壓力傳感器在自動控制和檢測中扮演著重要角色,是壓力信號檢測的基礎(chǔ),目前,壓力傳感器是需求量最大的傳感器,已經(jīng)廣泛地應(yīng)用在各個行業(yè)各個領(lǐng)域。在國內(nèi),用于厚膜壓力傳感器的電阻漿料其應(yīng)變系數(shù)落后于國外同類型的漿料,使得國內(nèi)厚膜壓力傳感器的滿量程輸出低、應(yīng)變靈敏性低,與國外產(chǎn)品有一定差距。基于此,本論文研究了改性劑的摻雜比例對厚膜電阻漿料應(yīng)變系數(shù)的影響,結(jié)合實際條件,調(diào)整高溫?zé)Y(jié)工藝曲線,印燒了厚膜電阻應(yīng)變計并進(jìn)行性能測試;從傳感器的工作原理、工藝流程、力學(xué)特性進(jìn)行研究,利用改性后的電阻漿料制作了陶瓷壓力傳感器。本論文主要工作如下:(1)研究了厚膜壓力傳感器的工作原理和工藝流程,結(jié)合薄板小撓度理論,研究分析了陶瓷彈性膜片的應(yīng)力應(yīng)變分布,確定了最佳電阻印燒位置。通過COMSOL有限元仿真計算,設(shè)計了一體化的傳感器基座結(jié)構(gòu)。(2)研究了厚膜電阻漿料的導(dǎo)電機理和壓阻效應(yīng),以此為基礎(chǔ)對厚膜電阻漿料進(jìn)行改性實驗,摻雜2.5μm的玻璃粉,主要研究不同摻量對電阻漿料應(yīng)變系數(shù)的影響,采用厚膜技術(shù)印燒制備了厚膜電阻應(yīng)變計,經(jīng)測試,得到了應(yīng)變系數(shù)為13.82,溫度系數(shù)106ppm/℃的厚膜電阻漿料。(3)制作陶瓷...

【文章頁數(shù)】：65 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖2.1四種導(dǎo)電機理模型

杭州電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文第二章壓力傳感器的設(shè)計的工作原理的導(dǎo)電機理與壓阻效應(yīng)至今，但其導(dǎo)電機理尚未統(tǒng)一，然后有學(xué)者提出模型如下：由PolinskiP.W等人提出的均勻通道勻分布模型[34]；由WaltonB和CarciaP.E等人G.E建立的隧道勢壘模型等....

圖2.2導(dǎo)電鏈微觀結(jié)構(gòu)示意圖

圖2.2導(dǎo)電鏈微觀結(jié)構(gòu)示意圖，可以得出一條導(dǎo)電鏈的電阻：=nbcRRRR電粒子的本身電阻，cR代表導(dǎo)電粒子間的接觸電阻，電阻。壓阻效應(yīng)可以理解為在厚膜電阻承受壓力時，其形狀。若厚膜電阻的寬為w，長為l，厚度為t，電阻率為lRwt應(yīng)變系數(shù)GF....

圖2.3惠斯通電橋

最鄰近的導(dǎo)電粒子間的距離，代表導(dǎo)電粒子間玻璃/h，m代表電子的質(zhì)量，h代表普朗克常量，K代表常2.6），當(dāng)厚膜電阻受到應(yīng)力時：當(dāng)受到壓應(yīng)力，導(dǎo)電粒子減小，最終，厚膜電阻的阻值減小；當(dāng)受到拉應(yīng)力，導(dǎo)電率增大，最終，厚膜電阻的阻值增大。.6）微分，整理后得....

圖2.4彈性膜片應(yīng)變分布圖

圖2.4彈性膜片應(yīng)變分布圖2223138rPRrh22231138tPRrh222231138rrtPRrEEh....

本文編號：3905086