壓阻傳感器是將壓力信號轉變?yōu)殡娮栊盘柕膫鞲衅?其在信息、電子、機械等領域均有廣泛應用。傳統(tǒng)的壓阻傳感器的制備過程通常較為復雜,并且伴隨著大量污染物的產生,并且所使用的材料為金屬片、硅片等難以自然分解的材料。在電子器件大規(guī)模應用的背景下,電子器件不可降解及重金屬污染等問題會給環(huán)境帶來巨大壓力,并引發(fā)水體、土地污染等一系列問題。因此,綠色環(huán)保傳感器的開發(fā)逐漸成為了人們關注的焦點本文通過利用綠色環(huán)保的可再生資源-木質素為基底,結合無三廢排放的一步法激光碳化直寫技術制備了壓阻碳陣列,在此基礎上制備得到了激光直寫生物質的碳陣列力敏傳感器材料。在此基礎上,利用激光直寫的木質素壓阻碳陣列的吸濕性,將濕氣信號轉變?yōu)榱π盘?成功的將其應用于濕度檢測。詳細如下:（1）利用木質素磺酸鈉良好的水溶性,選用木質素磺酸鈉作為激光碳化前驅體,通過溶液澆筑的方法,在聚對苯二甲酸二乙酯（PET）塑料基底上制備了厚度可控的、無裂痕的木質素磺酸鈉膜。通過使用激光直寫碳化技術對木質素磺酸鈉膜進行激光書寫獲得的導電碳陣列,研究激光不同功率的影響,使用拉曼光譜、X射線光電子能譜、紅外光譜、掃描電鏡等表征方式對激光直寫碳線進行了結... 

【文章來源】：石河子大學新疆維吾爾自治區(qū) 211工程院校

【文章頁數】：76 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

金屬應變片壓阻力敏傳感器Fig.1-1Metalstraingaugepiezoresistivesensor

（a,b）MEMS壓阻傳感器和（c,d）半導體應變片

(a,b)厚膜壓阻傳感器，(c,d)薄膜壓阻傳感器Fig.1-3(a,b)Thick-filmpiezoresistivesensor,(c,d)Thin-filmpiezoresistivesensor綜上所述，各種傳統(tǒng)和新型傳感器加工、制備技術，材料不可降解、加工過程三廢

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：2942010