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641. 基于MEMS的近紅外光譜儀控制方法研究與開發(fā)
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642. 基于MEMS技術磁場/壓力/加速度傳感器集成化研究
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643. 激光—微筆/微噴直寫集成制造MEMS微結構關鍵技術研究
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644. 基于MEMS技術的薄膜換能元及其電爆性能研究
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645. 旋轉彈用免驅動三軸MEMS陀螺角速率提取算法研究
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646. 基于MEMS的四旋翼飛行器姿態(tài)估計與控制系統(tǒng)研究
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647. 基于SOI的三軸MEMS微加速度計的設計與工藝研究
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648. Galfenol/金剛石MEMS磁傳感器的制備及性能研究
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649. MEMS加速度傳感器全差分讀出電路的分析與設計
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650. 基于MEMS陀螺儀的車身位姿穩(wěn)定性控制研究
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