本文關(guān)鍵詞：光纖法布里—珀羅干涉儀傳感器的加工技術(shù)研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：光纖傳感器體積小、抗電磁干擾、靈敏度高、絕緣、可代替人到惡劣環(huán)境中工作,由于其多種多樣的優(yōu)勢(shì),光纖傳感器已然成為新一代傳感領(lǐng)域的研究熱門(mén)。本文主要內(nèi)容為光纖法布里-珀羅干涉儀傳感器的加工技術(shù)研究,另外,基于光纖自身優(yōu)良的性能,本文還進(jìn)行了光纖微透鏡的制備以及測(cè)試相關(guān)工作。本文主要內(nèi)容結(jié)構(gòu)以及創(chuàng)新點(diǎn)總結(jié)如下:1)綜述了光纖傳感器的發(fā)展歷程,闡述了光纖傳感器的分類(lèi)及其特點(diǎn),總結(jié)概括了現(xiàn)階段國(guó)內(nèi)外光纖傳感器的研究現(xiàn)狀。闡明了光纖傳感器的重要價(jià)值以及研究意義。2)介紹了兩種在全文中都有應(yīng)用到的關(guān)鍵技術(shù),即飛秒激光加工技術(shù)以及CO2激光加工技術(shù)。對(duì)于飛秒激光加工技術(shù),主要介紹了其加工特點(diǎn)以及在透明介質(zhì)中的加工手段,另外還介紹了實(shí)驗(yàn)室已搭建的飛秒激光加工技術(shù)實(shí)驗(yàn)平臺(tái);對(duì)于CO2激光加工技術(shù),主要介紹了其工作原理和加工特點(diǎn),以及實(shí)驗(yàn)室已搭建的CO2激光加工技術(shù)實(shí)驗(yàn)平臺(tái),另外,進(jìn)行了CO2激光焊接玻璃套管與單模光纖的實(shí)驗(yàn),通過(guò)實(shí)驗(yàn)總結(jié)加工參數(shù)以及步驟,同時(shí)進(jìn)行焊接性能以及效果的實(shí)驗(yàn)檢驗(yàn)。3)設(shè)計(jì)并加工了一種新型的基于光纖法布里-珀羅干涉儀的折射率傳感器。該傳感器由兩個(gè)相對(duì)的光纖端面組成,兩個(gè)端面都采用真空濺射技術(shù)進(jìn)行鍍膜處理,其中一個(gè)端面鍍完膜后進(jìn)行飛秒激光直寫(xiě)掃描加工,去除掉一半的金膜,只留下半圓形的金膜。半圓形的金膜起到了將光分束的作用,形成了兩束干涉光,從而實(shí)現(xiàn)了光纖法布里-珀羅干涉儀的原理。4)提出了兩種不同的方法對(duì)同一種法布里-珀羅干涉儀進(jìn)行折射率特性測(cè)試。兩種方法分別為波長(zhǎng)漂移法以及白光干涉法,兩種方法基于不同的原理,同時(shí)各有優(yōu)缺點(diǎn),將兩種方法用于同一種法布里-珀羅干涉儀的測(cè)試中,并進(jìn)行了各方面的比較。其中兩種方法采用的干涉儀腔長(zhǎng)分別為288.1μm和358.5μm,最終測(cè)出的靈敏度分別為702.312nm/RIU和396.362μm/RIU。另外,對(duì)干涉儀進(jìn)行了溫度特性測(cè)試,發(fā)現(xiàn)該法布里-珀羅干涉儀對(duì)溫度不靈敏,在應(yīng)用于折射率測(cè)試時(shí)不受溫度的交叉影響。5)提出了用光纖進(jìn)行微透鏡制備的兩種方案,兩種方案分別采用飛秒激光直寫(xiě)加工技術(shù)以及CO2熔融加工技術(shù),分別獲得了不同直徑的光纖半圓柱形微透鏡以及光纖球形微透鏡。搭建了一套全新的用于進(jìn)行微透鏡焦距測(cè)試的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),并采用所搭建的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)對(duì)加工出的光纖微透鏡進(jìn)行了焦距測(cè)試。實(shí)驗(yàn)測(cè)出的微透鏡焦距與根據(jù)公式推算出的理論結(jié)果相符。
【關(guān)鍵詞】：光纖傳感器 飛秒激光 CO2激光 法布里-珀羅干涉儀 波長(zhǎng)漂移法 白光干涉法 光纖微透鏡 焦距測(cè)試
【學(xué)位授予單位】：北京理工大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類(lèi)號(hào)】：TP212
【目錄】：

• 摘要5-7
• abstract7-11
• 第1章 緒論11-27
• 1.1 引言11-12
• 1.2 光纖傳感器的分類(lèi)及特點(diǎn)12-18
• 1.2.1 諧振式光纖傳感器13-15
• 1.2.2 光柵式光纖傳感器15-17
• 1.2.3 干涉儀式光纖傳感器17-18
• 1.2.4 表面等離子體共振光纖傳感器18
• 1.3 光纖傳感器的研究現(xiàn)狀18-23
• 1.4 本論文主要內(nèi)容及創(chuàng)新點(diǎn)23-27
• 1.4.1 本論文主要內(nèi)容23-24
• 1.4.2 本論文創(chuàng)新點(diǎn)24-27
• 第2章 飛秒激光加工技術(shù)及CO_2激光加工技術(shù)27-43
• 2.1 飛秒激光加工技術(shù)27-35
• 2.1.1 飛秒激光加工技術(shù)加工特點(diǎn)28-29
• 2.1.2 飛秒激光加工技術(shù)加工手段29-31
• 2.1.3 飛秒激光加工技術(shù)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)31-35
• 2.2 CO_2激光加工技術(shù)35-41
• 2.2.1 CO_2激光加工技術(shù)簡(jiǎn)介35-36
• 2.2.2 CO_2激光加工技術(shù)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)36-38
• 2.2.3 CO_2激光焊接實(shí)驗(yàn)38-41
• 2.3 本章小結(jié)41-43
• 第3章 光纖法布里-珀羅干涉儀的加工與測(cè)試43-57
• 3.1 光纖法布里-珀羅干涉儀的加工43-47
• 3.1.1 光纖法布里-珀羅干涉儀的原理43-44
• 3.1.2 光纖法布里-珀羅干涉儀的制作44-47
• 3.2 光纖法布里-珀羅干涉儀的折射率特性47-54
• 3.2.1 波長(zhǎng)漂移法47-52
• 3.2.2 白光干涉法52-54
• 3.3 光纖法布里-珀羅干涉儀的溫度特性54-56
• 3.4 本章小結(jié)56-57
• 第4章 光纖微透鏡的制備與測(cè)試57-67
• 4.1 微透鏡的研究現(xiàn)狀57-59
• 4.2 光纖半圓柱形微透鏡的制備59-61
• 4.2.1 研究方案及研究過(guò)程59-61
• 4.2.2 研究成果61
• 4.3 光纖球形微透鏡的制備61-63
• 4.3.1 研究方案及研究過(guò)程62
• 4.3.2 研究成果62-63
• 4.4 光纖微透鏡的測(cè)試63-65
• 4.5 光纖微透鏡制備過(guò)程中的技術(shù)問(wèn)題65
• 4.6 本章小結(jié)65-67
• 第5章 總結(jié)與展望67-71
• 5.1 總結(jié)67-68
• 5.2 展望68-71
• 參考文獻(xiàn)71-79
• 攻讀學(xué)位期間發(fā)表論文與研究成果清單79-81
• 致謝81

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本文編號(hào)：429202