隨著微納米技術的快速發(fā)展,壓電式微操作技術也逐漸成為高性能精密加工裝備領域的重點研究內(nèi)容之一,被廣泛運用到半導體技術、光學微處理、醫(yī)療技術科學、微型機電精密系統(tǒng)、航空航天精密設備制造等前沿技術領域。但是壓電陶瓷驅動器作為多維微定位平臺的核心驅動元件,本身所固有的遲滯非線性特性使平臺出現(xiàn)非線性問題,以及多維平臺輸出之間存在耦合作用的影響,嚴重影響了平臺的定位精度和跟蹤性能。針對壓電式多維微定位平臺存在的主要問題,本文以壓電式二維微定位平臺為研究對象,分別從平臺的遲滯非線性建模和運動跟蹤控制為研究內(nèi)容,主要內(nèi)容如下:為了描述壓電式二維微定位平臺的率相關遲滯非線性特性,提高其控制精度,提出了一種基于Hammerstein模型的建模方法�；贖ammerstein模型的壓電式微定位平臺是由靜態(tài)遲滯非線性部分和線性動態(tài)部分串聯(lián)組成,其中采用能夠描述平臺靜態(tài)遲滯部分的Modified Prandtl-Ishlinskii（MPI）模型,和能夠描述線性動態(tài)部分的（Autoregressive model with exogenous input,ARX）模型。搭建實驗平臺進行實驗,利用給出求取模型參... 

【文章來源】：江西理工大學江西省

【文章頁數(shù)】：83 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第一章 緒論
    1.1 研究背景及意義
    1.2 微定位平臺的研究現(xiàn)狀
        1.2.1 壓電式微定位平臺的研究現(xiàn)狀
        1.2.2 壓電式平臺的遲滯非線性研究現(xiàn)狀
    1.3 微定位平臺跟蹤控制的研究現(xiàn)狀
        1.3.1 開環(huán)控制
        1.3.2 閉環(huán)控制
        1.3.3 復合控制
    1.4 主要研究內(nèi)容
第二章 壓電式二維微定位平臺率相關遲滯建模
    2.1 引言
    2.2 微定位平臺的率相關遲滯模型
    2.3 建立平臺的Hammerstein模型
        2.3.1 MPI模型
        2.3.2 MPI模型的參數(shù)確定
        2.3.3 ARX模型
    2.4 實驗驗證
        2.4.1 實驗配置
        2.4.2 平臺率遲滯模型
    2.5 結論
∞魯棒跟蹤控制">第三章 壓電式微定位平臺的H_∞魯棒跟蹤控制
    3.1 引言
∞魯棒跟蹤控制">    3.2 微定位平臺的H_∞魯棒跟蹤控制
    3.3 微定位平臺的非線性模型
        3.3.1 MPI模型及其逆模型
        3.3.2 建立ARX模型及其逆模型
∞魯棒控制器的設計">    3.4 H_∞魯棒控制器的設計
    3.5 實驗驗證
    3.6 結論
第四章 基于PI-BP模型的微定位平臺跟蹤控制
    4.1 引言
    4.2 基于PI網(wǎng)絡模型的RBF神經(jīng)網(wǎng)絡跟蹤控制
    4.3 PI-BP模型的建立
    4.4 RBF控制器的設計
    4.5 實驗驗證
    4.6 結論
第五章 基于PI模型的卷積神經(jīng)網(wǎng)絡遲滯建模
    5.1 引言
    5.2 微定位平臺的遲滯非線性現(xiàn)象
    5.3 建立基于PI模型的卷積神經(jīng)網(wǎng)絡模型
        5.3.1 率相關遲滯模型層
        5.3.2 卷積網(wǎng)絡層
        5.3.3 遲滯模型的參數(shù)訓練
    5.4 實驗驗證
    5.5 遲滯建模及控制算法的比較分析
    5.6 結論
第六章 結論與展望
    6.1 主要工作與結論
    6.2 創(chuàng)新點
    6.3 研究展望
參考文獻
附錄
致謝
攻讀碩士學位期間的研究成果


【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：2996279