CVD石墨烯傳感器的制備及其性能研究
發(fā)布時(shí)間:2021-03-23 15:12
石墨烯是世界上首次被成功制備出的二維單原子層材料,其獨(dú)特的二維結(jié)構(gòu)和優(yōu)異的性能在過去的十多年間引起了科學(xué)界的廣泛關(guān)注,并取得了令人矚目的成就。制備石墨烯有很多種方法,相比于其他合成方法,利用化學(xué)氣相沉積法(CVD)制備出的石墨烯薄膜,具有層數(shù)可控(單層或少層)、面積大、缺陷少等優(yōu)點(diǎn)。本文首先通過等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)計(jì)和制備鎳/石墨烯(Ni/G)電極,用于D-苯丙氨酸和L-苯丙氨酸的超靈敏識(shí)別。通過PECVD工藝,Ni/G電極可以獲得更好的親水性和更大的催化表面積,有利于其對(duì)生物物體的電化學(xué)識(shí)別。在用β-環(huán)糊精進(jìn)行表面修飾后,β-CD/Ni/G電極可以根據(jù)差分脈沖伏安法測(cè)試中的0.09V峰位移將D-苯丙氨酸與L-苯丙氨酸區(qū)分開。而且,該β-CD/Ni/G電極對(duì)L-苯丙氨酸的檢測(cè)限低至1 nM,線性范圍從1 nM至10 mM,具有良好的儲(chǔ)存穩(wěn)定性和工作穩(wěn)定性。然后通過化學(xué)氣相沉積法在銅箔上制備石墨烯薄膜,利用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)法轉(zhuǎn)移石墨烯。選取電學(xué)性能優(yōu)良的樣品制備石墨烯傳感器件,探究血液組分(血清、血紅細(xì)胞、生理鹽水、微量的DNA)對(duì)石墨烯傳感器的影響,結(jié)果...
【文章來源】:河南工業(yè)大學(xué)河南省
【文章頁數(shù)】:48 頁
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
(a-c)石墨烯中碳原子的成鍵形式[4]
河南工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文13圖2-1電化學(xué)對(duì)映體識(shí)別電極的制備原理圖Ni/G電極修飾β-CD的過程中用到的化學(xué)試劑的名稱、純度和生產(chǎn)廠家見表2-2表2-2Ni/G電極修飾β-CD的過程中所用的化學(xué)試劑名稱規(guī)格生產(chǎn)廠家β-環(huán)糊精(β-CD)分析純國(guó)藥集團(tuán)化學(xué)試劑有限公司苯丙氨酸(D-Phe)分析純上海阿拉丁生物科技股份有限公司苯丙氨酸(L-Phe)分析純上海阿拉丁生物科技股份有限公司銀膠美國(guó)SPI在鎳/石墨烯電極上修飾β-CD的具體步驟如下:(1)將用PECVD制得的鎳/石墨烯電極固定在塑料基板上,并用銀膠將其連接到銅線上。(2)將鎳/石墨烯電極浸入0.1Mβ-CD溶液中6分鐘,在這個(gè)過程中利用了范德華力進(jìn)行β-CD的表面吸附,然后用氮?dú)鈱㈦姌O吹干。最后,我們將制備的電極表示為β-CD/Ni/G。2.2.3電極的結(jié)構(gòu)表征電極的結(jié)構(gòu)表征過程中所用的儀器的名稱、型號(hào)和生產(chǎn)廠家見表2-3表2-3電極的結(jié)構(gòu)表征中所用的儀器儀器名稱型號(hào)生產(chǎn)廠家場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡FEIQuantaFEG250美國(guó)FEI共聚焦顯微拉曼光譜儀RenishawinViaReflexRenishaw接觸角測(cè)量?jī)xDCAT21寧波金茂進(jìn)出口有限公司原子力顯微鏡Dimension3100美國(guó)Vecco
2β-環(huán)糊精固定化的鎳/石墨烯電極對(duì)苯丙氨酸對(duì)映體的電化學(xué)識(shí)別14通過SEM圖像可以得到納米材料的形貌。如圖2-2(a)所示,在石墨烯生長(zhǎng)之前可以觀察到均勻的鎳膜表面,但是,在PECVD工藝制備石墨烯后,Ni/G電極的表面上出現(xiàn)了許多微米級(jí)的顆粒,表面不再均勻平坦,如圖2-2(b)。同時(shí),由觀測(cè)知,具有不同等離子體功率的Ni/G電極具有相似的表面形貌。此外,在圖2-2(b)中的同一區(qū)域中以映射掃描模式執(zhí)進(jìn)行能量色散光譜(EDS)分析,其中C和Ni元素的結(jié)果如圖2-2c,d所示,C和Ni元素的分布通常與SEM圖像一致。圖2-2(a)沉積的鎳層的SEM圖;(b)Ni/G電極的SEM圖;(c,d)(b)圖中C和Ni的能量色散光譜映射通過拉曼光譜法表征制備的石墨烯層的質(zhì)量。圖2-3(a)顯示了以不同等離子功率在Ni層頂部生長(zhǎng)的石墨烯薄膜的拉曼光譜。所有光譜在1350cm-1(D波段),1581cm-1(G波段)和2695cm-1(2D波段)處均表現(xiàn)出三個(gè)特征峰[43-46]。D波段歸因于石墨烯結(jié)構(gòu)中的晶格無序。G波段是由SP2碳原子的拉伸振動(dòng)形成的,而2D波段是由兩個(gè)雙聲子的非彈性散射引起的。2D波段的半峰寬較窄(37.8–42.1cm-1)表明所形成的石墨烯層數(shù)小于5[47]。Ni/G-50W石墨烯的拉曼光譜非常接近于常規(guī)高溫CVD合成的單層石墨烯,這是因?yàn)槠銬波段很小,2D波段很強(qiáng)[48]。D波段與G波段的峰值強(qiáng)度比(ID/IG)對(duì)應(yīng)于石墨烯的缺陷程度,而2D波段和G波段的峰值強(qiáng)度比(I2D/IG)可以反映石墨烯的厚度。ID/IG比和I2D/IG比的變化在圖2-3(b)中進(jìn)行了計(jì)算和總結(jié)。隨著等離子功率從50W上升到200W,Ni/G電極的ID/IG比從0.13逐漸增加到0.99,而I2D/IG比從1.74降低到0.77。因此,以更大的等離子體功率合成的石墨烯不僅具有更多的缺陷,而且具有更多的層數(shù)。這可以歸因于在PECVD過程中等離子體的兩個(gè)主
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]新型傳感材料與器件研究進(jìn)展[J]. 屠海令,趙鴻濱,魏峰,張青竹,樊彥艷,杜軍. 稀有金屬. 2019(01)
[2]石墨烯/殼聚糖電化學(xué)傳感器對(duì)色氨酸對(duì)映體的選擇性識(shí)別[J]. 張金萍,范景彪,黃艷,米紅宇,耿建新. 影像科學(xué)與光化學(xué). 2018(05)
[3]石墨烯材料的結(jié)構(gòu)、性質(zhì)及表征解析[J]. 胡忠良,李雪鋒,劉偉健,梁耀華,冷琪. 湖南工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào). 2016(03)
[4]納米石墨烯復(fù)合材料的制備及應(yīng)用研究進(jìn)展[J]. 任芳,朱光明,任鵬剛. 復(fù)合材料學(xué)報(bào). 2014(02)
[5]石墨烯復(fù)合材料的研究進(jìn)展[J]. 匡達(dá),胡文彬. 無機(jī)材料學(xué)報(bào). 2013(03)
[6]化學(xué)氣相沉積法合成石墨烯的轉(zhuǎn)移技術(shù)研究進(jìn)展[J]. 黃曼,郭云龍,武斌,劉云圻,付朝陽,王帥. 化學(xué)通報(bào). 2012(11)
[7]電化學(xué)DNA生物傳感器定量檢測(cè)根癌農(nóng)桿菌終止子基因片段[J]. 許凱,葉尊忠,應(yīng)義斌. 分析化學(xué). 2008(08)
[8]熒光定量PCR技術(shù)檢測(cè)DNA疫苗在生殖腺和血液中的殘留[J]. 胡斌,莫國(guó)玉,劉燕,蔡穎鵬,程鋼,何蘊(yùn)韶. 熱帶醫(yī)學(xué)雜志. 2006(09)
[9]原位分子雜交檢測(cè)肺癌組織MRP基因表達(dá)及意義[J]. 單根法,鐘竑,張輔賢,李國(guó)慶,隆桂麟,顧鶴定,戚曉敏. 中華腫瘤雜志. 2000(01)
博士論文
[1]超精密磨削襯底生長(zhǎng)無轉(zhuǎn)移石墨烯應(yīng)用及機(jī)理研究[D]. 郭梁超.大連理工大學(xué) 2019
碩士論文
[1]石墨烯表面修飾DNA用于化學(xué)傳感器[D]. 李小晴.中國(guó)科學(xué)院大學(xué)(中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所) 2018
[2]基于化學(xué)氣相沉積法制備的石墨烯薄膜在K+傳感器中的應(yīng)用[D]. 劉湘祁.昆明理工大學(xué) 2018
本文編號(hào):3096010
【文章來源】:河南工業(yè)大學(xué)河南省
【文章頁數(shù)】:48 頁
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
(a-c)石墨烯中碳原子的成鍵形式[4]
河南工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文13圖2-1電化學(xué)對(duì)映體識(shí)別電極的制備原理圖Ni/G電極修飾β-CD的過程中用到的化學(xué)試劑的名稱、純度和生產(chǎn)廠家見表2-2表2-2Ni/G電極修飾β-CD的過程中所用的化學(xué)試劑名稱規(guī)格生產(chǎn)廠家β-環(huán)糊精(β-CD)分析純國(guó)藥集團(tuán)化學(xué)試劑有限公司苯丙氨酸(D-Phe)分析純上海阿拉丁生物科技股份有限公司苯丙氨酸(L-Phe)分析純上海阿拉丁生物科技股份有限公司銀膠美國(guó)SPI在鎳/石墨烯電極上修飾β-CD的具體步驟如下:(1)將用PECVD制得的鎳/石墨烯電極固定在塑料基板上,并用銀膠將其連接到銅線上。(2)將鎳/石墨烯電極浸入0.1Mβ-CD溶液中6分鐘,在這個(gè)過程中利用了范德華力進(jìn)行β-CD的表面吸附,然后用氮?dú)鈱㈦姌O吹干。最后,我們將制備的電極表示為β-CD/Ni/G。2.2.3電極的結(jié)構(gòu)表征電極的結(jié)構(gòu)表征過程中所用的儀器的名稱、型號(hào)和生產(chǎn)廠家見表2-3表2-3電極的結(jié)構(gòu)表征中所用的儀器儀器名稱型號(hào)生產(chǎn)廠家場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡FEIQuantaFEG250美國(guó)FEI共聚焦顯微拉曼光譜儀RenishawinViaReflexRenishaw接觸角測(cè)量?jī)xDCAT21寧波金茂進(jìn)出口有限公司原子力顯微鏡Dimension3100美國(guó)Vecco
2β-環(huán)糊精固定化的鎳/石墨烯電極對(duì)苯丙氨酸對(duì)映體的電化學(xué)識(shí)別14通過SEM圖像可以得到納米材料的形貌。如圖2-2(a)所示,在石墨烯生長(zhǎng)之前可以觀察到均勻的鎳膜表面,但是,在PECVD工藝制備石墨烯后,Ni/G電極的表面上出現(xiàn)了許多微米級(jí)的顆粒,表面不再均勻平坦,如圖2-2(b)。同時(shí),由觀測(cè)知,具有不同等離子體功率的Ni/G電極具有相似的表面形貌。此外,在圖2-2(b)中的同一區(qū)域中以映射掃描模式執(zhí)進(jìn)行能量色散光譜(EDS)分析,其中C和Ni元素的結(jié)果如圖2-2c,d所示,C和Ni元素的分布通常與SEM圖像一致。圖2-2(a)沉積的鎳層的SEM圖;(b)Ni/G電極的SEM圖;(c,d)(b)圖中C和Ni的能量色散光譜映射通過拉曼光譜法表征制備的石墨烯層的質(zhì)量。圖2-3(a)顯示了以不同等離子功率在Ni層頂部生長(zhǎng)的石墨烯薄膜的拉曼光譜。所有光譜在1350cm-1(D波段),1581cm-1(G波段)和2695cm-1(2D波段)處均表現(xiàn)出三個(gè)特征峰[43-46]。D波段歸因于石墨烯結(jié)構(gòu)中的晶格無序。G波段是由SP2碳原子的拉伸振動(dòng)形成的,而2D波段是由兩個(gè)雙聲子的非彈性散射引起的。2D波段的半峰寬較窄(37.8–42.1cm-1)表明所形成的石墨烯層數(shù)小于5[47]。Ni/G-50W石墨烯的拉曼光譜非常接近于常規(guī)高溫CVD合成的單層石墨烯,這是因?yàn)槠銬波段很小,2D波段很強(qiáng)[48]。D波段與G波段的峰值強(qiáng)度比(ID/IG)對(duì)應(yīng)于石墨烯的缺陷程度,而2D波段和G波段的峰值強(qiáng)度比(I2D/IG)可以反映石墨烯的厚度。ID/IG比和I2D/IG比的變化在圖2-3(b)中進(jìn)行了計(jì)算和總結(jié)。隨著等離子功率從50W上升到200W,Ni/G電極的ID/IG比從0.13逐漸增加到0.99,而I2D/IG比從1.74降低到0.77。因此,以更大的等離子體功率合成的石墨烯不僅具有更多的缺陷,而且具有更多的層數(shù)。這可以歸因于在PECVD過程中等離子體的兩個(gè)主
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]新型傳感材料與器件研究進(jìn)展[J]. 屠海令,趙鴻濱,魏峰,張青竹,樊彥艷,杜軍. 稀有金屬. 2019(01)
[2]石墨烯/殼聚糖電化學(xué)傳感器對(duì)色氨酸對(duì)映體的選擇性識(shí)別[J]. 張金萍,范景彪,黃艷,米紅宇,耿建新. 影像科學(xué)與光化學(xué). 2018(05)
[3]石墨烯材料的結(jié)構(gòu)、性質(zhì)及表征解析[J]. 胡忠良,李雪鋒,劉偉健,梁耀華,冷琪. 湖南工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào). 2016(03)
[4]納米石墨烯復(fù)合材料的制備及應(yīng)用研究進(jìn)展[J]. 任芳,朱光明,任鵬剛. 復(fù)合材料學(xué)報(bào). 2014(02)
[5]石墨烯復(fù)合材料的研究進(jìn)展[J]. 匡達(dá),胡文彬. 無機(jī)材料學(xué)報(bào). 2013(03)
[6]化學(xué)氣相沉積法合成石墨烯的轉(zhuǎn)移技術(shù)研究進(jìn)展[J]. 黃曼,郭云龍,武斌,劉云圻,付朝陽,王帥. 化學(xué)通報(bào). 2012(11)
[7]電化學(xué)DNA生物傳感器定量檢測(cè)根癌農(nóng)桿菌終止子基因片段[J]. 許凱,葉尊忠,應(yīng)義斌. 分析化學(xué). 2008(08)
[8]熒光定量PCR技術(shù)檢測(cè)DNA疫苗在生殖腺和血液中的殘留[J]. 胡斌,莫國(guó)玉,劉燕,蔡穎鵬,程鋼,何蘊(yùn)韶. 熱帶醫(yī)學(xué)雜志. 2006(09)
[9]原位分子雜交檢測(cè)肺癌組織MRP基因表達(dá)及意義[J]. 單根法,鐘竑,張輔賢,李國(guó)慶,隆桂麟,顧鶴定,戚曉敏. 中華腫瘤雜志. 2000(01)
博士論文
[1]超精密磨削襯底生長(zhǎng)無轉(zhuǎn)移石墨烯應(yīng)用及機(jī)理研究[D]. 郭梁超.大連理工大學(xué) 2019
碩士論文
[1]石墨烯表面修飾DNA用于化學(xué)傳感器[D]. 李小晴.中國(guó)科學(xué)院大學(xué)(中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所) 2018
[2]基于化學(xué)氣相沉積法制備的石墨烯薄膜在K+傳感器中的應(yīng)用[D]. 劉湘祁.昆明理工大學(xué) 2018
本文編號(hào):3096010
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