本文關鍵詞：MEMS壓力傳感器電容讀出電路，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：提出了新的一種用于MEMS壓力傳感器的電容數字轉換方法.與傳統(tǒng)的將電容值轉換成電壓值的方法不同,該方法是將微弱電容信號轉換為時間間隔,然后通過計數器量化、數字濾波器處理,得到高精度、寬輸入范圍的電容讀出電路.這種方法下的電路結構簡單,受供電電壓影響較小,具有很高的線性度.在cadence環(huán)境下,基于TSMC標準的BCD0.25μmCMOS工藝模型,對電路進行設計和仿真.該電路輸入范圍可達8pF,分辨率為4fF.
【作者單位】： 電子科技大學電子工程學院;
【關鍵詞】： MEMS壓力傳感器 高精度 電容數字轉換器 仿真
【分類號】：TP212
【正文快照】： 1引言基于MEMS技術的壓力傳感器是廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強的測量與控制的重要感知器件[1].MEMS壓力傳感器工作原理是通過檢測電量的改變以檢測外界物理量的變化[2].壓阻式MEMS壓力傳感器、電容式MEMS壓力傳感器是兩種通用的壓力傳感器.電阻

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