隨著微型器件的制造產(chǎn)品飛速發(fā)展,對(duì)于這些產(chǎn)品的微結(jié)構(gòu)缺陷檢測(cè)逐漸成為研究熱點(diǎn)。微缺陷導(dǎo)致的失效往往會(huì)使整個(gè)零件失效,進(jìn)而使整個(gè)系統(tǒng)出現(xiàn)安全隱患。本文基于超聲激光數(shù)字全息顯微檢測(cè)平臺(tái),分析數(shù)字全息記錄原理,利用虛擬儀器技術(shù)設(shè)計(jì)并驗(yàn)證同步控制系統(tǒng),對(duì)微機(jī)械結(jié)構(gòu)表面振動(dòng)全息干涉圖進(jìn)行拍攝與采集,對(duì)于微結(jié)構(gòu)缺陷檢測(cè)具有重要的理論意義和應(yīng)用價(jià)值。針對(duì)超聲激光數(shù)字全息顯微系統(tǒng)的全息圖像采集問(wèn)題,研究了數(shù)字全息技術(shù),包括數(shù)字全息的記錄原理,數(shù)字全息拍攝實(shí)驗(yàn)中記錄距離、物參光強(qiáng)比以及物參夾角關(guān)鍵參數(shù)等:對(duì)超聲激光數(shù)字全息顯微檢測(cè)實(shí)驗(yàn)中的硬件之間通信關(guān)系以及各子系統(tǒng)構(gòu)成進(jìn)行了分析,確定了超聲激光數(shù)字全息顯微同步控制系統(tǒng)軟件編程的總體方案以及所要實(shí)現(xiàn)的各模塊功能。針對(duì)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)需求,分析并確定了超聲激光數(shù)字全息顯微同步控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)任務(wù),根據(jù)系統(tǒng)對(duì)輸出脈沖以及物理通道的要求選擇采集卡,研究系統(tǒng)各硬件的驅(qū)動(dòng)方式以及接口信號(hào)類(lèi)型,確定脈沖激光器和CCD的驅(qū)動(dòng)方案;研究并分析CCD的控制模式和內(nèi)部工作順序,實(shí)現(xiàn)對(duì)CCD的曝光參數(shù)設(shè)置、全息圖像采集和實(shí)時(shí)顯示以及存儲(chǔ)功能;結(jié)合脈沖激光器、CCD以及信號(hào)發(fā)生器三者之... 

【文章來(lái)源】：西安科技大學(xué)陜西省

【文章頁(yè)數(shù)】：77 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

數(shù)字全息記錄光路示意圖

圖 3.1 帶有 BNC-2121 接線盒的 PCI-6602 采集卡光器的驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)器的選擇主要考慮波長(zhǎng)、功率、穩(wěn)定性、驅(qū)動(dòng)接口以及相干要能夠在每個(gè)脈沖激勵(lì)時(shí)間提供足夠大的光通量照射樣品表光源的要求，同時(shí)，其功率不能過(guò)大而燒傷樣品表面。器具有能量集中，功率高，光束指向性好以及穩(wěn)定和可靠等mJ 至 2000mJ，且具有較強(qiáng)的相干性。本文最終選用 Nd:YAGma-400（ =532nm），脈沖重復(fù)頻率可達(dá)500次/秒，具體參數(shù)表 3.2 Nimma-400 激光器參數(shù)特性技術(shù)指標(biāo) 實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)激光波長(zhǎng) 532nm輸出能量 250mJ工作頻率 1-10Hz，分檔可調(diào)脈沖寬度 7.443ns

需要通過(guò)采集卡向“CLK IN”和“Q-IN” CLK IN”控制激光器的燈閃，“Q-IN”控制激光器的出 BNC，這也是選擇該脈沖激光器的重要原因。如圖 3.2

【參考文獻(xiàn)】：
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碩士論文
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本文編號(hào)：3065338