力學傳感器是將各種力學參量轉換為電信號的器件。應用于高溫極端環(huán)境下測量的高溫力學傳感器,尤其是高溫壓力傳感器和高溫應變傳感器,在航空航天、石油化工、武器裝備以及汽車能源等領域發(fā)揮著巨大作用。長久以來,世界各國都很重視高溫力學傳感器的研發(fā)工作,在這一傳感器領域投入了大量的人力和物力。目前,我國在高溫力學傳感器領域的研究仍比較落后,高端高溫力學傳感器主要依賴進口,國產傳感器只占據中低端市場,更無法滿足眾多高溫現場愈加苛刻的溫度要求。因此,加速開發(fā)高端高溫力學傳感器,對促進國民經濟發(fā)展、打破國外行業(yè)壟斷,意義重大。聲表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)傳感器具有體積小、精度高、可無源無線的特點,長期受到人們的關注,符合未來傳感器技術的發(fā)展趨勢。隨著氮化鋁(AlN)壓電薄膜和硅酸鎵鑭(LGS)壓電單晶等耐高溫壓電材料被開發(fā)出來,基于這些材料的聲表面波高溫傳感器技術也展現出巨大的前景。本論文針對聲表面波高溫力學傳感器研究中的科學和技術問題,基于耐高溫的氮化鋁壓電薄膜材料,研發(fā)了擁有多個聲波模態(tài)和更高測試靈敏度、可用多種方案實現溫度補償和力學參量測量的聲表面波高溫應變傳感器...

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【學位級別】：博士

本文編號：3879707