壓阻傳感器是將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娮栊盘?hào)的傳感器,其在信息、電子、機(jī)械等領(lǐng)域均有廣泛應(yīng)用。傳統(tǒng)的壓阻傳感器的制備過程通常較為復(fù)雜,并且伴隨著大量污染物的產(chǎn)生,并且所使用的材料為金屬片、硅片等難以自然分解的材料。在電子器件大規(guī)模應(yīng)用的背景下,電子器件不可降解及重金屬污染等問題會(huì)給環(huán)境帶來巨大壓力,并引發(fā)水體、土地污染等一系列問題。因此,綠色環(huán)保傳感器的開發(fā)逐漸成為了人們關(guān)注的焦點(diǎn)本文通過利用綠色環(huán)保的可再生資源-木質(zhì)素為基底,結(jié)合無三廢排放的一步法激光碳化直寫技術(shù)制備了壓阻碳陣列,在此基礎(chǔ)上制備得到了激光直寫生物質(zhì)的碳陣列力敏傳感器材料。在此基礎(chǔ)上,利用激光直寫的木質(zhì)素壓阻碳陣列的吸濕性,將濕氣信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)榱π盘?hào),成功的將其應(yīng)用于濕度檢測(cè)。詳細(xì)如下:（1）利用木質(zhì)素磺酸鈉良好的水溶性,選用木質(zhì)素磺酸鈉作為激光碳化前驅(qū)體,通過溶液澆筑的方法,在聚對(duì)苯二甲酸二乙酯（PET）塑料基底上制備了厚度可控的、無裂痕的木質(zhì)素磺酸鈉膜。通過使用激光直寫碳化技術(shù)對(duì)木質(zhì)素磺酸鈉膜進(jìn)行激光書寫獲得的導(dǎo)電碳陣列,研究激光不同功率的影響,使用拉曼光譜、X射線光電子能譜、紅外光譜、掃描電鏡等表征方式對(duì)激光直寫碳線進(jìn)行了結(jié)... 

【文章來源】：石河子大學(xué)新疆維吾爾自治區(qū) 211工程院校

【文章頁數(shù)】：76 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

金屬應(yīng)變片壓阻力敏傳感器Fig.1-1Metalstraingaugepiezoresistivesensor

（a,b）MEMS壓阻傳感器和（c,d）半導(dǎo)體應(yīng)變片

(a,b)厚膜壓阻傳感器，(c,d)薄膜壓阻傳感器Fig.1-3(a,b)Thick-filmpiezoresistivesensor,(c,d)Thin-filmpiezoresistivesensor綜上所述，各種傳統(tǒng)和新型傳感器加工、制備技術(shù)，材料不可降解、加工過程三廢

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：2942010