本文關(guān)鍵詞：基于多示例學(xué)習(xí)徑向基函數(shù)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的刻蝕設(shè)備異常偵測(cè)

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【摘要】：針對(duì)晶圓制造系統(tǒng)刻蝕設(shè)備工作過(guò)程中的"時(shí)間-晶圓-設(shè)備參數(shù)"三維結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)導(dǎo)致常規(guī)分析方法難以應(yīng)用的難題,提出了一種基于多示例學(xué)習(xí)徑向基函數(shù)(RBF)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的異常偵測(cè)方法.該方法應(yīng)對(duì)常規(guī)點(diǎn)間距離無(wú)法解決示例間不匹配程度衡量問(wèn)題的不足,改進(jìn)了距離計(jì)算方式,可用既含正常數(shù)據(jù)又含異常數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)包來(lái)訓(xùn)練和偵測(cè).運(yùn)用實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)理論優(yōu)化了神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)參數(shù),使用交叉驗(yàn)證方法將采集到的刻蝕設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)按晶圓加工批次劃分為不同示例,作為RBF網(wǎng)絡(luò)的訓(xùn)練和測(cè)試數(shù)據(jù),來(lái)偵測(cè)刻蝕設(shè)備異常,提高偵測(cè)的穩(wěn)定性.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該方法可識(shí)別多批次多變量情況下的設(shè)備異常,適合于刻蝕設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中多種產(chǎn)品并存情況下的異常偵測(cè).
【作者單位】： 上海交通大學(xué)機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 異常偵測(cè) 多示例學(xué)習(xí) 徑向基函數(shù)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò) 刻蝕 晶圓制造系統(tǒng)
【基金】：高等學(xué)校博士學(xué)科點(diǎn)專項(xiàng)科研基金(20120073110036)資助
【分類號(hào)】：TN305.7;TP183
【正文快照】： 晶圓制造中的蝕刻工藝是指使用物理或化學(xué)方式,按照既定形狀和布圖去除晶圓表面材料,使之形成特定功能電路的制造過(guò)程[1].它是晶圓制造過(guò)程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),一旦開始即標(biāo)志著晶圓進(jìn)入了不可逆的實(shí)體制造過(guò)程.刻蝕設(shè)備異常是指刻蝕設(shè)備不能執(zhí)行所要求的功能,導(dǎo)致刻蝕過(guò)程偏離預(yù)設(shè)，

本文編號(hào)：933162