【摘要】：為解決壓力傳感器在密閉空間、高旋、生物體內(nèi)等不適用引線的問題,設(shè)計(jì)了一種無線壓力傳感器。對(duì)傳感器進(jìn)行原理分析及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),采用MEMS工藝對(duì)硅片及BF33進(jìn)行加工,并搭建了諧振頻率-壓力測(cè)試平臺(tái),對(duì)傳感器性能進(jìn)行測(cè)試。壓力測(cè)試范圍為5~105 k Pa,在常溫時(shí)的靈敏度為161.5 Hz/Pa,傳感器具有較高的靈敏度,有利于提高壓力檢測(cè)精度。
[Abstract]:A wireless pressure sensor is designed to solve the problem that the pressure sensor is not suitable for the lead in the closed space, the high rotation and the biological body. The principle analysis and structure design of the sensor are carried out, the silicon wafer and BF33 are processed by MEMS process, and the resonant frequency-pressure test platform is built to test the performance of the sensor. The sensitivity of 161.5 Hz/Pa, sensor at room temperature is higher than that of the pressure measurement range of 5 ~ 105k Pa, which is helpful to improve the accuracy of pressure detection.
【作者單位】： 廈門大學(xué)機(jī)電工程系;廈門大學(xué)薩本棟微米納米科學(xué)技術(shù)研究所;
【基金】：航空科學(xué)基金資助項(xiàng)目(20160868004,20160868005)
【分類號(hào)】：TP212

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 張曉群,呂惠民;壓力傳感器的發(fā)展、現(xiàn)狀與未來[J];半導(dǎo)體雜志;2000年01期

2 李戎;壓力傳感器的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)[J];西安工業(yè)學(xué)院學(xué)報(bào);2002年03期

3 張?chǎng)?郭清南,李學(xué)磊;壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)[J];電機(jī)電器技術(shù);2004年04期

4 房建果;孫鋒;尤春安;;壓力傳感器受力的數(shù)值模擬分析[J];巖土力學(xué);2006年S1期

5 郭冰;王沖;;壓力傳感器的現(xiàn)狀與發(fā)展[J];中國儀器儀表;2009年05期

6 周珊;;壓力傳感器及其應(yīng)用實(shí)例[J];科學(xué)大眾(科學(xué)教育);2009年10期

7 ;奇石樂擴(kuò)展了其沖壓力傳感器系列[J];電機(jī)與控制應(yīng)用;2010年01期

8 孟濤;;可測(cè)至200巴的硅壓力傳感器[J];儀器制造;1981年03期

9 文鳴岐;;壓力傳感器技術(shù)的新進(jìn)展[J];自動(dòng)化儀表;1984年04期

10 五十嵐伊勢(shì)美 ,杉山進(jìn) ,張維連;半導(dǎo)體壓力傳感器的開發(fā)動(dòng)向[J];國外自動(dòng)化;1986年06期

相關(guān)會(huì)議論文 前10條

1 厲彥忠;蘇林;王江;張玉文;;壓力傳感器的溫度特性及其校驗(yàn)系統(tǒng)[A];第六屆全國低溫與制冷工程大會(huì)會(huì)議論文集[C];2003年

2 高成臣;;硅-藍(lán)寶石高溫壓力傳感器發(fā)展現(xiàn)狀[A];2000全國力學(xué)量傳感器及測(cè)試、計(jì)量學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2000年

3 唐世洪;;雙E型硅壓力傳感器的研制[A];2000全國力學(xué)量傳感器及測(cè)試、計(jì)量學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2000年

4 齊虹;王善慈;易德興;王蘊(yùn)輝;;一種硅壓力傳感器的可靠性試驗(yàn)方法及失效分析[A];2000全國力學(xué)量傳感器及測(cè)試、計(jì)量學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2000年

5 常增坡;唐柏森;;離子束濺射薄膜壓力傳感器的動(dòng)態(tài)特性[A];2000全國力學(xué)量傳感器及測(cè)試、計(jì)量學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2000年

6 許雁南;FrankDutton;董春虎;劉偉鋒;;壓力傳感器技術(shù)現(xiàn)狀及發(fā)展[A];2001全國壓力計(jì)量測(cè)試技術(shù)年會(huì)論文集[C];2001年

7 厲彥忠;蘇林;程向華;;壓力傳感器的溫度特性及其校驗(yàn)系統(tǒng)[A];中國制冷學(xué)會(huì)2005年制冷空調(diào)學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2005年

8 花寶印;陳克琳;袁昌海;;壓力傳感器智能化檢測(cè)技術(shù)研究[A];第二屆全國信息與電子工程學(xué)術(shù)交流會(huì)暨第十三屆四川省電子學(xué)會(huì)曙光分會(huì)學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2006年

9 王德兵;;壓力傳感器的動(dòng)態(tài)性能研究與測(cè)試[A];2008年航空試驗(yàn)測(cè)試技術(shù)峰會(huì)論文集[C];2008年

10 孔小林;張其霄;;壓力傳感器建模及補(bǔ)償技術(shù)研究[A];全國第三屆信號(hào)和智能信息處理與應(yīng)用學(xué)術(shù)交流會(huì)�？痆C];2009年

相關(guān)重要報(bào)紙文章 前9條

1 徐錚奎;新型壓力傳感器有助于提早發(fā)現(xiàn)病變[N];中國醫(yī)藥報(bào);2009年

2 記者 劉蒙丹;我市民企造出“天宮一號(hào)”運(yùn)載火箭壓力傳感器[N];南京日?qǐng)?bào);2011年

3 成都 青化 摘譯;壓力傳感器[N];電子報(bào);2008年

4 河南許昌技術(shù)經(jīng)濟(jì)學(xué)校 李德彥;汽車常用壓力傳感器與檢測(cè)[N];電子報(bào);2009年

5 唐華淼 編譯;厚度不足0.3mm的壓力傳感器[N];電子報(bào);2009年

6 香港理工大學(xué)紡織與制衣學(xué)系 陶肖明 舒琳 華濤 李瑩 麥愷瑩;基于織物壓力傳感器的智能鞋系統(tǒng)[N];中國紡織報(bào);2013年

7 華戈 摘譯;振動(dòng)壓力傳感器[N];電子報(bào);2008年

8 成都 生為編譯;Tekscan柔性薄膜網(wǎng)格狀觸覺壓力傳感器(上)[N];電子報(bào);2010年

9 記者 常麗君;美造出透明超延展壓力傳感器[N];科技日?qǐng)?bào);2011年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前10條

1 任森;SOI基高精度微機(jī)械諧振式壓力傳感器技術(shù)研究[D];西北工業(yè)大學(xué);2015年

2 束逸;基于新型微納結(jié)構(gòu)的柔性壓力傳感器基礎(chǔ)研究[D];清華大學(xué);2015年

3 陳德勇;微機(jī)械諧振梁壓力傳感器研究[D];中國科學(xué)院研究生院（電子學(xué)研究所）;2002年

4 趙新;基于硅波導(dǎo)的新型光學(xué)壓力傳感器研究[D];復(fù)旦大學(xué);2012年

5 呂曉洲;用于電子皮膚的新型壓力傳感器的研究[D];東華大學(xué);2012年

6 馮志剛;自確認(rèn)壓力傳感器的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2009年

7 楊光永;基于激光位移測(cè)量的光學(xué)壓力傳感器研究[D];華南理工大學(xué);2014年

8 李天利;汽車胎壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)無源SAW溫度壓力傳感器的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2009年

9 楊先軍;柔性力敏傳感及其應(yīng)用技術(shù)研究[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2012年

10 王權(quán);氫化硅薄膜介觀力學(xué)行為研究和耐高溫壓力傳感器研制[D];江蘇大學(xué);2007年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 王智沖;微梁式諧振壓力傳感器多場(chǎng)耦合動(dòng)力學(xué)特性研究[D];燕山大學(xué);2015年

2 王朝陽;一種雙量程壓力傳感器的動(dòng)態(tài)特性研究[D];內(nèi)蒙古工業(yè)大學(xué);2015年

3 黃亞;應(yīng)變式光纖琺珀壓力傳感器的研究[D];電子科技大學(xué);2015年

4 柳珊;高溫光纖壓力傳感器的制作及其特性研究[D];電子科技大學(xué);2014年

5 王俊杰;硅壓阻式壓力傳感器的封裝研究[D];杭州電子科技大學(xué);2015年

6 譚振邦;燃?xì)馄囘M(jìn)氣歧管壓力傳感器的研制[D];華南理工大學(xué);2015年

7 盛偉光;BiFeO_3納米纖維壓電式壓力傳感器的研究[D];北方工業(yè)大學(xué);2016年

8 陳高丁;基于硅酸鎵鑭的聲表面波高溫壓力傳感器研究[D];北京理工大學(xué);2016年

9 相鵬瑞;高靈敏度光纖壓力傳感器的研究[D];燕山大學(xué);2016年

10 田煒;用于冷藏車的壓力傳感技術(shù)及單元的研究[D];天津科技大學(xué);2015年

，

本文編號(hào)：2397441