(xù)的延遲的照片段存在的問題III 在激光打靶的過程中,光學(xué)元器件在激光作用下會(huì)產(chǎn)生雜質(zhì)污神光-III 的終端光學(xué)組件內(nèi)部能夠達(dá)到 100 級(jí)的清潔度要求,對(duì)氣體沖掃裝置的設(shè)計(jì)是有很大必要的。而且沖掃的潔凈氣流還產(chǎn)生的一部分熱量,對(duì)光學(xué)元器件起到一定的保護(hù)作用。用的潔凈氣體沖掃,雖然能夠?qū)K端光學(xué)組件產(chǎn)生一定的清潔研究只是針對(duì)于懸浮在裝置內(nèi)的雜質(zhì)微粒和沉降在光學(xué)元件表于由激光造成光學(xué)元件損傷產(chǎn)生的帶有一定動(dòng)能的高速雜質(zhì)微而高速粒子對(duì)相鄰的光學(xué)元件有著更大的威脅。所以針對(duì)如何的高速污染物微粒及時(shí)清除在裝置外,防止污染物微粒對(duì)其他污染的研究是有很重要的研究意義的。研究?jī)?nèi)容
石英片
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1 王曼琳;滕s
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