發(fā)布時間：2019-04-21 06:17

【摘要】：提出了一種考慮溫度影響的基于光子晶體的微壓力傳感器,傳感器由微壓力傳感和溫度傳感兩部分構(gòu)成,其中微壓力傳感部分測量的是所處溫度環(huán)境下的壓力值。兩部分傳感器均利用波導(dǎo)和腔的耦合實現(xiàn)帶阻濾波功能,根據(jù)帶阻濾波器的模式在所處溫度下線性紅移,分別計算相應(yīng)的溫度值和該溫度下的壓力值,并通過熱光效應(yīng)和熱膨脹效應(yīng)計算出溫度對器件材料折射率的影響,從而得到真實的微壓力。文中對結(jié)構(gòu)參數(shù)進行了優(yōu)化設(shè)計,實現(xiàn)了1.33nm/μN的微壓力靈敏度。
[Abstract]:A photonic crystal-based micro-pressure sensor based on photonic crystal is proposed. The sensor is composed of two parts: micro-pressure sensor and temperature sensor, in which the micro-pressure sensor is used to measure the pressure value in the temperature environment. Both sensors use the coupling of waveguide and cavity to realize band-stop filtering function. According to the linear red-shift of the mode of band-stop filter at the same temperature, the corresponding temperature value and the pressure value at this temperature are calculated, respectively. The effect of temperature on the refractive index of the material is calculated by thermal-optic effect and thermal expansion effect, and the real micro-pressure is obtained. The structure parameters are optimized and the micro pressure sensitivity of 1.33nm/ 渭 N is realized.
【作者單位】： 南京郵電大學電子科學與工程學院;
【基金】：江蘇省自然科學基金項目(BK20160909,20130874) 江蘇省研究生創(chuàng)新項目(YLX_0801,SJLX15_0376) 江蘇省高校教育基金項目(JB510025) 南京郵電大學校內(nèi)項目(NY214051,215084)
【分類號】：TP212

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本文編號：2461920