壓電陶瓷二維微位移定位平臺(tái)系統(tǒng)的建模及控制方法研究
【學(xué)位授予單位】:吉林大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2017
【分類號(hào)】:TP273
【相似文獻(xiàn)】
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,本文編號(hào):2559829
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