【摘要】：基于多光束干涉理論建立了單層薄膜的透射率模型,并且得到了薄膜透射率與厚度及折射率之間的關(guān)系的數(shù)學(xué)模型,進(jìn)而利用遺傳算法求解該數(shù)學(xué)模型。根據(jù)薄膜透射光譜數(shù)學(xué)模型的特殊性,按照實(shí)際的精度需求,有針對性地選取了遺傳算法中種群大小、交叉概率和變異概率等關(guān)鍵參數(shù),并且針對透射光譜的具體情況,設(shè)計(jì)了離散化的適應(yīng)度函數(shù)。最終的擬合結(jié)果表明,基于遺傳算法的透射光譜法能夠快速、準(zhǔn)確地得到薄膜的光學(xué)參數(shù)。

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