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SEM納米構件操作力學模型分析及預測控制

發(fā)布時間:2017-08-24 04:43

  本文關鍵詞:SEM納米構件操作力學模型分析及預測控制


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【摘要】:納米操作技術是目前微納研究領域的前沿操作技術,關乎于眾多領域的發(fā)展和研究,操作過程中粘著力的研究則是納米操作技術的關鍵問題。微觀環(huán)境不同于宏觀環(huán)境,由于尺寸效應的影響,粘著力為主要影響力,為避免操作過程中納米線出現(xiàn)彎曲及斷裂現(xiàn)象,本文針對SEM下納米線操作過程中的力學現(xiàn)象進行建模及分析;為確保操作過程中的良好的準確性和實時性,引入預測控制系統(tǒng),采用BP神經(jīng)網(wǎng)絡預測模型對納米定位器Attocube進行控制。為研究納米操作過程中各構件間的粘著模型,在對納觀環(huán)境力學模型分析的基礎上,建立粒子間的粘著接觸模型,以此為基礎建立納米線-納米線、納米線-基底以及探針-基底間的粘著接觸模型,并分析粘著力與構件間距離的關系。為研究操作過程中納米線彎曲或斷裂現(xiàn)象,首先對納米線力學性能指標:彎曲應力和斷裂強度進行研究,分析納米線長度和半徑于彎曲現(xiàn)象的關系,并結合粘著現(xiàn)象理論,用Matlab仿真軟件和Lammps分子動力學軟件仿真分析。為達到納米操作控制系統(tǒng)的自動化,對納米操作定位器Attocube進行預測控制,采用BP神經(jīng)網(wǎng)絡預測控制算法,預測模型和滾動優(yōu)化模型分別采用兩個三層神經(jīng)網(wǎng)絡進行,首先驗證BP神經(jīng)網(wǎng)絡算法的逼近效果和預測控制算法的預測效果,然后對Attocube數(shù)學建模,搭建整體控制系統(tǒng),分別以階躍信號和正弦信號為輸入信號仿真Attocube的兩種工作模式,完成對操作整體過程的預測控制。在SEM納米操作控制系統(tǒng)加入預測控制理論,仿真結果表明預測控制可應用于微納米操作,并控制效果較好,可進行更為深入的研究。
【關鍵詞】:納米操作 納米線彎曲 納米線斷裂 預測控制
【學位授予單位】:哈爾濱理工大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2016
【分類號】:TP273
【目錄】:
  • 摘要5-6
  • Abstract6-10
  • 第1章 緒論10-16
  • 1.1 課題背景及研究意義10-11
  • 1.1.1 課題來源10
  • 1.1.2 課題研究的目的和意義10-11
  • 1.2 國內外研究現(xiàn)狀11-15
  • 1.2.1 微/納操作系統(tǒng)研究現(xiàn)狀11-13
  • 1.2.2 納米級粘著接觸研究現(xiàn)狀13-14
  • 1.2.3 預測控制研究現(xiàn)狀14-15
  • 1.3 主要研究內容15-16
  • 第2章 納米操作粘著接觸模型建立16-26
  • 2.1 納米尺度粘著接觸問題16-18
  • 2.2 連續(xù)介質力粘著接觸模型18-22
  • 2.2.1 連續(xù)介質研究方法簡介18-20
  • 2.2.2 粘著接觸模型建立及計算20-22
  • 2.3 粘著接觸模型仿真分析22-25
  • 2.4 本章小結25-26
  • 第3章 納米線彎曲及斷裂機理分析26-38
  • 3.1 納米線力學性能分析26-30
  • 3.1.1 彈性模量計算26-27
  • 3.1.2 彎曲應變力計算27-28
  • 3.1.3 納米線力學性能仿真分析28-30
  • 3.2 分子動力學仿真參數(shù)30-32
  • 3.3 納米線彎曲機理分析及仿真32-35
  • 3.3.1 彎曲機理分析32-34
  • 3.3.2 彎曲現(xiàn)象仿真分析34-35
  • 3.4 納米線斷裂機理分析及仿真35-37
  • 3.4.1 斷裂機理分析35-36
  • 3.4.2 斷裂現(xiàn)象仿真分析36-37
  • 3.5 本章小結37-38
  • 第4章 納米操作系統(tǒng)的預測控制38-56
  • 4.1 納米操作預測控制系統(tǒng)的研究意義38
  • 4.2 BP神經(jīng)網(wǎng)絡38-40
  • 4.2.1 BP神經(jīng)網(wǎng)絡工作原理38
  • 4.2.2 BP神經(jīng)網(wǎng)絡學習過程38-40
  • 4.2.3 BP神經(jīng)網(wǎng)絡算法仿真驗證40
  • 4.3 預測控制40-43
  • 4.3.1 預測控制原理40-41
  • 4.3.2 廣義預測控制算法41-42
  • 4.3.3 預測控制仿真驗證42-43
  • 4.4 基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡的廣義預測控制43-47
  • 4.4.1 控制系統(tǒng)結構設計43
  • 4.4.2 NNP預測控制模型43-45
  • 4.4.3 NNC滾動優(yōu)化模型45-47
  • 4.5 納米操作控制系統(tǒng)數(shù)學模型建立47-49
  • 4.6 仿真驗證49-55
  • 4.6.1 預測控制系統(tǒng)模型搭建49-53
  • 4.6.2 預測控制仿真分析53-55
  • 4.7 本章小結55-56
  • 結論56-57
  • 參考文獻57-61
  • 攻讀碩士學位期間發(fā)表的學術論文和獲得的專利61-62
  • 致謝62

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

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本文編號:729268

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