真空磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線是制備低輻射玻璃、ITO導電玻璃和CIGS薄膜太陽能電池玻璃的關鍵設備,具有巨大的市場需求量。中國的玻璃鍍膜自動化生產(chǎn)線起步較晚,長期以來主要依賴于進口,控制系統(tǒng)直接關系到企業(yè)的安全高效生產(chǎn),因此加快自主研發(fā)真空磁控濺射玻璃鍍膜生產(chǎn)線對于企業(yè)具有重要意義。根據(jù)國內(nèi)某公司的實際生產(chǎn)需求,結(jié)合真空磁控濺射法的原理,對鍍膜玻璃真空裝備生產(chǎn)線控制系統(tǒng)展開研究。首先針對玻璃鍍膜生產(chǎn)線復雜生產(chǎn)工藝問題,使用SoildWorks軟件設計單個真空腔體結(jié)構(gòu),采用ANSYS Workbench 18.0軟件對單個真空室進行模態(tài)分析。其次研究工藝過程控制中真空環(huán)境控制系統(tǒng)、真空泵組的運行策略、傳動控制系統(tǒng)和真空室溫度控制系統(tǒng)等各個子系統(tǒng)。然后,重點研究了CIGS薄膜太陽能電池玻璃制備過程中的溫度控制系統(tǒng),為提高控制系統(tǒng)的響應速度和穩(wěn)定性,創(chuàng)建溫度控制系統(tǒng)數(shù)學模型,使用MATLAB軟件仿真模擬分析模糊自適應PID控制算法與傳統(tǒng)PID控制算法之間的優(yōu)缺點,并應用于實際工程中。最后研究了生產(chǎn)線控制系統(tǒng)的總體設計,采用兩臺西門子S7-400系列PLC作為下位機控制核心,WinCC7.0組態(tài)作為...

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【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1Low-e玻璃Fig1Low-eglass

的熱量消耗占整個建筑物圍護結(jié)構(gòu)耗熱量的50%以業(yè)正處于快速發(fā)展的時代，低輻射鍍膜玻璃和光勢，在構(gòu)建節(jié)能、環(huán)保以及光伏一體化綠色建筑藝用真空裝備是生產(chǎn)低輻射鍍膜玻璃（Low-E玻璃膜玻璃[3]）以及CIGS薄膜太陽能電池背電極[4]等段高本底真空度和工藝濺射期間真空度的穩(wěn)定....

圖2磁控濺射工作原理圖

圖2磁控濺射工作原理圖Fig2SchematicdiagramofmagnetronsputteringLow-E玻璃主要有兩種方法[11]:一是在線Low-E線Low-E玻璃鍍膜工藝即當浮法玻璃尚處于熔融金屬的溶液或粉末，與熔融的玻璃結(jié)合或發(fā)生化面形成低....

圖3動態(tài)磁控濺射示意圖

圖3動態(tài)磁控濺射示意圖Fig3Schematicdiagramofdynamicmagnetronsputtering國內(nèi)真空磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線自動化水平偏低，根據(jù)國內(nèi)某公，結(jié)合磁控濺射法的原理，對鍍膜玻璃真空裝備控制系統(tǒng)進行法與自動化加工技術結(jié)合，以玻璃鍍膜控制....

圖4真空腔體三維模型

計傳輸控制系統(tǒng)，對玻璃位置定位和長度測量進行研究。.1真空腔體結(jié)構(gòu)首先使用SolidWorks軟件對單個真空腔體建立三維模，并將模型導入ANSYorkbench18.0中的模態(tài)分析模塊，得出前六階模態(tài)頻率。當真空泵工作時，電勵磁頻率和諧波頻率應盡量避免腔體的模態(tài)頻率，....

本文編號：3921324