本文關(guān)鍵詞：基于光敏陣列直接調(diào)制的單柵式時(shí)柵位移傳感器

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【摘要】：針對(duì)傳統(tǒng)疊柵形式光柵存在制造難度大、安裝要求高等缺點(diǎn),提出了一種用時(shí)間細(xì)分空間的單柵式時(shí)柵位移傳感器。從光的粒子性出發(fā),分析了用正交變化的光場信號(hào)合成光場電行波的方法;用點(diǎn)陣發(fā)光二極管(LED)模塊作為交變光源,用空間正交的光敏陣列直接耦合光強(qiáng)信號(hào)獲取了反應(yīng)空間位移的電行波信號(hào);最后,通過檢測電行波信號(hào)與激勵(lì)信號(hào)過零點(diǎn)之間的時(shí)間差,實(shí)現(xiàn)了對(duì)空間直線位移的測量。研制了原理樣機(jī),采用普通機(jī)械加工方法對(duì)其進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。結(jié)果表明,在440mm測量范圍內(nèi),樣機(jī)的測量精度可達(dá)±2μm。該單柵式時(shí)柵位移傳感器減少了疊柵式傳感器對(duì)安裝工藝的要求,提高了抗干擾能力;采用的測量技術(shù)避免了傳統(tǒng)粗光柵技術(shù)存在的精度難以提高、動(dòng)態(tài)特性差等缺點(diǎn),為光學(xué)位移測量提供了一種不通過精密機(jī)械細(xì)分來提高測量精度的方法。
【作者單位】： 重慶大學(xué)機(jī)械傳動(dòng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;重慶理工大學(xué)機(jī)械檢測技術(shù)與裝備教育部工程研究中心時(shí)柵傳感及先進(jìn)檢測技術(shù)重慶市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 位移傳感器 單柵式傳感器 時(shí)柵傳感器 位移測量 光敏陣列 直接調(diào)制
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.51505053) 國家重大科學(xué)儀器專項(xiàng)資助項(xiàng)目(No.2013YQ220893) 重慶市教委科學(xué)技術(shù)研究項(xiàng)目(No.KJ1500909) 重慶市基礎(chǔ)科學(xué)與前沿技術(shù)研究專項(xiàng)(No.cstc2015jcyjA40022)
【分類號(hào)】：TP212
【正文快照】： 2.重慶理工大學(xué)機(jī)械檢測技術(shù)與裝備教育部工程研究中心時(shí)柵傳感及先進(jìn)檢測技術(shù)重慶市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,重慶400054)1引言精密位移測量是精密加工領(lǐng)域的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)[1-3]。目前,工程上常見的位移測量裝置以疊柵式光柵傳感器為主。該傳感器采用光柵副形成莫爾條紋,通過判斷條紋明暗變

【相似文獻(xiàn)】

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