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電容式柔性觸覺傳感器的研究與進(jìn)展

發(fā)布時(shí)間:2019-08-08 06:26
【摘要】:通過分析電容式觸覺傳感器的基本工作原理與研究熱點(diǎn),指出了電容式觸覺傳感器在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中存在著難以兼顧分辨率、測量精度和靈活性的關(guān)鍵問題。參照電容式觸覺傳感器內(nèi)的微電容結(jié)構(gòu),從微電容的電極層、介質(zhì)層和整體結(jié)構(gòu)等三個(gè)方面出發(fā),介紹了國內(nèi)外電容式柔性觸覺傳感器近年來在新材料應(yīng)用、新工藝引入、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和三維力檢測等方面的研究進(jìn)展,提出可調(diào)節(jié)測量范圍與靈敏度的觸覺傳感器將是進(jìn)一步研究的熱點(diǎn)。最后結(jié)合電容式柔性觸覺傳感器的實(shí)際應(yīng)用,指出了未來的電容式觸覺傳感器正朝著微型化、集成化、透明化與多功能化等方向發(fā)展。
[Abstract]:Based on the analysis of the basic working principle and research hotspots of capacitive tactile sensor, it is pointed out that there are some key problems in the structural design of capacitive tactile sensor, which are difficult to take into account the resolution, measurement accuracy and flexibility. Referring to the micro-capacitance structure in capacitive tactile sensor, this paper introduces the application of capacitive flexible tactile sensor in new materials, new process introduction, structural design and three-dimensional force detection in recent years from three aspects: electrode layer, dielectric layer and overall structure of capacitance tactile sensor. It is pointed out that tactile sensor with adjustable measurement range and sensitivity will be the focus of further research. Finally, combined with the practical application of capacitive flexible tactile sensor, it is pointed out that the future capacitive tactile sensor is developing in the direction of miniaturization, integration, transparency and multifunction.
【作者單位】: 河北工業(yè)大學(xué)省部共建電工裝備可靠性與智能化國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】:河北省自然科學(xué)基金重點(diǎn)資助項(xiàng)目(E2017202035) 河北省科技計(jì)劃資助項(xiàng)目(16211709)
【分類號(hào)】:TP212

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本文編號(hào):2524194

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