力學(xué)傳感器是將各種力學(xué)參量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的器件。應(yīng)用于高溫極端環(huán)境下測(cè)量的高溫力學(xué)傳感器,尤其是高溫壓力傳感器和高溫應(yīng)變傳感器,在航空航天、石油化工、武器裝備以及汽車能源等領(lǐng)域發(fā)揮著巨大作用。長(zhǎng)久以來(lái),世界各國(guó)都很重視高溫力學(xué)傳感器的研發(fā)工作,在這一傳感器領(lǐng)域投入了大量的人力和物力。目前,我國(guó)在高溫力學(xué)傳感器領(lǐng)域的研究仍比較落后,高端高溫力學(xué)傳感器主要依賴進(jìn)口,國(guó)產(chǎn)傳感器只占據(jù)中低端市場(chǎng),更無(wú)法滿足眾多高溫現(xiàn)場(chǎng)愈加苛刻的溫度要求。因此,加速開發(fā)高端高溫力學(xué)傳感器,對(duì)促進(jìn)國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展、打破國(guó)外行業(yè)壟斷,意義重大。聲表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)傳感器具有體積小、精度高、可無(wú)源無(wú)線的特點(diǎn),長(zhǎng)期受到人們的關(guān)注,符合未來(lái)傳感器技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。隨著氮化鋁(AlN)壓電薄膜和硅酸鎵鑭(LGS)壓電單晶等耐高溫壓電材料被開發(fā)出來(lái),基于這些材料的聲表面波高溫傳感器技術(shù)也展現(xiàn)出巨大的前景。本論文針對(duì)聲表面波高溫力學(xué)傳感器研究中的科學(xué)和技術(shù)問題,基于耐高溫的氮化鋁壓電薄膜材料,研發(fā)了擁有多個(gè)聲波模態(tài)和更高測(cè)試靈敏度、可用多種方案實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償和力學(xué)參量測(cè)量的聲表面波高溫應(yīng)變傳感器...

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【學(xué)位級(jí)別】：博士

本文編號(hào)：3879707