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51. MEMS陀螺隨機(jī)誤差辨識與降噪技術(shù)

52. 高過載MEMS環(huán)形陀螺制造與測試

53. 基于MEMS器件的慣性測量系統(tǒng)設(shè)計

54. MEMS行波超聲電機(jī)啟動特性研究

55. 基于MEMS的太赫茲可調(diào)器件研究

56. 基于MEMS的太赫茲可調(diào)器件研究

57. MEMS集成復(fù)合磁芯雙層平面電感研究

58. RF MEMS器件及其集成技術(shù)研究

59. 子彈引信MEMS安全系統(tǒng)設(shè)計與仿真

60. 基于陣列技術(shù)的MEMS虛擬陀螺技術(shù)研究