本文關(guān)鍵詞：MEMS壓力傳感器電容讀出電路，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：提出了新的一種用于MEMS壓力傳感器的電容數(shù)字轉(zhuǎn)換方法.與傳統(tǒng)的將電容值轉(zhuǎn)換成電壓值的方法不同,該方法是將微弱電容信號(hào)轉(zhuǎn)換為時(shí)間間隔,然后通過(guò)計(jì)數(shù)器量化、數(shù)字濾波器處理,得到高精度、寬輸入范圍的電容讀出電路.這種方法下的電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,受供電電壓影響較小,具有很高的線性度.在cadence環(huán)境下,基于TSMC標(biāo)準(zhǔn)的BCD0.25μmCMOS工藝模型,對(duì)電路進(jìn)行設(shè)計(jì)和仿真.該電路輸入范圍可達(dá)8pF,分辨率為4fF.
【作者單位】： 電子科技大學(xué)電子工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： MEMS壓力傳感器 高精度 電容數(shù)字轉(zhuǎn)換器 仿真
【分類號(hào)】：TP212
【正文快照】： 1引言基于MEMS技術(shù)的壓力傳感器是廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強(qiáng)的測(cè)量與控制的重要感知器件[1].MEMS壓力傳感器工作原理是通過(guò)檢測(cè)電量的改變以檢測(cè)外界物理量的變化[2].壓阻式MEMS壓力傳感器、電容式MEMS壓力傳感器是兩種通用的壓力傳感器.電阻

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