基于適配體的微梁陣列生化傳感技術(shù)研究
【學(xué)位單位】:中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
【學(xué)位級別】:博士
【學(xué)位年份】:2018
【中圖分類】:TP212
【部分圖文】:
現(xiàn)實時的反應(yīng)和檢測。??微懸臂梁是最簡單的MEMS元件之一,它尺寸很小,非常敏感,并且可以??批量生產(chǎn)。圖1.2是幾種典型的微懸臂梁的照片。微懸臂梁最初是作為原子力顯??微鏡(AFM)的探針使用的,原子力顯微鏡使用微懸臂梁前部的尖端接觸被測??物體,從而測量被測物體表面的微觀形貌、微系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)或者檢測分子間的作用??力。然而在原子力顯微鏡的研宄中發(fā)現(xiàn),微懸臂梁對于環(huán)境因素的影響很敏感,??并且在微懸臂梁表面吸附化學(xué)分子也會導(dǎo)致其明顯的響應(yīng),因此具有作為生化傳??感器潛質(zhì)。經(jīng)過發(fā)展,微懸臂梁生化傳感器已經(jīng)成為一種無需標(biāo)記、高靈敏度的??實時監(jiān)測手段,在傳感領(lǐng)域有很好的應(yīng)用前景。當(dāng)微懸臂梁表面有微小的物理、??化學(xué)或者生物的反應(yīng)時,這種反應(yīng)產(chǎn)生的信號會引起微懸臂梁發(fā)生機械的偏轉(zhuǎn)信??號
1.2.1微懸臂梁傳感器的工作模式??微懸臂梁表面發(fā)生的物質(zhì)吸附和生化分子的結(jié)合都會導(dǎo)致微懸臂梁發(fā)生彎??曲變形或者引起其共振頻率的漂移,如圖1.3所示(Lang?etal.?2005)。檢測微懸??臂梁彎曲變形的方法通常被稱作靜態(tài)模式,而檢測微懸臂梁共振頻率漂移的方法??通常被稱為動態(tài)模式。Fritz?(2008)指出還有另外一種模式,被稱作雙材料模式??或者熱模式(圖1.3c)。此模式針對的是由雙層復(fù)合材料構(gòu)成的微懸臂梁,一般??是在微懸臂梁的基底表面覆蓋了一層金屬材料。這種微懸臂梁在遇到加熱等溫度??變化時,由于兩種材料的熱膨脹率不同,因此微懸臂梁會因此發(fā)生彎曲變形。通??過這種方法,可以使用特制的微懸臂梁檢測極小的溫度變化。當(dāng)微懸臂梁作為生??4??
在PSD上的反射光也隨之偏轉(zhuǎn),偏移量由PSD檢測到并轉(zhuǎn)換為電信號,經(jīng)過放??大由數(shù)據(jù)采集卡采集進入計算機處理,從而達到實時監(jiān)測的目的。??微懸臂梁光杠桿讀出方法的示意圖見圖1.4。使用此方法檢測的微懸臂梁自??由端位移AZ與激光的反射光在PSD靶面的偏移量AS之間的關(guān)系如下:??AZ?=?^??4L??公式中1為微懸臂梁的長度,L是激光在微懸臂梁尖端光的光臂長度。通過??公式可以看出,光斑的偏移量與微懸臂梁的位移成正比。通過光杠桿的方法,原??本很難直接測量的微懸臂梁納米量級的位移被放大,轉(zhuǎn)化為微米量級的光斑的偏??移量,從而達到了很高的測量精度。光杠桿方法原理簡單,檢測靈敏度高,可以??在各種環(huán)境下使用。??光電位置敏??Laser徼光?(psd)??\?^??.微懸臂梁?\?/?/??Microcantilever?\?:?/??I???圖1.4光杠桿讀出方法的示意圖??1.2.2.2壓電法??壓電法是將壓電材料與微懸臂梁結(jié)合產(chǎn)生的檢測方法。最初的壓電方法??(Park?etal.?1998)是將薄層的壓電材料涂在微懸臂梁的表面,當(dāng)微懸臂梁發(fā)生??彎曲偏轉(zhuǎn)時,表面會產(chǎn)生瞬時的電荷。近年來,使用壓電材料作為激勵來源的微??懸臂梁傳感器得到了發(fā)展。Hwang?(2004;?2005)將壓電換能器(Piezo-electric??Transducer,PZT)直接制作在微懸臂梁中,通過電路控制其激勵微懸臂梁發(fā)生??振動
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