控制回路噪聲是閉環(huán)傳感器的主要噪聲源,對(duì)閉環(huán)傳感器測(cè)量精度有重要影響。繼續(xù)從噪聲源的角度改善閉環(huán)傳感器噪聲性能十分困難,導(dǎo)致閉環(huán)傳感器精度提升陷入瓶頸。論文深入研究控制回路噪聲整形機(jī)理,提出在控制回路噪聲傳遞路徑上進(jìn)行優(yōu)化,從而減小閉環(huán)傳感器噪聲,為進(jìn)一步提升閉環(huán)傳感器精度奠定基礎(chǔ)。論文主要研究?jī)?nèi)容如下:(1)研究閉環(huán)傳感器控制回路噪聲整形機(jī)理。通過分析控制回路檢測(cè)噪聲傳遞函數(shù)和驅(qū)動(dòng)噪聲傳遞函數(shù),得到檢測(cè)噪聲和驅(qū)動(dòng)噪聲經(jīng)過閉環(huán)回路以后的頻譜特征,及影響頻譜特征的關(guān)鍵因素,建立閉環(huán)傳感器控制回路噪聲整形模型。為了驗(yàn)證該模型,研制加速度閉環(huán)傳感器樣機(jī),單獨(dú)測(cè)試樣機(jī)控制回路噪聲和閉環(huán)傳感器噪聲,與模型預(yù)測(cè)結(jié)果比較。實(shí)驗(yàn)結(jié)果與預(yù)測(cè)結(jié)果具有較好的一致性,證明了閉環(huán)傳感器控制回路噪聲整形模型的有效性。(2)研究閉環(huán)傳感器控制回路噪聲傳遞路徑優(yōu)化方法。在閉環(huán)傳感器控制回路噪聲整形模型基礎(chǔ)上,針對(duì)敏感結(jié)構(gòu)擺性、檢測(cè)結(jié)構(gòu)增益、檢測(cè)模塊增益、敏感結(jié)構(gòu)彎曲剛度以及控制模塊積分系數(shù)五項(xiàng)關(guān)鍵因素,通過理論分析與仿真驗(yàn)證,研究每一項(xiàng)關(guān)鍵因素的優(yōu)化方法及其效果。采用所提出的優(yōu)化方法,改進(jìn)加速度閉環(huán)傳感器樣機(jī)。樣機(jī)直...

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圖１－１?ＱＡ３０００系列和ＡＩ－Ｑ系列石英撓性加速度計(jì)〖２５＿２７］??

浙江大學(xué)博士學(xué)位論文?１緒論??術(shù)學(xué)科發(fā)展報(bào)告》指出低噪聲加速度計(jì)仍是我囯未來重要的研究方向［３３］。??ｍｍ，??（ａ）?ＱＡ３０００系列石英撓性加速度計(jì)?（ｂ）?ＡＩ－Ｑ系列石英撓性加速度計(jì)??圖１－１?ＱＡ３０００系列和ＡＩ－Ｑ系列石英撓性加速度計(jì)〖２５＿２７］??硅微加速....

圖１－２基于差分雙質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)的硅微加速度計(jì)Ｉ３７】??

浙江大學(xué)博士學(xué)位論文?】緒論??ｐｙｐｐｉ??Ｉ……削?ｐｒｉｍａｒｙ?ｓｅｃＱｎｄａｒｙ??ＫｆＥｉＨ?ＪＥＳｋＳ：；５?ＩＩ?ＩＩ?（ｂａｃｋｇａｔ＾??Ｂｌｉ?＿??霞暑ｌｉｉｉｉｉｉｉｉ?關(guān)?Ｈｉｉ?ＩＩ??ｃｏｍｂ?ｃａｐａｃｉｔｏｒ?＾ＨＨＨＳＳＳＳＳＳＳＳＳＳＳｆ?....

圖１－３單載波調(diào)制解調(diào)差分電容檢測(cè)電路原理［４６）??為了進(jìn)一降低控制回路檢測(cè)模塊噪聲功率，突破電容檢測(cè)電路噪能的??

換。傳??感器等效噪聲密度約為７?＾ｖ／＞／ｎｉ［５ｉ］。總體上，電容檢測(cè)電路的噪聲性能都非??常接近理論計(jì)算值，在電子元器件沒有發(fā)生革命性變化的情況下進(jìn)步空間很校??ｖｎ．Ｒｆ?Ｒｆ??ｐ？－Ｃ＝ｌ——??￣￣｜???ｌｎ－ｄｌｏｄｅ??ｎ－°Ｐ?＾?Ｖｎ，ｉｎａ?Ｖｎ，ＲＣ．....

圖１－４基于激光干涉檢測(cè)的石英撓性加速度計(jì)Ｉ？１??

浙江大學(xué)博士學(xué)位論文?１緒論??Ｐｅｎｄｕｌｏｕｓ?ｒｅｅｄ?■?■■?■?？■?■?ｉ??＼?１１＾???ＪａＡＪ－ＡａＬ，，?ｃ＿ｌ?—?ＦＷ１Ａ?］??Ｐ＿?／ＬＺＬ?ｙ?廣??Ｍａｇｎｅｔ?／?Ｉ??／ｙ?／?／?ｔｊｔｐｊ?ｐｉ＞?？?ｌ／Ｖ??Ｌ－Ｊ??Ｔｏｒｑｕｅ?....

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