隨著科技的進步和社會的發(fā)展,科學技術在帶給人們便利的同時也給我們的生活環(huán)境造成了污染。尤其是近年來,由于工業(yè)廢氣和汽車尾氣的大量排放,不可避免的造成了大氣污染；此外,隨著物聯網概念的提出和智能家居的出現,人們對室內由于揮發(fā)性氣體造成的室內空氣污染問題也更加關心。因此,制造出高性能低功耗的氣體傳感器應用于室內空氣檢測和特殊場合的氣體檢測是氣體傳感器領域的研究重點。在本論文中我們分別制作了以ZnO和LaFeO₃為敏感材料的電阻型傳感器,和以YSZ納米纖維作為固體電解質材料,以ZnO和LaFeO₃分別作為敏感電極和參考電極制作出ZnO|YSZ|LaFeO₃混合電位型氣體傳感器。通過對敏感材料、電解質材料等進行微觀形貌改造,研究他們的電阻型和電位型傳感器的氣敏性能,以期達到性能增益的目的。主要研究內容分為以下三部分：1.采用化學氣相沉積(CVD)法制備了ZnO納米顆粒,并采用X射線衍射儀(XRD)、場發(fā)射電子顯微鏡(FE-SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)對材料進行了表征。采用比表面及孔徑分析儀測定了ZnO納米顆粒的比表面積和孔...

【文章頁數】：53 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 引言
    1.2 氣體傳感器概述
        1.2.1 氣體傳感器研究現狀及發(fā)展趨勢
        1.2.2 氣體傳感器分類
        1.2.3 氣體傳感器工作原理
    1.3 功能材料
        1.3.1 敏感功能材料概述
        1.3.2 金屬氧化物半導體簡介
    1.4 氣敏材料制備及表征設備
        1.4.1 氣敏材料制備方法
        1.4.2 材料性能表征分析設備
    1.5 本論文的主要工作
第2章 ZnO納米顆粒乙醇傳感器的制作及性能研究
    2.1 引言
    2.2 ZnO納米顆粒的制備及表征
        2.2.1 ZnO納米顆粒的制備
        2.2.2 ZnO納米顆粒的表征
    2.3 ZnO納米顆粒氣體傳感器的制作及性能測試
        2.3.1 ZnO納米顆粒氣體傳感器的制作及老化
        2.3.2 ZnO納米顆粒氣體傳感器性能分析
    2.4 ZnO納米顆粒的氣敏特性機理研究
    2.5 本章小結
第3章 LaFeO₃顆粒甲醛傳感器的制作及性能研究
    3.1 引言
    3.2 LaFeO₃顆粒的制備、表征及器件制作
        3.2.1 LaFeO₃顆粒材料的制備
        3.2.2 LaFeO₃顆粒材料的表征
        3.2.3 LaFeO₃顆粒甲醛傳感器的制作及老化
    3.3 LaFeO₃顆粒甲醛傳感器的氣敏性能分析
    3.4 LaFeO₃對甲醛的氣敏機理分析
    3.5 本章小結
第4章 ZnO|YSZ|LaFeO₃混合電位型氣體傳感器制作及性能測試
    4.1 引言
    4.2 YSZ與電極材料的制備及表征
        4.2.1 YSZ納米纖維的制備
        4.2.2 YSZ納米纖維的表征
        4.2.3 ZnO材料的制備與表征
        4.2.4 LaFeO₃材料的制備與表征
    4.3 ZnO|YSZ|LaFeO₃傳感器制作及性能測試
        4.3.1 器件制作流程
        4.3.2 氣敏性能測試
    4.4 ZnO|YSZ|LaFeO₃傳感器氣敏機理分析
    4.5 本章小結
第5章 總結與展望
    5.1 論文總結
    5.2 工作展望
參考文獻
致謝
攻讀碩士學位期間發(fā)表論文情況



本文編號：3938967