基于電滲驅(qū)動的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)研究
發(fā)布時間:2021-01-27 09:22
化學(xué)分析系統(tǒng)的微型化勢必要求其流體驅(qū)動系統(tǒng)和檢測傳感器也要微型化。目前化學(xué)分析系統(tǒng)采用的基于蠕動泵驅(qū)動方式的微流體驅(qū)動系統(tǒng)體積較大,嵌入微通道內(nèi)困難,且流量可控性較差,進(jìn)一步減小液滴體積困難。本文采用易于嵌入微通道內(nèi)的電滲微泵(Electroosmosis micropump,EOP)作為微流體驅(qū)動系統(tǒng),光尋址電位傳感器(Light-Addressable Potentiometric Sensor,LAPS)作為微流體檢測傳感器,致力于研制一種分析液消耗量更低、集成度更高的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)。然而,輸液效率偏低和噪聲增大分別是電滲微泵和LAPS在微型化過程中所面臨的問題。為提高電滲微泵的輸液效率和LAPS信號的信噪比,分別提出了一種氣泡協(xié)助-電滲微泵技術(shù)和一種基于小波變換的噪聲抑制方法,并對相關(guān)問題進(jìn)行了深入的研究。本論文的主要創(chuàng)新性研究成果如下:1.提出了一種基于電滲驅(qū)動的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)。針對液滴式電化學(xué)分析系統(tǒng)采用蠕動泵流量可控性受限、減小微液滴體積和精確操控微液滴困難的問題,本文提出了一種基于電滲驅(qū)動的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)。在LAPS傳感表面構(gòu)建了微通道,并在微通道中嵌入了一...
【文章來源】:西北工業(yè)大學(xué)陜西省 211工程院校 985工程院校
【文章頁數(shù)】:131 頁
【學(xué)位級別】:博士
【文章目錄】:
摘要
Abstract
1 緒論
1.1 研究背景
1.2 電化學(xué)分析系統(tǒng)及其微型化技術(shù)
1.2.1 微流體檢測傳感器
1.2.2 基于LAPS的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)
1.2.3 微流體驅(qū)動系統(tǒng)
1.3 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀
1.3.1 檢測傳感器的微系統(tǒng)化研究現(xiàn)狀
1.3.2 LAPS的噪聲抑制研究現(xiàn)狀
1.3.3 流體驅(qū)動系統(tǒng)的微型化研究現(xiàn)狀
1.4 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)現(xiàn)存的問題
1.5 基于電滲驅(qū)動的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)
1.6 主要內(nèi)容與安排
2 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的機(jī)理分析與方案設(shè)計
2.1 LAPS機(jī)理分析與方案設(shè)計
2.1.1 基本結(jié)構(gòu)
2.1.2 交變光電流產(chǎn)生機(jī)制
2.1.3 pH響應(yīng)
2.1.4 pH檢測方法
2.1.5 微型電化學(xué)系統(tǒng)的LAPS設(shè)計方案
2.2 電滲微泵機(jī)理分析與方案設(shè)計
2.2.1 界面電荷的來源
2.2.2 動電現(xiàn)象
2.2.3 雙電層
2.2.4 Zeta電勢
2.2.5 電滲流的產(chǎn)生機(jī)理
2.2.6 微型電化學(xué)系統(tǒng)的電滲微泵設(shè)計方案
2.3 小結(jié)
3 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的制備工藝研究
3.1 LAPS的制備工藝研究
3.2 電滲微泵的制備工藝研究
3.2.1 微通道陽模制作工藝
3.2.2 微通道制作工藝
3.2.3 電極制作工藝
3.2.4 等離子鍵合工藝
3.2.5 微通道表面親水化處理工藝
3.3 小結(jié)
4 基于電滲驅(qū)動的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的研究
4.1 基于電滲驅(qū)動的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)
4.1.1 基于LAPS的電化學(xué)分析系統(tǒng)存在的問題
4.1.2 基于電滲驅(qū)動的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的提出
4.1.3 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的制備
4.1.4 微液滴的產(chǎn)生方法
4.1.5 微液滴的LAPS檢測機(jī)制
4.2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析
4.2.1 LAPS的 I/V特性分析
4.2.2 LAPS表面的電滲流現(xiàn)象
4.2.3 電滲流的流量計算
4.2.4 微液滴的產(chǎn)生和泵送
4.2.5 微液滴的LAPS分析
4.3 小結(jié)
5 氣泡協(xié)助-電滲微泵技術(shù)及其微系統(tǒng)化研究
5.1 氣泡協(xié)助-電滲微泵
5.1.1 氣泡協(xié)助-電滲微泵的提出
5.1.2 氣泡協(xié)助-電滲微泵的基本結(jié)構(gòu)
5.1.3 氣泡協(xié)助-電滲微泵的機(jī)理分析
5.1.4 氣泡協(xié)助-電滲微泵的等效電路
5.2 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)
5.2.1 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)
5.2.2 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的工作原理
5.2.3 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的制備
5.3 電滲流可視化分析系統(tǒng)
5.3.1 驅(qū)動電壓產(chǎn)生與極性切換
5.3.2 電滲流的可視化分析
5.4 結(jié)果與討論
5.4.1 氣泡/薄膜水層的產(chǎn)生
5.4.2 氣泡/薄膜水層的電阻特性研究
5.4.3 電滲流的產(chǎn)生
5.4.4 電滲流的LAPS分析
5.4.5 微液滴的產(chǎn)生
5.4.6 微液滴的LAPS分析
5.5 小結(jié)
6 LAPS信號的噪聲抑制研究
6.1 基于小波變換的LAPS信號降噪方法的提出
6.2 LAPS檢測系統(tǒng)
6.2.1 LAPS的制備與封裝
6.2.2 光源驅(qū)動電路
6.2.3 法拉第屏蔽箱
6.2.4 跨阻放大電路
6.2.5 LAPS信號讀取
6.3 小波變換原理
6.4 LAPS信號的小波變換的結(jié)果與討論
6.4.1 小波變換分解結(jié)果
6.4.2 小波變換去噪結(jié)果
6.4.3 去噪效果評價指標(biāo)
6.4.4 去噪效果比較與討論
6.5 小結(jié)
7 總結(jié)與展望
7.1 主要研究工作及成果
7.2 未來工作展望
參考文獻(xiàn)
致謝
攻讀博士學(xué)位期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文和參加的國際會議
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]半導(dǎo)體電極的平帶電位[J]. 崔曉莉. 化學(xué)通報. 2017(12)
[2]熱氣泡式微流體驅(qū)動器的研究進(jìn)展[J]. 劉本東,孫建闖,侯岳鵬,蘇彥強(qiáng),李德勝. 北京工業(yè)大學(xué)學(xué)報. 2016(08)
[3]基于PDMS的壓電驅(qū)動式系列微型泵[J]. 劉國君,劉丕浩,李明,梁實(shí)海,唐春秀. 壓電與聲光. 2016(03)
[4]固液界面動電效應(yīng)的研究進(jìn)展[J]. 郭萬林,費(fèi)雯雯. 振動.測試與診斷. 2015(04)
[5]靜電驅(qū)動振模微泵的理論分析[J]. 張彧,王文,趙小林,丁桂甫. 傳感器與微系統(tǒng). 2013(01)
[6]水質(zhì)監(jiān)測微型蠕動泵穩(wěn)定性實(shí)驗(yàn)研究[J]. 陳松柏,溫志渝,魏康林,郭建. 實(shí)驗(yàn)科學(xué)與技術(shù). 2012(06)
[7]電磁驅(qū)動柔性振動膜無閥微泵[J]. 蘇宇鋒,陳文元,崔峰. 微細(xì)加工技術(shù). 2003(04)
[8]電滲流泵的機(jī)理分析[J]. 仲武,陳云飛,莊蘋. 東南大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版). 2003(03)
[9]形狀記憶合金/硅復(fù)合膜驅(qū)動的微泵[J]. 徐東,蔡炳初,王莉,丁桂甫,周勇,俞愛斌. 微細(xì)加工技術(shù). 2000(04)
博士論文
[1]高壓電滲泵及其在微柱液相色譜中的應(yīng)用研究[D]. 陳令新.中國科學(xué)院研究生院(大連化學(xué)物理研究所) 2003
本文編號:3002814
【文章來源】:西北工業(yè)大學(xué)陜西省 211工程院校 985工程院校
【文章頁數(shù)】:131 頁
【學(xué)位級別】:博士
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摘要
Abstract
1 緒論
1.1 研究背景
1.2 電化學(xué)分析系統(tǒng)及其微型化技術(shù)
1.2.1 微流體檢測傳感器
1.2.2 基于LAPS的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)
1.2.3 微流體驅(qū)動系統(tǒng)
1.3 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀
1.3.1 檢測傳感器的微系統(tǒng)化研究現(xiàn)狀
1.3.2 LAPS的噪聲抑制研究現(xiàn)狀
1.3.3 流體驅(qū)動系統(tǒng)的微型化研究現(xiàn)狀
1.4 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)現(xiàn)存的問題
1.5 基于電滲驅(qū)動的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)
1.6 主要內(nèi)容與安排
2 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的機(jī)理分析與方案設(shè)計
2.1 LAPS機(jī)理分析與方案設(shè)計
2.1.1 基本結(jié)構(gòu)
2.1.2 交變光電流產(chǎn)生機(jī)制
2.1.3 pH響應(yīng)
2.1.4 pH檢測方法
2.1.5 微型電化學(xué)系統(tǒng)的LAPS設(shè)計方案
2.2 電滲微泵機(jī)理分析與方案設(shè)計
2.2.1 界面電荷的來源
2.2.2 動電現(xiàn)象
2.2.3 雙電層
2.2.4 Zeta電勢
2.2.5 電滲流的產(chǎn)生機(jī)理
2.2.6 微型電化學(xué)系統(tǒng)的電滲微泵設(shè)計方案
2.3 小結(jié)
3 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的制備工藝研究
3.1 LAPS的制備工藝研究
3.2 電滲微泵的制備工藝研究
3.2.1 微通道陽模制作工藝
3.2.2 微通道制作工藝
3.2.3 電極制作工藝
3.2.4 等離子鍵合工藝
3.2.5 微通道表面親水化處理工藝
3.3 小結(jié)
4 基于電滲驅(qū)動的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的研究
4.1 基于電滲驅(qū)動的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)
4.1.1 基于LAPS的電化學(xué)分析系統(tǒng)存在的問題
4.1.2 基于電滲驅(qū)動的微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的提出
4.1.3 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的制備
4.1.4 微液滴的產(chǎn)生方法
4.1.5 微液滴的LAPS檢測機(jī)制
4.2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析
4.2.1 LAPS的 I/V特性分析
4.2.2 LAPS表面的電滲流現(xiàn)象
4.2.3 電滲流的流量計算
4.2.4 微液滴的產(chǎn)生和泵送
4.2.5 微液滴的LAPS分析
4.3 小結(jié)
5 氣泡協(xié)助-電滲微泵技術(shù)及其微系統(tǒng)化研究
5.1 氣泡協(xié)助-電滲微泵
5.1.1 氣泡協(xié)助-電滲微泵的提出
5.1.2 氣泡協(xié)助-電滲微泵的基本結(jié)構(gòu)
5.1.3 氣泡協(xié)助-電滲微泵的機(jī)理分析
5.1.4 氣泡協(xié)助-電滲微泵的等效電路
5.2 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)
5.2.1 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)
5.2.2 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的工作原理
5.2.3 微型電化學(xué)分析系統(tǒng)的制備
5.3 電滲流可視化分析系統(tǒng)
5.3.1 驅(qū)動電壓產(chǎn)生與極性切換
5.3.2 電滲流的可視化分析
5.4 結(jié)果與討論
5.4.1 氣泡/薄膜水層的產(chǎn)生
5.4.2 氣泡/薄膜水層的電阻特性研究
5.4.3 電滲流的產(chǎn)生
5.4.4 電滲流的LAPS分析
5.4.5 微液滴的產(chǎn)生
5.4.6 微液滴的LAPS分析
5.5 小結(jié)
6 LAPS信號的噪聲抑制研究
6.1 基于小波變換的LAPS信號降噪方法的提出
6.2 LAPS檢測系統(tǒng)
6.2.1 LAPS的制備與封裝
6.2.2 光源驅(qū)動電路
6.2.3 法拉第屏蔽箱
6.2.4 跨阻放大電路
6.2.5 LAPS信號讀取
6.3 小波變換原理
6.4 LAPS信號的小波變換的結(jié)果與討論
6.4.1 小波變換分解結(jié)果
6.4.2 小波變換去噪結(jié)果
6.4.3 去噪效果評價指標(biāo)
6.4.4 去噪效果比較與討論
6.5 小結(jié)
7 總結(jié)與展望
7.1 主要研究工作及成果
7.2 未來工作展望
參考文獻(xiàn)
致謝
攻讀博士學(xué)位期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文和參加的國際會議
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]半導(dǎo)體電極的平帶電位[J]. 崔曉莉. 化學(xué)通報. 2017(12)
[2]熱氣泡式微流體驅(qū)動器的研究進(jìn)展[J]. 劉本東,孫建闖,侯岳鵬,蘇彥強(qiáng),李德勝. 北京工業(yè)大學(xué)學(xué)報. 2016(08)
[3]基于PDMS的壓電驅(qū)動式系列微型泵[J]. 劉國君,劉丕浩,李明,梁實(shí)海,唐春秀. 壓電與聲光. 2016(03)
[4]固液界面動電效應(yīng)的研究進(jìn)展[J]. 郭萬林,費(fèi)雯雯. 振動.測試與診斷. 2015(04)
[5]靜電驅(qū)動振模微泵的理論分析[J]. 張彧,王文,趙小林,丁桂甫. 傳感器與微系統(tǒng). 2013(01)
[6]水質(zhì)監(jiān)測微型蠕動泵穩(wěn)定性實(shí)驗(yàn)研究[J]. 陳松柏,溫志渝,魏康林,郭建. 實(shí)驗(yàn)科學(xué)與技術(shù). 2012(06)
[7]電磁驅(qū)動柔性振動膜無閥微泵[J]. 蘇宇鋒,陳文元,崔峰. 微細(xì)加工技術(shù). 2003(04)
[8]電滲流泵的機(jī)理分析[J]. 仲武,陳云飛,莊蘋. 東南大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版). 2003(03)
[9]形狀記憶合金/硅復(fù)合膜驅(qū)動的微泵[J]. 徐東,蔡炳初,王莉,丁桂甫,周勇,俞愛斌. 微細(xì)加工技術(shù). 2000(04)
博士論文
[1]高壓電滲泵及其在微柱液相色譜中的應(yīng)用研究[D]. 陳令新.中國科學(xué)院研究生院(大連化學(xué)物理研究所) 2003
本文編號:3002814
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