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261. MEMS捷聯(lián)慣導(dǎo)減振系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法研究
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262. 參數(shù)激勵(lì)法提高MEMS環(huán)式陀螺性能的研究
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263. 熱失配對(duì)MEMS上層芯片變形的影響和測(cè)量
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264. 飛法級(jí)MEMS電容型傳感器讀出技術(shù)研究
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265. 用于生物超快電鏡的MEMS實(shí)驗(yàn)腔研究
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266. 尺度效應(yīng)下功能梯度MEMS微板力學(xué)特性研究
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267. MEMS捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)的初始對(duì)準(zhǔn)技術(shù)研究
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268. 復(fù)合結(jié)構(gòu)壓阻式MEMS壓力傳感器研究
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269. 基于射頻MEMS開(kāi)關(guān)的衰減器關(guān)鍵技術(shù)研究
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270. 基于LabVIEW的MEMS陀螺半實(shí)物仿真系統(tǒng)設(shè)計(jì)
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