【摘要】：ICF激光驅動器中用到成千上萬各種口徑的光學元件,如果這些光學元件存在氣泡、雜質等內部疵病時,會嚴重影響光學系統(tǒng)的性能,甚至會損壞光學元件,造成不可估量的損失。因此,研究一種能夠自動檢測光學元件內部疵病的方法,具有重要的意義。本課題正是在這樣的背景下提出來的,在分析了傳統(tǒng)方法檢測效率低、檢測樣品口徑有限、易漏檢等不足之后,根據(jù)米氏散射理論,利用Matlab軟件進行了單粒子散射光強度分布的仿真,根據(jù)仿真結果提出了幾種內部疵病檢測的可能方案。在分析上述方案利弊的基礎上,提出了一種基于掃描的光學元件內部疵病的檢測方法。在暗場環(huán)境下,利用線光源對待測玻璃側面進行照射,利用高分辨率CCD相機從待測玻璃的正面進行拍攝,經(jīng)過圖像拼接得到全口徑的疵病圖像,提出了精掃描的方法得到疵病精確的z坐標,最后獲取待測玻璃內部疵病的空間分布、粒度統(tǒng)計等定量分析結果。為了驗證本方法的可靠性,將實驗結果與顯微鏡測量的結果進行對比,結果表明本文提出的基于掃描的光學元件內部疵病檢測方法得到的玻璃厚度方向的坐標值與顯微鏡結果的相對偏差小于2%,充分說明了本方法的準確性和可靠性,通過該方法可以實現(xiàn)內部疵病的空間定位和粒度統(tǒng)計,最后對疵病尺度特征的研究提出了展望。
【圖文】：

１緒論逡逑的疵病，其中氣泡是由于玻璃毛巧在賠煉過程中含有未排除的氣泡而巧成的，由逡逑于氣體壓力給向均勾，所Ｗ氣泡一般呈現(xiàn)規(guī)則的球形，如圖１．２所示。相位型疵逡逑病是指結構型缺陷，主要是折射率不均勻的區(qū)域，這類疵病肉暇無法觀察到。在逡逑生產(chǎn)光學元件的后續(xù)的工序中，如切割銳磨、粗磨細末、b斯獾齲⒉荒芡耆義銑廡┠誆看貌�。辶x希齲繡義襄五義賢跡保蠶暈⒕迪碌鈉荽貌⊥枷皴義瞎庋г貌≈擲嚳倍啵植嘉薰媛�，，任何一庚p芐〉拇貌《加鋅贍芏怨庋у義舷低吃斐剎豢曬懶康乃鶚�，其危害主要体现在Ｗ箱浉庚b矯駑

本文編號：2614055