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三維精密工作臺運動控制系統(tǒng)研究

發(fā)布時間:2023-04-25 00:19
  已有研究表明,數(shù)字通道傳輸延遲是導(dǎo)致集成電路交流參數(shù)的測量結(jié)果出現(xiàn)誤差的主因,該誤差對高速器件影響很大,極易造成測試結(jié)果誤判。為了校準數(shù)字通道傳輸延遲,需對集成電路測試系統(tǒng)所有數(shù)字通道都具備校準能力。集成電路測試系統(tǒng)中有成百上千的數(shù)字通道,每個數(shù)字通道的形位尺寸較小,因而為實現(xiàn)對各數(shù)字通道精確的自動切換測量、提高校準裝置自動化程度、減少校準工作量,設(shè)計一套精密的三坐標工作臺自動切換測量裝置就顯得很有必要。本文以三坐標工作臺的運動控制系統(tǒng)為對象,采用基于BP網(wǎng)絡(luò)的二自由度PID控制策略替換常規(guī)的PID控制策略,對系統(tǒng)階躍響應(yīng)超調(diào)現(xiàn)象及正弦輸入的滯后現(xiàn)象進行了研究,同時對BP網(wǎng)絡(luò)進行了改進,以期改善三坐標工作臺運動過程中的超調(diào)問題及滯后問題。本文主要的研究內(nèi)容如下:根據(jù)技術(shù)要求對三坐標工作臺運動控制系統(tǒng)進行設(shè)計,采用“PC+運動控制器”的全閉環(huán)運動控制系統(tǒng),并在此基礎(chǔ)上對相應(yīng)的硬件進行選型從而搭建出本課題所研究的運動控制系統(tǒng)模型,以利于后續(xù)的仿真分析及系統(tǒng)實現(xiàn)。在Simulink中對所設(shè)計的運動控制系統(tǒng)建模并仿真可知:采用階躍輸入時超調(diào)較為嚴重,采用正弦輸入時不僅超調(diào)較大,且輸出與輸入還存...

【文章頁數(shù)】:59 頁

【學(xué)位級別】:碩士

【文章目錄】:
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 課題來源與研究背景
        1.1.1 課題來源
        1.1.2 課題研究背景
    1.2 課題研究目的和意義
    1.3 運動控制系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢
        1.3.1 運動控制器的研究現(xiàn)狀
        1.3.2 運動控制理論的研究現(xiàn)狀
        1.3.3 運動控制系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀
        1.3.4 運動控制系統(tǒng)的發(fā)展趨勢
    1.4 課題研究的主要內(nèi)容
    1.5 本章小結(jié)
第2章 運動控制系統(tǒng)設(shè)計
    2.1 技術(shù)要求
    2.2 三坐標工作臺控制原理
    2.3 運動控制系統(tǒng)總體結(jié)構(gòu)設(shè)計
    2.4 運動控制系統(tǒng)組成
        2.4.1 電機及驅(qū)動器
        2.4.2 運動控制器
        2.4.3 光柵尺
    2.5 系統(tǒng)實現(xiàn)
    2.6 本章總結(jié)
第3章 系統(tǒng)建模及仿真
    3.1 直流伺服電機建模
    3.2 半閉環(huán)運動控制系統(tǒng)建模及仿真
    3.3 全閉環(huán)運動控制系統(tǒng)模型及仿真
    3.4 階躍超調(diào)的消除及仿真
    3.5 本章小結(jié)
第4章 運動控制系統(tǒng)優(yōu)化
    4.1 二自由度PID控制及仿真
        4.1.1 常規(guī)PID控制
        4.1.2 二自由度PID控制
        4.1.3 二自由度PID仿真
    4.2 基于改進型BP網(wǎng)絡(luò)的PID控制及仿真
        4.2.1 基于BP網(wǎng)絡(luò)的PID控制
        4.2.2 改進型BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)
        4.2.3 基于改進型BP網(wǎng)絡(luò)的PID仿真
    4.3 基于改進型BP網(wǎng)絡(luò)的二自由度PID控制及仿真
    4.4 本章小結(jié)
第5章 系統(tǒng)精度分析
    5.1 單軸定位精度分析
    5.2 三軸復(fù)合定位精度分析
    5.3 運動精度分析
    5.4 本章小結(jié)
第6章 總結(jié)與展望
    6.1 本文總結(jié)
    6.2 研究展望
參考文獻
致謝



本文編號:3800319

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