工業(yè)帶動著經(jīng)濟的發(fā)展,人們的生活水平隨之提高。氣體檢測在人類生活和生產(chǎn)中的應(yīng)用也愈加廣泛。氣敏傳感器作為氣體檢測的重要部分,能夠有效的測量被測氣體的種類和濃度,并將檢測到的有用信號轉(zhuǎn)換成電信號傳輸出來。在大氣污染檢測、室內(nèi)環(huán)境檢測和食品氣味檢測等多個領(lǐng)域,氣敏傳感器都發(fā)揮著重要作用。微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器在多種氣敏傳感器中優(yōu)勢明顯,符合當(dāng)下器件集成化和微型化的發(fā)展方向。在微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器中,微加熱板為半導(dǎo)體敏感材料提供相應(yīng)的高溫工作環(huán)境,它是氣敏傳感器中的重要組成部分。因此,在設(shè)計微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器時要考慮微熱板在相同的熱生成率下是否能夠提供足夠的熱量給氣敏材料工作,也就是看微熱板的表面狀態(tài)是否是高溫且溫度分布均勻。有限元ANSYS仿真軟件能夠?qū)ξ岚暹M行熱穩(wěn)態(tài)分析。本文借助有限元ANSYS仿真軟件對微熱板的結(jié)構(gòu)進行設(shè)計和優(yōu)化。微熱板自下而上分為襯底、絕緣層和電極三個部分。襯底在整個結(jié)構(gòu)中起到支撐平臺的作用,絕緣層能夠絕緣絕熱,防止熱量向襯底散失損耗掉。電極又分為加熱電極和測量電極。加熱電極通電產(chǎn)生焦耳熱給微熱板供能,測量電極用來檢測氣敏材料與被測氣體接觸前后的電阻變化。本文從襯底、絕緣層和電... 

【文章來源】：南京郵電大學(xué)江蘇省

【文章頁數(shù)】：60 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

012—2018年，在WebofScience上發(fā)表的與n/p型氧化物氣敏材料相關(guān)的文章數(shù)量統(tǒng)計

圖 1.2 SnO2材料表面吸附氧分子材料表面，從而束縛表面的自由電子，導(dǎo)致 SnO2材料的（H2）和一氧化碳（CO）等，與氧負(fù)離子相接觸時，還O 為例，CO 與氧負(fù)離子形成二氧化碳和多余的電子，圖 1.3 CO 與氧負(fù)離子反應(yīng)新回到 SnO2材料中去，因此 SnO2材料表面的電阻會下的變化大小，就可以計算出 CO 濃度的高低。整個吸附

圖 1.3 CO 與氧負(fù)離子反應(yīng)新回到 SnO2材料中去，因此 SnO2材料表面的電阻會下的變化大小，就可以計算出 CO 濃度的高低。整個吸附阻在氣體與敏感材料接觸前后的變化如圖 1.4 所示。)()()()()222gasOadsOadsOadsOlattice Oads COads CO nen2( )()

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3624000